9、 驱动系统（伺服电机、传动带）；
10、驱动系统由直流伺服电机、减速器、传动带、带轮等组成。驱动系统的状态会影响控制系统的参数，不能随便调整。
11、 空气轴承气路系统（过滤器、开关、传感器、气浮块、气管）；
12、 空气轴承（又称气浮块）是测量机的重要部件，主要功能是保持测量机的各运动轴相互无摩擦，由于气浮块的浮起高度有限而且气孔很小，要求压缩空气压力稳定且其中不能含有杂质、油，也不能有水。过滤器系统是气路中的最后一道关卡，由于其过滤精度高，非常容易被压缩空气中的油污染，所以一定要有前置过滤装置和管道进行前置过滤处理。气路中连接的空气开关和空气传感器都具有保护功能，不能随便调整。 13、 支承（架）、随动带。
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14、 小型测量机采用支架支撑测量机工作台，中、大型测量机一般采用千斤顶支撑工作台。都采用三点支撑，在一个支撑的一侧，有两个附助支撑，只起保险作用。每个支撑都有一个海绵垫，能够吸收振幅较小的震动，如果安装测量机的附近有幅度较大的震动源，要另外采取减震措施。
2.4控制系统的功能
这是测量机的控制中枢，主要功能：
1、控制、驱动测量机的运动，三轴同步、速度、加速度控制；
操纵盒或计算机指令通过系统控制单元，按照设置好的速度、加速度，驱动
三轴直流伺服电机转动，并通过光栅和电机的反馈电路对运行速度和电机的转速进行控制，使三轴同步平稳的按指定轨迹运动。运动轨迹有飞行测量、点定位两种方式，飞行方式测量效率高，运动时停顿少。点定位方式适合指定截面或指定位置的测量。可以通过语句进行设置。在进入计算机指令指定的触测的探测距离时，控制单元会控制测量机由位置运动速度转换到探测速度，使测头慢速接近被测零件。 2、 在有触发信号时采集数据，对光栅读数进行处理；
当通过操纵盒或计算机指令控制运动的测量机测头传感器与被测零件接触时，测头传感器（简称“测头”）就会发出被触发的信号。信号传送到控制单元后，立即令测量机停止运动（测头保护功能），同时锁存此刻的三轴光栅读数。这就是测量机测量的一个点的坐标。 3、根据补偿文件，对测量机进行21项误差补偿；
测量机在制造组装完成后，都要使用激光干涉仪和其它检测工具对21项系统误差（各轴的两个直线度、两个角摆误差、自转误差、位置误差，三轴之间的垂直度误差，共21项）进行检测，生成误差补偿文件，将这些误差用软件进行补偿，以保证测量机精度符合合同的要求。测头触发后锁存的每一个点坐标都要经过误差计算、补偿后再传送给计算机测量软件。 4、 采集温度数据，进行温度补偿；
有温度补偿功能的测量机，可以根据设定的方式自动采取各轴光栅和被测零件的温度，对测量机和零件温度由于偏离20℃带来的长度误差进行补偿，以保持高精度。
A、对测量机工作状态进行监测（行程控制、气压、速度、读数、测头等），采取保护措施； 控制系统有故障诊断功能，对测量机正常工作及安全有影响的部位进行检测，当发现这些异常现象时，系统就会采取保护措施（停机，断驱动电源），同时发出信息通知操作人员。 B、（对扫描测头的数据进行处理，并控制扫描）；
配备有扫描功能的测量机，由于扫描测头采集的数据量非常大，必须用专用的扫描数据处理单元进行处理，并控制测量机按照零件表面形状，保持扫描接触的方式运动。 C、与计算机进行各种信息交流。
虽然控制系统本身就是一台计算机，但是没有与外界交互的界面，其内部的数据都要通过与上位计算机的通讯进行输入和设置。控制信息和测点的数据都通过信息传输、交流。交流方式主要是RS232接口或网卡。
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2.5测座、测头系统
测座、测头系统是数据采集的传感器系统，测座分为手动和自动两种，主要功能：
1、测座根据命令旋转到指定角度；
测座控制器可以用命令或程序控制并驱动自动测座的旋转到指定位置。手动的测座只能由人工手动方式旋转测座。
测头（针）更换架可以在程序运行中，自动更换测头（针），避免程序中的人工干预，提高测量效率。
2、测头控制器（PI200、PI7）控制测头工作方式转换（TP200、TP7）；
TP200、TP7测头是高精度测头，它们的特点是灵敏度高，可以接比较长的测针。但是灵敏度高会造成测量机高速运动时出现误触发。测头控制器控制测头在测量机高速运动时处于高阻（不灵敏）状态，触发时进入灵敏状态的转换。在手动方式时一般都是以操纵盒的“速度控制键”进行控制状态转换，即低速运动时是测头的灵敏状态。
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