103室主要进行检测和探测，主要的设备有：FHR溅射台，台阶测量仪，双束聚焦粒子束，氟化氢气态刻蚀，等离子体刻蚀，K-Mac膜厚仪，卡尔蔡司显微镜，自动金属镀膜机，氮（氧）氢管式退火炉，四探针测量仪，三维视频显微镜，光学轮廓仪，扫描电镜，氧化扩散炉，快速退火炉。
使用频率较高的仪器有：
FHR溅射台：在相对稳定真空状态下，阴阳极间产生辉光放电，极间气体分子被离子化而产生带电电荷，其中正离子受阴极之负电位加速运动而撞击阴极上之靶材，将原子等粒子溅出，溅出的粒子则沉积于阳极的基板上而形成薄膜。磁控溅射是在阴极靶的表面上方形成一个正交电磁场，由于外加磁场的存在，电子的复杂运动增加了电离率，实现了高速溅射。淀积材料：Al、Au、Cu、Cr、Ti、TiW。
聚焦离子束：1. 定点切割(Precisional Cutting)-利用离子的物理碰撞来达到切割之目的 2. 选择性的材料蒸镀(Selective Deposition)-以离子束的能量分解有机金属蒸气或气相绝缘材料，在局部区域作导体或非导体的沉积，可提供金属和氧化层的沉积(Metal and TEOS Deposition).该设备的材料沉积只有金属铂(Platinum,Pt) 3. 强化性蚀刻或选择性(Enhanced Etching-Iodine/Selective Etching-XeF2)-辅以腐蚀性气体，加速切割的效率或作选择性的材料去除 4. 蚀刻终点侦测(End Point Detection)-侦测二次离子的讯号，借以了解切割或蚀刻的进行状况。
7.21职业技能考试及成果汇报
上午考试的内容主要涉及微纳加工的工艺，包括光刻，刻蚀，薄膜生长，封
装以及CMP（化学机械抛光）等。
下午按照小组汇报了这一段时间的实习成果，并且为我们颁发了结业证书，宣告着为期三周的实习圆满结束。
7.22办理手续离开苏州回到学校
五、实习总结及体会
实习的这段日子对我而言是充实且意义重大的。在这三周的时间里，苏纳所的各位老师以及工作人员们不辞辛劳地对我们进行了理论知识的培训和超净间仪器操作的指导，使我们在掌握更多知识的同时提高了动手能力，拓宽了我们的眼界，掌握了更多课堂上无法学习到的技能，熟悉了超净间的工作环境，进一步加深了我们对于整套微纳加工工艺的理解，培养了我们对于这个行业的初步认知。这些对于我们来说，这些无疑都是具有重大意义的。以前在课堂上学习的理论和知识，到了这里到了实际应用操作的时候才真正明白确实是“纸上得来终觉浅”，理论知识任何时候都不可能代替实际操作中的经历，也就是说“读万卷书”与“行万里路”是不可能互相取代的，何况是在微纳加工这样一个极其精密的学科中，所以我平时不仅仅要注重理论知识的学习，更要将其与实践操作紧密联系起来，这样才能取得更大的进步。
微纳加工这个领域随着第一只晶体管的诞生至今已经发展了近70年，以我对于这个行业浅薄的理解以及这次实习过程中的所见所闻，可以肯定的是这个行业在这70年的历史中对于推动人类社会进步起到了不可替代的重要作用，它让我们完全迈入了信息时代，让科技真正地成为了第一生产力，有幸参与到这个专
业中并且将来有一天可能真正从事这个行业让我无比的激动，因为这个行业见证了人类光辉的历史并且在可预见的未来仍将继续改变我们的生活。这让我与对于苏纳所的印象联系了起来，在这三周的时间里，除了严谨与认真之外，我感受到的苏纳所最浓重的气质是开放，纳米加工平台本身就秉承着开放的原则，意在为全球用户提供国际一流的纳米科学研究和成果转化的公共技术平台，而在开放的同时平台也持续跟进着多项重大的科研项目，我想这就是所谓的产学研合一吧。很多高校以及研究所也有大量先进的仪器设备，但却并不面向行业开放，许多珍贵的设备得不到合理的安排及利用，或者就是许多科研成果与产业脱节，这只能理解为是对资源的浪费。但是苏纳所并不存在这个问题，他们利用现有的设备吸引各方客户，即取得了收入又可以维持平台自身的有效运作，平台取得的科研成果则可以和客户直接合作投入到生产中去，这不仅为社会带来了利益同时也推动着平台进一步发展。这无疑是可以称作典范的发展模式，在这样的模式下，我很期待苏纳所未来的进一步腾飞。微纳加工领域发展至今已与各个行业都产生了一定的交叉，也不断催生着新领域的发展，但我有些悲观地看到目前能够大规模生产尖端芯片的厂商（三星，台积电，英特尔，Globalfoundries）都不是国内的企业，这说明我们在这个领域是落后于国际高端水平的，而这个行业，日本人认为它是全球所有行业的命脉，我想这并不是危言耸听。国内的半导体行业正在全面地扩张，慢慢地追赶国际先进水平，我们还有很长的路要走，所以我才觉得苏纳所让我震撼，国内并不是没有尖端技术，只是科学界还缺乏开放的态度，还缺乏有效的创新模式，缺乏把科研成果转化为工业成品的有效机制，与其说我们在半导体行业在微纳加工领域有很长的路要走，倒不如说我们的科学界还有很长的路要走，还有很多的课要补。但是起码已经有在这样做在补课的了，苏纳所真的
是一个很好的典范，而我对这个行业有着深厚的兴趣，也更希望自己将来投身于这个行业中去为这个行业为祖国做出贡献。
也许说了很多大话很多没营养的事儿，但是这一次实习教给我的书本之外的东西确实更多。最后，确实是要谢谢苏纳所和学校，谢谢给我们提供这样一个宝贵的机会，谢谢苏纳所的老师们和工作人员，谢谢你们三周的陪伴和各方面的指导，你们辛苦了，谢谢带队的张老师，您辛苦了，这将是我们全体难忘的经历，真的十分感谢。