6.1.1 开机：接通电源，则仪表开始工作（1D、1DM型无电源开关，将外部电源接通即可）。 6.1.2 MFC（或MFM）调零：开机预热15分钟以后，在不通气的情况下，可以使用小改锥调整
显示仪面板上的“调零”电位器，对MFC（或MFM）调零。
6.1.3 阀控开关有三个位置，正常工作时置于“阀控”位（1DM型无此操作）。 6.1.4 流量内设定信号由面板上的十圈电位器调节（1DM型无此操作）。 6.1.5 关机：切断外接电源即可关机。 6.2 1JM型操作方法
6.2.1 开机：将外部交流电源接通，则仪表开始工作。
6.2.2 MFM调零：开机预热15分钟以后，在不通气的情况下，可以使用小改锥调整显示仪面板上
的“调零”电位器，对MFM调零。
6.2.3 显示选择开关有四个位置，正常工作时置于“流量检测”位。如不需要报警功能，也可置
于“报警关闭”位。
6.2.4 上下限报警值通过面板上的电位器设定。 6.2.5 关机：切断外接交流电源即可关机。
7. 参数设置
输出电流信号、流量单位指示和量程要根据用户要求和所配的MFC（MFM）来设置，通常由厂家在出厂前配好。若用户在使用中要自己改变量程和单位，可以打开流量显示仪外罩，对转换板上的有关拨动开关和电位器进行调整，拨动开关和电位器位置参见图10。 7.1 电流信号改变
4~20mA 和0~10mA的拨动开关位置见图9。
4~20mA: SA1,SA4—on SA2,SA3—off
图9. 输入输出电流信号改变的拨动开关位置
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on on 0~10mA:
SA1,SA4—off SA2,SA3—on
on 1 2 on 1 2 1 2 1 2 SA1 SA2 SA3 SA4
SA1 SA2 SA3 SA4
SA1,2 SA3,4 RP3 SA5,6 SA7~10
图10. 拨动开关和调整电位器位置图
7.2 流量单位指示的改变
“SCCM、SLM、%”流量单位改变的拨动开关位置见图11。
SCCM: SA5—on SA6—off
图11. 流量单位指示改变的拨动开关位置图
7.3 小数点位置改变
流量显示小数点位置可以通过拨动开关SA7~9来改变，见图12。
流量显示器
on DIP 1 2 3 4 SA7 SA8 SA9 SA10 on 1 2 SA5 SA6
% :
SA5—off SA6—off
on 1 2 SLM: SA5—off SA6—on
on 1 2 SA5 SA6 SA5 SA6
显示“100.0”的 DIP开关位置 DP1 DP2 DP3 DP3 DP2 DP1
图12. 小数点改变对应的拨动开关位置图
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7.4 显示量程的改变
显示器显示量程的改变包括显示的有效数据和小数点的改变，小数点位置的改变方法见7.3条，显示有效数值的改变按以下步骤进行。
a. 切断电源，取下MFC/MFM插头和电源线，（取下“设定”与“内设”的短路线）打开外
壳。
b. 如果是改变1DM或1JM型流量显示仪，可将后面板接线端子上的“流量检测”和“信号地”
两端输入+5.00V电压；如果是改变1D型流量显示仪，可将后面板接线端子上的“流量检测”和“内设”端子用导线短路，并将设定电位器顺时针旋转到最大值（使内设输出电压为满量程值+5.00V）。
c. 接通显示仪电源，20秒钟后，观察面板显示器的显示数值，用小改锥调节电位器RP3（见
图10）使显示器显示的数值与对应的 MFC/MFM通道的满量程值一致（注意对应 31位数
2字电压表，显示的数据范围是0~1999，同时注意小数点的位置要匹配）。
d. 切断电源，对于1DM或1JM型流量显示仪，要断开外接+5.00V电压；对于1D型流量显示
仪，要断开“流量检测”和“内设”的短连导线。
e. 装上外壳，量程调整结束，恢复“设定”与“内设”的短路线，就可以正常使用了。
8. 注意事项
8.1 禁止项
仪表盒内部的电位器在出厂前均已调整好，用户不得随意自行调整。15V电源的功率有限，用户不能超负荷使用。 8.2 改量程注意
非专业维修人员和电器技术人员，不能进行显示量程的改变和调整。在打开外壳和接通电源时要特别注意安全。 8.3 更换保险丝
1D、1DM、1JM型流量显示仪的电源保险器在仪表盒内，如遇该显示仪通电后没有显示，可检查是否保险丝断。这时需松开仪表盒下面的螺钉，取下外壳，更换熔断丝管。 8.4 接地问题
流量显示仪的外壳（电源地）与MFC（或MFM）的外壳，原则上应一点接地，共一个同等的地电位。如果二者相距较远，机壳与各自机柜地相连，则应考虑将显示仪与MFC（或MFM）连接电缆中的地线断开，否则可能出现地线干扰，甚至出现地线烧毁事故。如果MFC
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（或MFM）和显示仪使用在高频发生器的环境中发现有干扰，可以考虑将显示仪交流电源输入线中的“地”（GND）线断开，以减小干扰。 8.5 产品替换
如果用本流量显示仪与世界上其它型号的MFC（或MFM）连接使用，要注意电源的容量是否匹配，要注意正确配线和转接。特别要注意的是本机的阀控功能与其它型号产品可能不兼容，需要进行改线或不接。
9 选型与订货规格填写
9.1 显示仪选型表
适用范围 电路类型 模拟数字产品 产品 √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ 外形 嵌入式 台式 上架式 仪表 豪华 型材 塑壳 机箱 机箱 √ √ √ √ √ √ √ √ √ 铁壳 √ √ √ √ 显示类型 输入电源 输出电源 扩展功能 4~20mA/ 4~20mA/ 4~20mA 4~20mA 0~10mA 0~10mA / 1~5V √ √ √ √ √ √ √ √ √ 1~5V √ / 1~5V √ 4~20mA 电流输入 电流输出 输入信号 输出信号 流量 报警 √ RS232/RS485通讯 √ √ √ √ 设定 流量 显示 积算 √ √ √ 产品型号 MFC MFM 单通道多通道多通道~110 ~220 ±15 +24 单显示 单显示 多显示 VAC VAC VDC VDC √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ 1D/1F 1DM/1FM 1DS/1FS 1/2/4 √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ √ 2D/3D/4D √ 2F/3F/4F √ 2B/3B/4B √ 1K 1G 1GM 8C 8CM 1JM 1H √ √ √ √ 其中1JM和1H为用户定制的非标产品。可与MFC配合使用的显示仪，在与MFM配合使用时，面板上的“设定”旋钮和“阀控”开关无效。
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9.2 标准订单填写格式
D08- [t] - [o] [p] [c] [b] - [s] [t] – Type 型号 1D/1DM/1DS 1F/1FM/1FS 1/2/4 2D/3D/4D 2F/3F/4F 2B/3B/4B 1K
1G/1GM 8C/8CM 1JM/1H
[o] –I/O signal 输入/输出信号 -[ ] 电压：0 to 5VDC -[V] 电压：1 to 5VDC -[C] 电流：4 to 20mA -[A] 电流：0 to 10mA
[p] – Power supply 电源 -[ ] ~220VAC±10% 50Hz 含~85－~265VAC宽电压输入 -[D] ~110VAC±10% 60Hz
[c] – Communication type 通讯 -[ ] 无通讯 -[2] RS232 -[4] RS485
[b] – B series panel color B系列面板颜色 -[ ] 非B系列 -[H] 黑底桔纹漆 -[W] 计算机白
[s] – Special request特殊要求 -[ ] 各路均为百分比显示(100.0)，中文标签 -[S] 依次给出各路显示对应的量程（见右侧对应关系表），并注明其他要求。 多路中的某路出现百分比显示用S表示。
量程 5sccm 10sccm 20sccm 30sccm 50sccm 100sccm 200sccm 300sccm 500sccm 1slm 2slm 3slm 5slm 10slm 20slm 30slm 50slm 100slm 150slm 200slm 250slm 300slm 百分比显示 代表字母 A B C D E F G H J K L M N P Q R U V W X Y Z S 第 13 页 共 23 页