详细说明请见附件文档
十一、2X系列真空泵曲线图
100
6X10
-1
1.3X10
1.3X10
1
1.3X10
2
1.3X10
3
1.3X10
4
Pa2X-70A2X-30A2X-152X-82X-4A
20
抽气速率SL/S
1086421
0.1
-410
10
-3
10
-2
10
-1
10
10
1
10
2
10
3
入口压（Torr）
十二、排除故障
真空泵2X-说明书(8)
2021-04-05 07:00
真空泵2X-说明书(8).doc
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