油增压泵机组说明与日常维护保养..

1970-01-01 08:00

JZZJB600.2500.150X2型

油增压泵机组

使用说明书

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ISO9001 认证企业

上海真空泵厂有限公司

2010年11月

欢迎您选择“上真品牌”真空机组产品

安装及使用前请仔细阅读本系列机组说明书,违反有关安装和操作规定,有可能影响本机组的正常使用。

目 录

一. 工作原理及结构特点

二. 机组组成及其主要技术性能指标 三. 操作说明

四. 机组安装与使用说明 五. 维护保养说明

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一、 工作原理及结构特点

JZ—600型扩散泵高真空机组,以Z—600型油增压泵为主泵,两台X—150型旋片泵和一台ZJB-2500A罗茨泵为前级泵,并配以GDQ—600S气动高真空主阀门、GDQ—300预抽阀(反顶大气)等阀门管道,真空测量规管,真空仪表和电控操作控制箱等组成。

可广泛应用于需要获得高真空的场合。

真空泵工作原理和结构及其维护维修事宜,请参阅所属型号真空泵的使用说明书。

必须关注的事项: 1、当拆除机组抽气口盲扳,并在对接系统管道时,应严禁任何粉尘、焊渣等杂物进入泵腔,一旦进入必须清除后才能开机,否则会造成咬泵或使启动电流增大而不能正常运行之虑。因此必须彻底清除整根管道,确保没有附着物及灰尘后才可与之对接。

2、本机组不允许在冷却水源断水及供电电源缺相状态下开机使用! 3、真空泵的维护与检修,请参阅该型号泵的使用说明书进行!

二、 机组的配套形式及主要技术性能指标

1. 机组抽速: >8000升/秒 2. 机组极限真空度 5×10-1Pa

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3. 机组抽气口中心高度 2813毫米

4.机组耗水量 26升/分

机组总功率 <72KW 电源总功率:三相四线(或五线)制 380V/50HZ 72KW

注:(1)机组极限真空是指用麦氏计测得的空气分压力值,用热偶真空计

测得的全压力应比极限真空小半至一个数量级。

(2)机组的最大抽速是指只在机组入口压力为0.1~1pa的工况条件下的实际抽速。

三、 操作说明:

1、准备工作:

1) 按电气原理接线图联接油增压泵、罗茨泵、旋片泵及各阀门的电源线,联接机组和电源箱之间的地线,接好气源和水源,并检查连接是否正确。水路是否畅通,气路连接后各阀门开、关是否和开关一致(不一致需调换各阀门上的气管)。 供水水压<0.3MPa 气压:0.4~0.6MPa 电压:380/220V

2) 开旋片泵电源,检查此泵的旋转方向是否和泵上标志的旋向一致(不一致时马达换相位,直到一致为止)

3) 开罗茨泵电源,检查此泵的旋转方向是否和泵上标志的旋向一致(不一致时马达换相位,直到一致为止) 2、使用操作(参照系统图)

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1) 预热油增压泵

a) 先开冷却水,开空气压缩机。 b) 合上总电源(空气开关)。 c) 打开V1、V2阀门延时5S。 d) 启动P1、P2泵电源。 e) 关闭V1、V2阀门延时5S。 f) 打开V3、V4阀。

g) 待压力小于200Pa后, 开V8阀(下阀)。 h) 待压力小于150Pa后,开ZJB-2500A罗茨泵电源 i) 开Z—600油增压泵电源。

j) 预热大约90分钟,检查其油增压泵排气口压力〈5Pa,关闭V8阀。 k) 油增压泵预热完成,在满足使用压力的情况下,随时可参与工作。 2) 低真空与高真空切换 a) 关GDQ—J150前级阀(下阀)。 b) 关ZJB-2500A罗茨泵

c) 开真空计电源、并开真空计低真空规管电源。 d) 开GDQ—J320预抽阀(上阀)。 e) 开两个GDQ-J100阀门。 f) 开两台X-150旋片泵。

g) 待低真空规测得真空度达200Pa左右。 h) 开ZJB-2500A罗茨泵。

i) 待低真空规测得真空度达20Pa左右。

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j) 关GDQ—J320预抽阀(上阀)。 k) 开GDQ—J150前级阀(下阀)。 l) 开GDQ—S600高真空主阀门。

m) 开真空计高真空规管电源,并测量高真空的变化,达到真空工艺所需要的工作真空度为止。 n)

关GDQ—S600高真空主阀门。

o) 关GDQ—J150前级阀(下阀)。 p) 开GDQ—J320预抽阀(上阀)。 q)

关任一GDQ-J100阀门,然后打开其配对的GDC-J25C阀门,最后

关掉其配对的一台X-150旋片泵,延时20S关闭对应的GDC-J25C阀门,用另一台维持工作。 3) 切换维持泵

a) 打开需要启动的X-150旋片泵对应的GDC-J25C阀门。 b) 启动X-150旋片泵。

c) 关闭其前端对应的GDC-J25C阀门。

d) 当刚启动的X-150旋片泵发出明显响声时说明其工作真空已达到极限真空(大概在关闭其前端对应的GDC-J25C阀门后10S左右),打开其前端GDQ-J100阀门。

e) 然后关闭另一台X-150旋片泵对应的GDQ-J100阀门,再打开它对应的GDC-J25C阀门。 f)

最后关掉其配对的一台X-150旋片泵,延时20S关闭对应的

GDC-J25C阀门,用另一台维持工作。

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4) 关机

a)关真空计高真空规管电源,(规管灭)。

b)关GDQ-J320和GDQ-S600高真空主阀门,然后开GDQ-J150阀门。

c)关扩散泵电源。

d)等待1.5小时左右再关阀门GDQ-J150前级阀(下阀)。 e)关ZJB-2500A罗茨泵。 f)关GDQ-J100阀门。 g)开GDC-J25C阀门。 h)关X-150旋片泵电源。 i) 关GDC-J25C阀门。 f)关水、电、气路。 5) 油浴式过滤器使用说明

在真空设备使用前必须通过油窗检查油浴式过滤器内是否有油,或油液的是否污染。

a) 油浴式过滤器油液必须控制在油窗中间到油窗上部2/3处。 b) 油浴式过滤器油液必须要控制在一定黏度之内,当油液受重度污染,不能在气流作用下飞溅时,就丧失了过滤效果,建议一到一个半月换一次,可使用真空泵内换下来的油。

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四、机组安装及使用要求

1、 安装环境:

(1) 机组要求安装在明亮少尘通风性好的建筑物内,环境室温应在

5~400C之间。

(2) 应有干净可靠且水温较低水压在2~3×105pa的水源。

(3) 机组周围应留有足够的余地,以便维护及拆装检修工作的进行。

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(4) 机组安装及使用场地边严禁易燃易爆物的存在。 2、 安装要求

(1) 浇制水泥基础,根据机组基础螺栓孔位置埋入基础螺栓。 (2) 待水泥基础硬化后再将机组放在基础上,不平处用金属片垫硬,

旋紧基础螺栓,用水泥补满缝隙。

(3) 接好冷却水的进水管,并查看每台泵的出水口的出水情况。并将

各泵及阀门的控制线按要求接对号接入电控柜,并检查妥当。 (4) 如果机组用于抽除对人体有害的气体,须在机组的排气口装上排

气管和废气处理装置,以便操作人员有个良好的操作环境,排气口管道的周径应与机组排气口同径以利于气体畅通排出。

(5) 进气管道安装时管道内壁要清洁,无焊渣,钢屑等物,如果管道

较重须适当加以固定,防止其使机组产生变形。

(6) 电控箱的控制顺序系遵循真空机组的工作机理进行。其设计、安

装及各引出线必须正确地接在各泵及各表和各阀上,并按各泵的转向要求调整好电动机转向,严禁电机反转。 3.使用要求 ①启动前的准备工作

(1) 观察各泵油窗油位是否正常,按各泵使用说明书要求加油。 (2) 用手转动罗茨真空泵应灵活无卡住现象,否则不能启动。 (3) 用手盘动旋片真空泵,使泵腔内的油返回到油箱内。 (4) 检查水压是否正常,水路是否畅通。

(5) 打开冷却水进水阀,调整好水压继电器的受控范围,机组开启。

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五、 维护保养说明

1、定期检查水、电、气是否良好: 1.1 水路水压要求<0.3MPa。

1.2 水路要求排水顺畅,在设备排水口禁止设置阀门等管道附件。 1.3 在设备长期未使用的情况下,要求排尽设备内的余液。 1.4 在室温低于2℃时,设备内不允许存在静态水。 1.5 在设备不工作时,务必断开总闸。

1.6 高压气路在供应气体时需要配置相对应的气动三联件,以保护启

动设备,维持其长时间稳定、正常工作。

1.7 高压气路供给气压要求:0.4~0.6MPa 2、定期保养管道内动密封面: 保养周期:3~6个月/次

方法:用酒精或丙酮擦拭动密封面,将表面的附着物等杂质清洗擦

拭干净,然后用干净、清洁的无纺布在将表面擦干,表面不可涂抹真空密封脂类物质,其容易黏附风尘等杂质,如发现对应的动密封圈已明显无弹性或有氧化、发硬、变形等现象,也必须一并更换。

气缸,建议两年更换。

注:涉及到泵内部的动密封必须在有生产厂家指导或授权的情况下方可

操作。

3、换油周期:

3.1 新设备在刚投入的情况下,必须在连续工作72小时左右,更换

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一次新油。

3.2 罗茨泵与旋片泵的用油为100#真空泵油,油增压泵用油为

HFV-Z22号真空泵油。

3.3 罗茨泵、旋片泵、油增压泵换油周期请参照对应的单泵说明书。 4、故障排除与维护 4.1 真空度上不去:

4.1.1 真空系统外漏,检查相关密封部位,查看是否密封良好,

并进行检漏。

4.1.2 真空系统内漏,如:内部可凝性液体泄露等。 4.1.3 真空系统操作不当,导致真空获得设备不正常工作。 如:油增压泵不正常关机(必须在关机时同时对其进行抽

真空,直到油增压泵完全冷却,方可停机,否则会造成油液变质。)或油增压泵不正常启动(必须在入口压力小于140Pa的情况下启动,否则会造成油液变质,甚至加热系统烧坏)造成油液变质,引起真空上不去。

5、真空计量:

真空计建议使用年限为1~1.5年,没3个月校准一次。 6、传动皮带建议3~6个月换一次。 欢迎咨询与联络!

技术咨询服务:021-59745974转 8208(真空系统)

8213(电控系统)

上海真空泵厂有限公司

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2010-11.23

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