多晶PECVD镀膜不良(边缘白边)分析报告

2019-08-01 22:46

工艺分析报告

电池二部多晶管P镀膜不良分析报告

部门: 电池二部

姓名: 马世耀 郑波波

小组: 工艺 日期: 2012.1.11

一、异常描述

1、2012年1月11日白班,10:30发现D1,F1,F6,E4等舟出现整舟边缘镀膜异常片,从10:30至15:30共产生同样异常片3800pcs; 2、异常片如图1-1和1-2所示;

3、该异常片在JJC3号机、4号机、5号机和6号机均有出现,且出现的炉管和石墨舟无规律可循;

二、可能原因分析 1、

三、实验验证

四、原因分析

五、改善措施

1

工艺分析报告

六、改善结果

七、结论和建议

2


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