的质量和效率，使镀膜过程可控性变得更加可靠，膜层厚度控制得更加精确，可以将薄膜厚度按需控制在生成几个原子层的范围内。使得在制备玻璃薄膜过程中，大面积的薄膜能保持均匀一致，光学、电学等性能可靠，加上光刻技术的发展，大面积电子显示器件也应运而生此外，从增强玻璃功能性需求出发，又研制出多室复合薄膜制备技术，如在浮法玻璃生产线锡槽内成形后的玻璃表面上，可在线设置多个CVD镀膜器，在玻璃基体刚刚完成成形尚处于高温状态、未受到污染的条件下，镀覆上与基体结合牢固的过渡层，再附加上需要的多种功能层薄膜和保护膜层，就实现了多层在线镀膜的目标。而将传统的磁控溅射技术设计成连通的多室复合薄膜制备技术，也可以将玻璃基体在完成清洗预处理后，送入真空室，分别在设有不同靶材的溅射室进行镀膜，按照。需要分别镀制过渡层、功能层、保护层等，将易氧化、难以单独使用但功能性很强的金属薄膜夹在保护层中，实现性能优异的玻璃功能薄膜制备，这类技术目前已经在行业内得到使用 。 最近发现，随着玻璃表面形成多层复合膜的技术发展，多层复合膜显现出特有的缺陷，其一是基体和膜层、膜层与膜层之间对温度变化敏感，存在热漂移现象；其二是当薄膜面积增大时，对于复杂膜层的制备精度、均匀性和重复性有相当的难度，需要对材料设计基础理论进行深入研究，并在制备技术上得到进一步提升。随着激光技术发展，脉冲激光沉积法制备薄膜技术不断有新成果被报道，其中很多功能薄膜是直接制备在玻璃基片上的，对其性能的测试与表征也不断获得进展原则上说，现在研发的脉冲激光沉积法制备薄膜技术，一旦取得技术上突破，很快就会在玻璃行业开发使用。
新型玻璃材料的需求、研发趋势与进展
玻璃材料是人们日常生活必不可少的功能性材料之一，社会经济发展进步，带动了新型玻璃材料的需求；社会资源特别是能源的紧缺，又促进了对玻璃功能薄膜材料的快速研发。新型玻璃材料的需求突出表现在降低消耗、节省能源、能源利用和提升安全性能等方面。为此，在建筑领域、电子显示器件领域、太阳能电池制造、车船和航空运载等相关领域开展的玻璃薄膜研发项目层出不穷。 总之，薄膜材料的工业制备采用磁控溅射方法较好，通过分项取样的方法逐项表征，可获得完整的薄膜材料表面信息，有利于薄膜材料的应用研究．表面分析技术在以微电子技术和光电子技术为主体的电子工业部门，以催化为主的化学工业部门和以抗蚀、耐磨等特殊性能材料为主的材料工业部门等都有广泛的应用．本文从薄膜材料的分类，表面薄膜的制备，表面分析研究的仪器、方法，以及表面分析方法的应用。 参考文献：
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