扫描电子显微镜与能谱仪
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第一节扫描电镜的分类及应用 扫描电镜的分类
各种扫描电镜的用途
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1.1 扫描电镜的分类
常规扫描电镜（SEM）
环境扫描电镜（ESEM）
场发射扫描电镜（FE-SM）
扫描隧道显微镜（STM）
扫描透射电镜（STEM）
扫描探针显微镜（SPM）
原子力显微镜（AFM）
分析型电镜（与能谱，红外等设备联用）¾¾¾¾¾¾¾¾
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1.2 应用
在化工，造纸，皮革，医药，机械等领域的应用
电镜如何与各领域更好的结合
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第二节电镜及能谱仪的构造及工作原理 电子束与固体样品作用时产生的信号 电镜的工作原理
电镜的构造
主要性能
与能谱仪联用
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2.1 电子束与固体样品作用时产生的信号
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2.2 电镜工作原理
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2.3 构造
电子光学系统
信号收集及显示系统
真空系统和电源系统
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分辨率
景深2.4 电镜主要性能
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2.5能谱仪（EDS）
能谱仪，全称为能量分散谱仪（EDS）
它是依据不同元素的特征X射线具有不同的能量这一特点来对检测的X射线进行分散展谱，实现对微区成分分析。
EDS广泛应用于样品表面的成分定性和定量分析（可以得到微区元素的线分布和面分布）
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2.5.1 样品要求
样品表面洁净
表面具有良好导电性
样品表面光滑平整
样品干燥，不含有挥发性物质
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点分析（囊效应）
线分析
面分析2.5.2 样品分析方法
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定性分析：给出元素种类
定量分析：给出元素含量2.5.3 样品分析
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2.5.4 结果分析
ZAF定量修正法
原子序数修正因子
吸收修正因子
荧光修正因子
W%和A%的含义¾¾
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逃逸峰和肩并峰
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Element
Wt%
At%
KRatio 0.2744 0.0473 0.0029 0.0072 0.1277
Z
A
F
C K O K S K MnK CoK Total
60.27 23.68 0.33 0.73 15 100
74.06 21.84 0.15 0.2 3.76 100
1.029 1.0119 0.952 0.8386 0.8359
0.4424 0.1972 0.9146 1.0227 1.0187
1.0002 1.0004 1.0013 1.1504 1
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第三节扫描电镜样品制备
纸张、粉末、薄膜、皮革等固体样品 菌类、凝胶等生物样品
乳液样品