统的控制等来实现膜性能的提升。此外，随着晶体硅太阳能电池成本不断压缩，硅片厚度也在可行的范围内不断减薄，使生产过程中碎片风险大大增加。平板式PECVD设备在传输、装卸硅片的过程中应更多的考虑自动化的设计，从而降低碎片率，提高成品率。
3.3 缩短维护保养周期
设备维护周期和维护时间的长短是设备生产性能的一个重要方面。随着设备不断大型化，生产线上设备数量相对减少，一台设备的停机维护对整体产能影响较大。此外，大型设备的维护时间和维护难度都相应增加。对于设备设计而言，可采取简化电极结构、优化开盖系统以及通过采取自我诊断的方式来尽早发现设备异常或不良状况的迹象，并及时采取应对措施等等，使维护的难度减小。此外，还应该通过设备与工艺的整合来减少设备的损耗，以延长其维护与保养周期。
3.4 更环保节能
设备整合工艺，降低化学用品的消耗量，节能节水，减少废气、废液的排放。比如采用环保的清洗技术，合理开发工艺，降低有害反应物的生成量，配备完善的废气、废液处理设备等，进一步降低工厂对环境的污染。 4 结束语
随着晶体硅太阳能电池市场需求的不断攀升，作为其技术支撑的装备行业将会获得越来越多的发展空间。有理由相信，国产设备供应商通过不断提升自身的技术实力和服务意识，一定能够早日实现与国外设备厂商的同台竞技，并利用自身的价格、地域及服务优势，在太阳能电池乃至更广阔的半导体设备行业，牢牢的站稳脚跟。
联系人：胡立琼 北京北方微电子公司 工艺部
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