1. 研究扫描探针显微技术长度测量中1. 建立纳米测量的多参数综合优化技各影响因素相互耦合的物理机制；探术。 索复杂纳米测量系统的测量不确定2. 完成自研设备的研制；完成针对台阶度定量分析方法；发展多系列不同功能的标准样块。 2. 进行自研设备的总体安装调试并确定其精度水平和测量能力；进行针对高度、线宽及纳米颗粒测量仪器的实验测量研究；完成测量比对工作。完成不确定度评定及其量值溯源链的建立；完成研制报告和测试报告； 台阶高度、线宽及纳米颗粒测量仪器3. 进行金纳米棒标准样品的定值、申报的实验测量研究；与先进国家计量院材料准备、评审和最终上报工作；得进行测量比对。 到表面电势稳定的金纳米颗粒标准样3. 根据立项进度开展相关金纳米棒标品。 准草案的各项工作。 4. 建立生物分子在半导体纳米粒子表面4. 测试不同表面生物分子修饰对量子点的荧光性质及稳定性的影响。 5. 延长对表面改性多孔二氧化硅材料的稳定性考察，申报国家一级标准物5. 质。 6. 研究银颗粒和磁性纳米粒子等体系6. 在复杂环境中表面吸附分子的覆盖度、键合强度、空间构象等。 构象和生物活性的表征方法。制备表面具有特定生物分子修饰，荧光效率稳定的核-壳结构量子点标准样品。 完成表面改性多孔二氧化硅国家一级标准物质的申报。 初步建立纳米颗粒与蛋白质、DNA等生物大分子相互作用的模型和规律。初步分析各种测量技术的准确性和可第四年 7. 针对不同来源的病毒制备通用纳米靠性。 磁珠快速提取核酸试剂盒，并推广试7. 完成《锂离子电池用纳米导电添加剂用。 性能评价方法》编制。提出《纳米碳8. 研究纳米导电添加剂对极片的加工性能，和导电性能，电化学性能的影材料表征与测量方法指南》国际标准草案，向国际标准化组织申请立项。 响。 8. 完成《纳米薄膜材料光电性能的评价9. 研究高导电性的纳米碳材料的纳米方法》和《纳米非晶态合金催化剂催结构、表面状态与材料导电和储能性化性能的检测方法》标准编制工作 能之间的内在联系。 9. 完成《可见光光催化自洁净材料性能10. 开展纳米介孔薄膜表界面性质及其测试方法》标准编制工作，提出《可与其它材料相互作用界面的性质研究。 见光光催化抗菌材料及制品抗菌性能评价》标准草案。 11. 探讨各种可收集到的纳米光催化材10. 完成《化妆品用纳米二氧化钛的应用料的抗菌性能特征，规定相关性能评性能评价方法》标准编制工作。 价方法的定义、原理。 11. 实现CaCO3和SiO2两种纳米材料在12. 开展纳米制造和服役下CaCO3和纳米制造和服役下的定性甄别和定量SiO2两种纳米材料的定性、定量分析分析。 研究。 12. 总结8英寸及12英寸平台上工艺可13. 扩大相变材料测试范围，总结测试结制造性要求，提出一项相变材料可制果，完善相变材料测试标准流程及标造性标准；提出存储单元阵列集成测准掩模板设计； 试标准草案一项； 14. 稳定12英寸平台上存储单元制备工13. 发表论文10左右篇。 艺，优化测试电路与测试流程。 14. 申请专利4项。
1. 针对基于不同原理的各种分析技术1. 按计划完成研究内容，形成特定纳米方法测量纳米粒子时的关键问题，探结构可控生长的规律，完成计划研究索建立测量原理之间的关系，分析测内容中标准样品/物质的申报及相关量误差的大小与来源。 配套使用的国家标准的申报工作。 2. 在进出境口岸、大型超市、农贸市场2. 建立纳米材料生物富集、纳米结构物等进行现场应用示范，总结利用纳米性鉴定和功能评价系列准则和标准。 技术形成标准检测平台，提高标准研3. 完成《可见光光催化纳米材料的抗菌制水平的结论和指导原则。完成数据整理，标准上报等工作 3. 总结归纳可见光光催化纳米材料的性能检测方法》国际标准CD草案。完成《可见光光催化抗菌材料及制品抗菌性能评价》标准编制工作。 第五年 性能检测方法，根据专家意见完善和4. 完成《化妆品中纳米二氧化钛和氧化改进检测方法。 锌的甄别和性能评价》和《纺织品中4. 广泛征求纳米生产企业、用户企业和相关质检机构的意见和建议，进一步（自洁净）纳米材料的甄别与性能评价》标准编制工作。 完善和改进化妆品中纳米二氧化钛5. 完成《碳纳米管材料表征与测量方法和氧化锌的甄别和性能评价方法。 指南》国际标准WD草案。 5. 进一步征询国内外相关专家的意见6. 完成测试标准流程代码移植；完善三和建议，完善《碳纳米管材料表征与项纳米器件中相变材料的性能测试标测量方法指南》国际标准草案。 准，完成编制工作。 6. 结合测试电路与实际应用芯片的大7. 发表论文5-10篇。 量测试结果，完善测试标准，并将标8. 申请专利2项。 准测试流程移植到商用测试机上，争9. 完成项目所有研究内容，进行项目验取实现批量测试。 收准备工作。 7. 对本项目开展的工作进行全面总结、数据补充及相关的申报工作。准备项目验收。
一、研究内容
（一）、纳米尺度和相关物性测量准确性和可靠性的基础研究 1纳米长度测量技术的基础问题
建立高准确度的扫描电子显微镜和扫描探针显微技术的纳米测长模型和定值方法。利用全方位的扫描电镜纳米测量模型，研究扫描电子显微镜纳米测量中各种参数对纳米线宽和其它长度测量值的影响。研究扫描探针显微技术长度测量中各影响因素相互耦合的物理机制；探索复杂纳米测量系统的测量不确定度定量分析方法；发展多系列不同功能的标准样块，建立纳米测量的多参数综合优化技术。
针对基于不同原理的各种分析技术方法测量纳米粒子时的关键问题，探索建立测量原理之间的关系，分析测量误差的大小与来源。利用各种检测和表征技术分别对不同粒子的能够反映尺寸和形貌信息的各种参数进行比较和分析，寻求能够准确反映尺寸和形貌的关键统一参数。 2 纳米尺度光、电性质测量中的基础研究
建立纳米薄膜光学常数和光电、热电转换关键参数的测量技术规范。利用金属纳米薄膜的中低能反射电子能量损失谱（REELS），获得薄膜的能量损失函数和介电常数，建立部分纳米薄膜材料的光学常数数据库；针对纳米光电和热电薄膜材料，研究测量不确定度来源，并有效控制和消除测量误差。
建立纳米颗粒表面电势和荧光性质测量的技术规范。研究基于光散射、微电泳等方法测量纳米颗粒表面电势的技术差异，考察激发波长、溶液性质、参考物质等因素对纳米发光材料荧光产率准确测定的影响，研究金属纳米结构表面增强拉曼散射的测量，实现测量结果的互认。
（二）、纳米标准物质/标准样品制备过程中的调控规律和计量定值 1 纳米长度和颗粒尺寸可溯源定值研究
建立米定义国家基准到纳米台阶、线间隔/线宽、颗粒粒径的量值溯源链。研究原子力显微镜针尖及白光干涉仪的光与不同材质表面的作用，及对台阶高度测量结果的影响；研究原子力显微镜、紫外光学测量系统用于线间隔/线宽测量时对精度影响的各种因素，重点研究原子力显微镜针尖、光束所产生的边缘效应，
建立相应的修正模型；研究利用透射电镜和原子力显微镜测量纳米颗粒粒径时影响测量精度的各种因素。
2 具有光学探针功能的纳米标准物质/标准样品研制
针对纳米材料在光学标记方面的应用，建立系列贵金属和半导体纳米结构的标准物质/标准样品。在前期粒径和形貌可控制备的基础上，研究不同形状贵金属纳米结构尺寸控制和形状控制的关键因素；探索实现表面定量化生物修饰、及光学性质稳定可控的标准样品。
3 功能纳米氧化物标准物质/标准样品研制
针对目前纳米技术应用中有广泛需求的材料体系，建立系列具有担载、吸附等功能的纳米氧化物标准物质/标准样品。发展评价纳米材料吸附等性质的准确测量规范，研究影响纳米氧化物担载、吸附等功能稳定性的物理和化学机制。 （三）、纳米结构与介质界面的准确测量和可靠分析基础 1 针对纳米材料生物环境效应评价的基本物性测量
研究复杂环境中典型纳米材料（银颗粒、量子点、富勒烯等）的团聚状态、粒径分布、表面电势、比表面积等基本物理性质，和金属离子释放/溶解等基本化学性质的测量方法，探索发展这些参数的准确评价手段，为建立准确可靠的纳米生物环境效应评价奠定基础。
2 纳米材料在生物环境和大气环境下的界面性质测量
评价各种检测技术在纳米生物与环境界面测量中的准确性和不确定度，形成相关方法技术规范。综合运用红外光谱、X-射线光电子能谱（XPS）、热重分析、光散射、激光解吸质谱等手段，针对目前在纳米生物医学领域广泛应用的银颗粒、量子点、磁性纳米粒子等体系，研究纳米-生物界面的化学组成、尺度范围和稳定性，研究在复杂环境中表面吸附分子的覆盖度、结合强度、空间取向等参数的测量方法。
3 纳米材料和结构用于生物大分子富集的研究
探索建立利用纳米技术富集检验检疫中常见病毒和病原体的评价方法和技术规范。研究纳米标准粒子与典型生物大分子的相互作用，得出影响纳米材料吸附与富集病原体效率的关键因素；研究非特异性和特异性（如特定核苷酸片断标记）纳米微球的制备和富集病原微生物的检测。 （四）、纳米制造过程中的性能测量准则和标准制定基础
1纳米制造过程和服役条件下纳米材料的鉴别和功能检测
建立复合材料和技术产品中纳米结构提取和纯化的分析和测量技术规范。发展合适的分离和分散方法，并探索原位、在线、动态的可靠测量技术，进行纺织品和化妆品等典型制品中纳米材料形貌分析和结构分析，鉴定其存在形态。研究纳米颗粒分散到介质后的二次团聚、纳米颗粒和介质的界面及相互作用对于性能的影响，为建立准确可靠的纳米材料（TiO2、Ag等典型体系）在复杂环境下的性能测试标准提供依据。
2 纳米器件相关的材料与工艺的测试标准研究
建立具有重要纳米器件应用前景的材料与工艺测试标准与技术规范。研究相变存储器生产工艺中的关键测试参数与环节，进行失效统计与失效分析，建立与纳米材料相关的测试标准。