赛维LDK太阳能高科技（合肥）有限公司 文件编号 文件名称 管式PECVD工艺流程 生效日期 页码 第6 页 共6 页 异常片可分两种，一种是镀膜前发现的硅片表面颜色异常的硅片，另一种是，镀膜后膜厚、折射率不在工艺控制范围内，颜色异常的硅片。 6.2 异常片处理规范
6.2.1 对于第一类异常片，其产生原因不在PECVD段，发现此种异常，及时通知前面工段的工艺人员，由他们负责处理。
6.2.2 出现第二种异常片时，首先判断其出现原因，根据原因作出相应调整，以免出现更多的不良片。已经出现的不良片若是颜色均匀，只是膜厚整体偏小，可进行加镀，若是膜厚偏大，或是片内颜色不均匀，有色差，无需返工，直接流至印刷工序。（对于膜厚偏大或是色差片的具体处理流程待定） 七、其他注意事项
7.1 若确定是其他原因导致镀膜异常，及时与相关人员联系。