效率值，即所谓的纯技术效率提法[5]。由表2可以看出，技术效率的平均值为0.8。这说明在本研究中大多数公司能很好地利用其技术资源。只有少数公司需要提高其技术资源的利用率。尽管DMU 17、26、28、30、40和41公司的效率低下，但是他们的技术效率却等于1。这意味着他们的总体效率低下是由于公司规模而不是由于他们不能充分利用技术资源而造成的。
规模效率通过TOE对TEE的比率来衡量。它是通过实际生产结构相对于规模效率输出的百分比来计算的，这意味着是由公司规模的预期得到资源的利用率，即它的操作规模。因此(1 - TOE/TEE)即是由于公司规模较小而导致的可能的输出损失。
如表2所示，公司效率低下主要归因于公司规模这一要素，即公司的规模大小的差异。此外，最后一列表示各个公司对于规模的回报类型。表2第四列为其公司权重最优值的总和[16]。如果其RTS值超过、小于或等于1，其数值表现为对规模回报的增加(IRS)，降低(DRS)或保持不变(CRS)。本列的意义在于，如果想要提高公司效率，其为何种资源配置需要重新定向指明了方向。
公司的效率对规模的回报一定是持续的。从表2的最后一列可以看出，只有DMU 3，5，21和33是对规模的回报是递减的。这意味着大多数公司并不在于要扩大其经济规模，而应该扩大其公司的规模。规模效率低下是DMUs效率低下的主要原因。
在所调查的企业中有22个效率低下的企业，其中15家公司的技术效率值比其他公司大(即DMU，6、7、14、17、2326、28 –30、32、
40、41、45、48和52的效率值)。这些公司的资源效率低下可能由于规模因素的影响，而不是因为技术因素。对于那些对规模效应增加的公司来说，关键的问题是尽可能增加投资来扩大规模。DMU 3、5、21和33对规模回报减少，即他们的技术效率值小于规模效率值。因此，他们应该提高他们的技术因素增加研发活动的效率。
6、结论
本文使用数据包分析方法，评估了52家位于台湾新竹科学工业园区集成半导体公司集成半导体公司的研发效率。结论如下:
1． 52家集成半导体公司的效率值显著不同。有56.3%的公司总效率值是1。
2．造成公司效率低下的主要因素是规模效应，即资源分配和使用模式的差异。
3．大多数的低效率公司规模回报增加了。这意味着大多数低效率的公司有技术资源，但规模效率应该加强。
4．应该做进一步的研究，来应用数据包分析法（DEA）评估其他高科技公司的研发效率来验证该方法得到的数据的可靠性。