国电光伏（江苏）有限公司
高效厂电池Front PECVD设备停机/复机作业指导书
（试行）
编 号： 版 本：0
2012-XX-XX发布 2012-XX-XX实施
国电光伏（江苏）有限公司 发布
Doc. No.文件编号: Doc. Title文件名称:高效厂电池Front PECVD设备停机/复机作业指导书（试行） Rev.版本: 0 Page No.页码: 1 / 6 Document Level文件等级: (For Engineering & Quality Document/工程及品质文件专用) ? Level 1–Manual 手册 ? Level 2–Procedure/SPEC/Report 程序/规格/报告 ? Level 3–SOP/SIP标准作业/检验规范 Security Level机密等级: ? Security 1 - GDsolar Confidential ? Security 2 - GDsolar Restricted ? Security 3 - GDsolar Internal Document Change History文件更改历史记录 Rev. Effective 版本 Date 生效日期 0 Author 作者 韩超 Approval 审核 Change Description 变更说明 The information contained herein is the exclusive property of GDSolar, and shall not be distributed, reproduced, or disclosed in whole or in part without prior written permission of GDSolar.
Doc. No.文件编号: Doc. Title文件名称:高效厂电池Front PECVD设备停机/复机作业指导书（试行） Rev.版本: 0 Page No.页码: 2 / 6 1. 2. 3. 4.
名称：高效厂电池Front PECVD设备停机/复机作业指导书（试行）
目的：定义Front PECVD机台停机/复机标准作业程序，以提高设备之利用率，增加机台的稳定性。 范围：本停机/复机标准作业程序适用于Front PECVD机台之停机/复机。 名词定义：CB—Circuit Break 断路器
CDA—Clean Dry Air 压缩空气 CW—Clock Wise 顺时针
CCW—Counter Clock Wise 逆时针
LC—Load Lock Chamber装载腔
MFC—Mass Flow Controller 质量流量控制器
PCW—Process Cooling Water 工艺冷却水 ULC—Unload Lock Chamber 卸载腔 5. 参考文件/资料：《Solar Cell User’s Manual(J-Cell)》 6. 相关单位职责：
6.1设备部：本SOP由高效电池Front PECVD组工程师制定修改，并由设备部人员执行设备停机/复机动作。 6.2生产部：负责停机/复机相关原辅材料的领取及停机/复机后废弃材料的处理。 6.3 工艺部： 负责机台停机/复机后工艺参数的检测。 7. 内容：
7.1 复机程序： 7.1.1 Facility检查
对设备使用到的水、电、气、排风等facility进行检查，确保各项指标（请参照《Front PECVD Start up Checklist》执行）都在设备要求范围以内。如PCW、DIW等停供过的话，必须对管路进行24小时以上的冲洗并抽样检测水质，在水质检测通过后方可使用。 7.1.2 机台端Facility检查
1.打开PCW回水及进水阀门，再确认管路有没有漏水。 2.打开CDA阀门，调节压力至规定数值（7~8kg/cm2）。 7.1.3 机台Power On
1.打开Power之前，确认所有Power Switch 及circuit breaker处于OFF状态，如有任何开关处于ON,必须关闭
使之处于OFF状态。
2.确认FAB Power supply circuit breakers 处于开启状态，再次确认Main Power box是否已经接好Power，并
用电压表测量电压（三相380V及三相208V） 3.打开“M1.MCCB01”为UPS供电.
4.打开“M1.CB5,6,7”组成EMO电路，M1.L1亮起，这意味着EMO电路控制电源（AC 24V）已开启. 5.按下M1.SW1，M1.L2就会亮起，这表示已经准备好给设备每个腔室供电。 6.按下M2.SW03，M2.L3就会亮起，此为Lamp Heater Power。 7.以上动作完成后说明电源已经供入至MPB。 8.其余的CB参照图1及表1上标识逐个开启。
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图1 表1
9.检查几天所有的EMO是否是ON状态，如果不是，则打开EMO，使之成为ON状态。
10.先打开1号机台的“M1.CB16 NFB Heater Power”和“M2.CB01 NFB Heater Power”打到“ON”（如图）
11.依次打开一号、二号、三号机台上的控制开关
7.1.4 通讯部分的开启
1.首先打开电脑，进入主界面。
2.打开主界面上面的“PM1”、“PM2”、“TMC”3个软件。等待出现输入密码的，输入密码。
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3.进入界面后，点击“STAR”→“Programs”→“Startup”→“Launcher”。
4. 等到“TMC”内“JelCTC”内 “PM1”、“PM2”显示灯亮，说明联机已经完成。
5.然后打开桌面的“GUI”输入帐号和密码，点击“Log On”进入操作界面。
6.点击“COMM”，看看“PM1”、“PM2”是否是绿灯。（绿色代表联机成功，红色代表联机未完成。）
7.1.5 机械部件检查
1.在下图2,图3，所示界面对所有Moving Unit（Susceptor、Throttle、Tray Motor）进行传动检查，并检查部
件是否有异常。
2.对Susceptor做Home，待Home完成后进行“GoPosn”及“1mm up”“1mm down”等操作，检查chuck motor
的运行是否正常。
3.对Throttle也进行机械传动检查，选择20%、40%、60%、80%、100%进行操作。
4.在图4所示界面选择“CW”及“CCW”分别对Tray Motor进行检查，观察Motor的传动情况是否正常。 The information contained herein is the exclusive property of GDSolar, and shall not be distributed, reproduced, or disclosed in whole or in part without prior written permission of GDSolar.
Doc. No.文件编号: Doc. Title文件名称:高效厂电池Front PECVD设备停机/复机作业指导书（试行） Rev.版本: 0 Page No.页码: 5 / 6 图2 表2
图3 表3
图4 表4
7.1.6 开启Dry Pump
1.确认exhaust阀门的interlock是否满足。 2.确认N2 dilution的流量。 3.如图5所示按下ON开关。
4.确认开关是否处于ON状态，如果不是立即终止操作。
5.等待10秒钟让Pump进行自检，自检完成后确认Pump状态，如果不正常就按reset键。
6.Dry Pump为非正常状态，需反复进行3次“4，5”两项操作，如果无法恢复正常状态，则应终止以上操作。 7.开启Pump。
8.Pump不是开启状态时，会有警报并会终止以上步骤。
9.Pump vacuum在mini-convectron 5Torr开启时Dry Pump会默认为Standby状态。 10.如果5Torr开关没有开启，Dry pump会不识别standby状态，所以要等到开关开启。
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Doc. No.文件编号: Doc. Title文件名称:高效厂电池Front PECVD设备停机/复机作业指导书（试行） Rev.版本: 0 Page No.页码: 6 / 6 11.Mini-convectron在OFF状态时在Delay time内等待来确认5Torr开关是否开启，如果在等待期间没有变成开启状
态就会发生警报并终止以上步骤。
12.Dry Pump在standby状态时可以开启Fore-line上的slow pumping阀门。
图5
7.1.7腔室抽真空
1.关闭chamber所有阀门。
2.如果5Torr开关没有触发，等待20分钟（Fore-line Pumping time），如果异常时会报警并中止抽真空。 3.检查60Torr开关，如果不出发则进行以下操作：
4.打开slow rough阀门，等到60Torr开关开启并时chamber内的压力小于使用者设定的Fast Pump XOver Pressure
值为止。
5.如果20分钟内60Torr开关没有触发及chamber内的压力值大于设定的Fast Pump XOver Pressure值时会发生警
报并终止以上步骤。
6.关闭slow valve，打开fast valve并等待chamber压力达到设定的base pressure，图6为操作界面。 7.如果chamber压力没有在设定时间内达到base pressure，警报会产生并终止以上步骤。 8.也可在“Auto Function Commands”界面直接点击“Pumping”进行chamber的抽真空动作。 9.LC及ULC也进行上述相同操作对腔室进行抽真空。
编号13141516 ItemN2 Purge LinevalveFast ValveSlow ValveThrottle功能对chamber进行Purge时的气体管道阀门细抽阀门粗抽阀门控制腔室的压力 图6 表5
7.1.8腔室漏率检测
1.抽真空到base pressure.
2.关闭所有valve（slow valve，fast valve）。
3.当chamber被隔离起来后，观察并记录chamber此时的实际压力。 4.按照设定的Sampling time间隔读取并记录chamber的实际压力。
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Doc. No.文件编号: Doc. Title文件名称:高效厂电池Front PECVD设备停机/复机作业指导书（试行） Rev.版本: 0 Page No.页码: 7 / 6 5.腔室漏率 =（第一个读取的压力值-最后读取的压力值）/测试时间，并以一分钟单位换算。 6.再次进行pumping使chamber压力达到base pressure。
7.也可在“Auto Function Commands”界面直接点击“Leak Check”进行chamber的检漏动作，下图7及图8为检漏
界面。
8.对LC及PM2进行同上操作，对chamber进行检漏。
图7 图8
7.1.9腔室Cycle Purge
1.Cycle purge是为了移除腔室内残留的杂质气体及颗粒，此时采用的惰性气体为Ar或者N2。 2.抽真空到chamber底压。 3.根据设定流量流惰性气体。
4.在purge time内调整并维持设定好的chamber压力。 5.把chamber抽至底压。 6.重复“3~6”步骤。
7.也可在“Auto Function Commands”界面直接点击“Cycle Purge”进行chamber的purge动作，图9为cycle purge
操作界面。
图9 表6
7.1.10 MFC verify
1.在“Auto Function Commands”界面直接点击“MFC Cal”进行各路气体的verify，下图10为MFC verify界面。
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Doc. No.文件编号: Doc. Title文件名称:高效厂电池Front PECVD设备停机/复机作业指导书（试行） Rev.版本: 0 Page No.页码: 8 / 6 图10 表7
7.1.11腔室加热
1.在下图11,图12所示Wall Heater界面及Chuck Heater界面分别对chamber wall和chuck进行加热。 2.也可在下图13所示“Auto Function Commands”界面直接点击“Heat Up/Down”进行加热。
图11
图12
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7.1.12 RF Generator及RF Matcher检查 1.在下图14所示界面开启RF Generator。
2.在下图15所示界面设置好RF Matcher的Load及Tune的数值。
3.在下图16所示界面进行RF Test，检查RF Generator及RF Matcher的功能是否正常，也可直接在图X-X所示界
面直接选择dummy recipe进行测试。
图14 表8
图15 表9
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7.1.13 Process Check
1.Load wafer进入反应腔，选择测机recipe进行工艺测试，对工艺完的wafer进行制程参数检查，看是否符合规定
的工艺指标，并把测得的参数记录到checklist里。
7.1.14 设备Release
1.待工艺测试合格后，在下图17所示界面把机台切换至On Line Remote模式交予制造部进行生产。
图17
7.2 停机程序
7.2.1程序Data进行备份。
7.2.2 根据Purge Recipe对Process Chamber进行净化。
7.2.3 将PM Chamber的温度降到50℃后进行隔离，具体操作如下：
Main Screen ? System ? Chamber ? Process Chamber ? Auto Function Commands ? Isolation ?
Execute。
7.2.4同上操作将LC Chamber降温到50℃后进行隔离。
Main Screen ? System ? Chamber ? LC Chamber ? Auto Function Commands ? Isolation ? Execute。 7.2.5同上讲ULC Chamber进行隔离。
Main Screen ? System ? Chamber ? ULC Chamber ? Auto Function Commands ? Isolation ? Execute。
7.2.6以上Chamber隔离完成后关闭GUI程序并进行以下操作 1.关闭CTC IPC。 2.关闭各模组的控制器。
3.关闭Controller Rack上的所有Circuit Break。 4.关闭Main Power Rack 1、2上的所有Circuit Break。 5.锁住Main Power Rack 1、2及Controller Rack的门。
8. 附件
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Doc. No.文件编号: Doc. Title文件名称:高效厂电池Front PECVD设备停机/复机作业指导书（试行） Rev.版本: 0 Page No.页码: 11 / 6 8.1 Front PECVD机台年度保养停机/复机Checklist《Front PECVD Power On Checklist》
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