?3.型式及规格 :
一般可分为 VCR / SWG / WELDING /螺牙接头/FLANGE 尺寸从 1/8―~1‖(VCR/SWG)及1/4―~300A(WELD/FLANGE) 皆有, 又分 短接头 SCM (micro) or 长接头 SCL (long) & SCF (以Kitz作说明):
Product Name Size Size for other side Type Specification
Material
SCM 4 0 E EP LE
SCM：表示BANKEN公司对FITTING的分类，是属于短接头型式。 4：表示尺寸为1/4‖。
0：表示另一端尺寸同前，为1/4‖。 E：表示此料件型式为ELBOW。 EP：表示料件表面处理等极为EP。
LE：表示此料件为VIM+VAR等级的EP?4.常用厂牌 : KITZ / HAM-LET / IHARA / SWAGELOK /FUJIKIN….?5.另外大部分FITTING又分为三种不同规
格，分别为一般Type；Union Type及Reducing Type。一般型即为平时所见之焊接型式， Union型为对接型式（即直接以GLAND+NUT锁紧），Reducing型类似一般型，唯其两端（三端）尺寸不同。
一般组盘所用接头有两种，分别为VCR及SWG，其中VCR需锁紧1/8圈，SWG需锁紧1 1/4圈(1/4‖以下需锁紧3/4圈)，方能有效锁紧。 大部分的气体使用之GASKET为Ni材质，CO对Ni具侵蚀性* CO & O3 – Gasket must be SUS.。
2.1.5 VALVE 阀件：
?1.材质同管件?2.常用种类 :
* 手动阀 ( Manual Valve )
a.Ball Valve 球阀
b.Bellows Valve 波纹管阀
c.Diaphragm Valve 膜片阀 /
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*气动阀 ( Air Valve )
*逆止阀 ( Check Valve ) CHECK VALVE选取主要依据其尺寸及两
端接头型式决定。Cracking Pressure为Check Valve使气体通过之最小压力。通常选用3 psig以下之型式。NH3必需使用特殊之Check Valve， * NH3 – Check valve must be AFLAS type.。
* 其他
?3.常用厂牌 : KITZ / OHNO / IHARA / MOTOYAMA / NUPRO….?4. 备注: * 高压阀 / 低压阀 -- 依使用场所不同来选择
* 两通阀 / 三通阀 / 四通阀 / ….. : 依需求来选择,注意流向选择
2.1.6 REGULATOR 调压阀：
?1.材质同管件?2. Seat 材质: PCTFE , SS316L , Kel-F81… * N2O – Seat material must be Vespel.?3.常用种类 : * 高压 / 低压 / 一般压力 * 2P 无表头 / 3P or 4P 单表头 或双表头 * VCR / SWG / Flange / 12/37
?4. REGULATOR一般分高压与低压选取，但尚有高流量型式可供选取，另外可依表头（Gauge）需求加以搭配。?(以 KITZ 为例)
* Bulk Gas 一般使用 316L BA 或 316L EP 等级 / VCR 或SWG 1/4‖ - R25 系列 3/8‖ - R35 系列
1/2‖ - RH1 系列 * Specialty Gas :
毒性 / 易燃性 / 惰性 气体 – 316L EP - L25 or R25 系列 腐蚀性 气体 – VIM + VAR - L25SVA 系列
低压性气体 – 需选择可调负压的 type - L96SSA 系列
(-30‖Hg~0~30 psi)
2.1.7 about Pressure Gauge & Transducer
?1.常用种类区别 :
* Pressure Gauge ( PG ) 压力表头 , 指针式 , C122
* Pressure Switch ( PS ) 压力开关 , 指针式 , 带传输线 ,IPS 122 * Digital Pressure Gauge ( PID ) 电子式压力表头
* Pressure Transducer ( PT ) 压力传送器
?2. 使用于: 盘面 及 管路上?3. 压力范围大致可分为 : * 高压 (0~3000 psi)
* 低压 (-30‖Hg~0~30 psi)
(-30‖Hg~0~160 psi)? 4. 常用电源 : 24V DC , 4~20 mA DC
2.1.8 FILTER 过滤器：
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?1. 功能: 过滤气体中的微粒子 ( Particle )
?2. 过滤等级选择 , 即滤径尺寸(particle size) , 可分为:
* 0.01um / 0.03um / 0.003um?3. 中心滤片 (Medium) 材质: PTFE / SS316L / NI * CO – 滤片材质为 PTFE?4. 流量考量 (flow rate) : 分 一般流量 及 大流量
30 slpm / 100 slpm / 300 slpm / 1500 slpm….?5. Connecting type: VCR or SWG or Welding ?6.注意: 一般常用 滤片材质 (以 Mykrolis 为例) * Bulk Gas – PTFE
* Specialty Gas :
毒性 / 易燃性 / 惰性 气体 – PTFE 系列 腐蚀性 气体 – PTFE , no SS316L
for CO - PTFE type 过滤效防漏性 抓取率 抗腐蚀效 PTFE (F) 好 不好 > 10.8 N/A SS316L 很好 好 很差 6.2 很好 很好 好 > 10.8 Nickel 2.1.9 VACUUM GENERATOR 真空产生器： 装于 G/C / G/R / VMB / VMP作为 Vent 抽气使用VACUUM GENERATOR的选取主要在于其接头的尺寸及型式。
Vent out 1/2‖
GN2 in ?‖
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2.1.10其他：
（1）氩气：纯度99.999以上，每个钢瓶6立方公尺或7立方公尺，通常一瓶每组可使用2~3天。
（2）C型钢：制作支撑架用，有高低脚、双并、有孔等型式。
（3）电工管夹：将管材固定于C型钢上，最大可使用至5/8‖之管子。 （4）管束：分单立、双立、P型等型式，固定管子用。 （5）牙条：吊挂、固定型钢用。
（6）型钢垫片：配合牙条、吊挂型钢用。
（7）弹簧螺帽：置于型钢槽内，锁螺丝或牙条用。
< 符号认识 : >
2.2 一次配管
2.2 一次配管（SPI）
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