内容 原因 E260 WIZProbe上执行点测量数据处理装置的命令错误。 时在测量位置没有被测件 编号 解决方法 (1)请将测量点设置在激光测量范围内的位置。 (2)若经常发生请联系本公司技术支持部门。 E261 未安装WIZProbe时发送(1)数据处理装置异常 WIZProbe用的测量命令 (2)控制器异常 E262 WIZProbe 上执行点测量PICS电缆接触不良、断线 时在测量位置移动无SYNC信号 用Metris 测头扫描测量时无SYNC信号 E263 数据处理装置发送无效测(1)数据处理装置异常 头ID (2)控制器异常 E264 WIZProbe的位移量未发(1)电缆接触不良、断线 送 (2)数据处理装置的设置错误 E266 用户自定义ROM中未进用户自定义ROM设置错误 行用于WIZProbe的设置 (NanoMaster1600) (1) Muchecker没未连接 E270 Muchecker未连接 (2) Muchecker未接通电源 (3) 电缆未连接 (4) 电缆接触不良 E271 (NanoMaster1600) FCE3H的Measure Pitch不正确 (1) 数据处理装置的命令错误 (2) 间距过细 请联系本公司技术支持部门 若经常发生请联系本公司技术支持部门 请联系本公司技术支持部门 若经常发生请联系本公司技术支持部门 请联系本公司技术支持部门 (1)连接Muchecke。 (2)接通Muchecker电源。 (3)连接电缆。 (4)确认电缆的接触。 (1)若经常发生请联系本公司技术支持部门 (2)扩大间距 编号 内容 原因 解决方法 若经常发生请联系本公司技术支E281 QVP的自动对焦SPEED数据处理装置的命令错误。 范围之外。 允许范围 1≦V≦设备最高速度/10 E282 (1)用户自定义ROM中设(1)用户自定义数据设置错误 置的QVP自动对焦定位幅(2)数据处理装置的命令错误 度超出允许范围。 (2)数据处理装置发送的QVP自动对焦定位幅度设置命令(FCDEH)的值超出允许范围。 允许范围 1≦W≦255 E290 不可使用控制外部设备的数据处理装置的命令错误 特 Auxiliary Unit命令(FCE0H)的系统接受了数据处理装置的该条命令 E291 数据处理装置发送的Auxili数据处理装置的命令错误 特 ary Unit命令的Unit No.不正确 围之外 (FC2CH)的设置值在允许发送的测量速度值在前述允许范持部门 若发生请联系本公司技术支持部门 若经常发生请联系本公司技术支持部门 若经常发生请联系本公司技术支持部门。 编号 内容 原因 解决方法 若经常发生请联系本公司技术支持部门 (1) ATC盖板开关系统异常 若经常发生请联系本公司技术支持部门 E292 数据处理装置发送的Auxili数据处理装置的命令错误 特 ary Unit命令的Command No.不正确 E293 ATC 盖板错误 特 未完全关闭 E294 Master Ball盖板错误 特 完全关闭 特 区外发出命令 ATC自动交换后ATC盖板(2) 盖板开关传感器异常 (1) Master Ball盖板开关系统异若经常发生请联系本公司技术支持部门 (2) 盖板开关传感器异常 行许可区时，只可在该区域内执执行许可区进行回避处理 行该命令 (1) ATC unit开关时请将PH回复Master Ball测量后盖板未常 E295 在Auxiliary Unit命令许可在指定了Auxiliary Unit命令执执行Auxiliary Unit命令前，请在E296 ATC unit开关时的Probe 数据处理装置的命令错误 特 Head(PH)角度错误 为了防止测头和ATC的干涉，如到指定角度 为了防止测头和ATC的干果指定了ATC unit开关时的PH(2) 请确认光电传感器的光线是否涉，如果不是指定的PH角角度则将通过光电传感器检测是被遮挡 度则进行ATC unit开关动否处于该角度 作 (3) 光电传感器的光线被遮挡而发生错误时，可能是光电传感器的信号线断裂。 出现这种情况请联络我公司技术支持部门
#300 REC ERROR 编号 内容 (1)测头过重 (2)Option B'd不佳 原因 解决方法 (1)请减轻测头重量 (2)若经常发生请联系本公司技术支持部门 E302 不支持手动扫描(FC72H)数据处理装置的命令错误 的三坐标 E305 指示了MPP-10禁止命令 数据处理装置的命令错误 E306 未安装MPP-10的情况下(1) 数据处理装置的命令错误 指示了MPP-10测量命令 (2) MPP-10接触不良 E307 MPP-10命令参数设置错数据处理装置的命令错误 误 若经常发生请联系本公司技术支持部门 若经常发生请联系本公司技术支持部门 若经常发生请联系本公司技术支持部门 若经常发生请联系本公司技术支持部门 E300 MPP的下限松动 E308 MPP-10的中立异常(发生测头断线、接触不良 1mm以上的移位) E311 RT轴的伺服轨道错误 (1)RT碰到障碍物 RT扫描时实际速度超出(2)RT滑行不良 了控制程序发出的速度命(3)RT轴的马达配线接触不良 令值允许的范围之外时发(4)RT伺服控制电路板接触不良 生该错误 (5)RT伺服控制单元故障 E312 在RT SCANNING REF数据处理装置的命令错误 ERENCE(FC6DH)中发生坐标设置编码异常时发生 坐标设置编码错误 若经常发生请联系本公司技术支持部门 若经常发生请联系本公司技术支持部门 若经常发生请联系本公司技术支持部门 E313 RT SCANNING(FC6CH) (1)测量触头的公称直径较小也可在下面的条件下将较少发生。 在一类使用RT进行高度能成为发生该错误的原因。 (1)测量触头的公称直径较小。 一定的扫描中，以工件的(2)MPP测头的压入量的设置较――＞4mm以上 法线方向为基准控制RT大也可能成为发生该错误的原因。 (2)MPP测头压入量的设置 的扫描，如果工件的曲率(3)扫描的速度较快。 很大时，扫描无法进行，这时将发生该错误。 ――＞0.5mm以下 (3)扫描速度 ――＞3mm/s以下 编号 内容 原因 解决方法 E314 相对RT轴心T的工件轴心Zw的倾角(Θ2)较大(最大至45请重新设置工件坐标系的第3轴。度)时发生。 Zw T Θ2 Θ2 Yw Xw Z Y X 转台 X,Y,Z ：设备坐标系 Xw,Yw,Zw ：工件坐标系 T ：RT轴心 Θ1 ：在设备坐标系上的RT倾角 Θ2 ：RT轴心与工件坐标系第3轴的倾角 【原因】 RT扫描时，RT旋转轴与工件坐标系第3轴间的倾角超过45度，测量将无法进行。 E315 在RT SCANNING(FC6数据处理装置的命令错误 式设置成NORMAL以外结果数据输出格式只可使用NO的格式。 RMAL。 若经常发生请联系本公司技术支CH)中，结果数据输出格在RT SCANNING(FC6CH)中，持部门