图15 微型磁强计结构图 7、基于MEMS技术磁强计的有关专利 （1）专利名称： MEMS水平谐振式磁强计 申请号：200910077171.3 申请(专利权)人：清华大学
发 明 (设计)人：尤政;胡穆之;杨建中 (2) 专利名称： MEMS水平谐振式磁强计 申请号：200910131270.5 申请(专利权)人：清华大学
发 明 (设计)人：尤政;胡穆之;杨建中
(3)、专利名称： 基于微机电系统的巨磁阻抗效应磁敏器件 申请号：200510026606.3
申请(专利权)人：上海交通大学
发 明 (设计)人：周 勇;丁 文;曹 莹;陈吉安;周志敏
（4）、专利名称： 基于微机电系统的巨磁阻抗效应磁敏器件的制作方法
申请号：200510026607.8
申请(专利权)人：上海交通大学
发 明 (设计)人：周 勇;丁 文;曹 莹;陈吉安;周志敏 （5）、专利名称： 一种MEMS微型高灵敏度磁场传感器及制作方法
申请号：200610030766.X
申请(专利权)人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所 发 明 (设计)人：吴亚明;刘玉菲;李四华;万助军 （6）、专利名称： 水平式隧穿磁强计 申请号：200410074075.0 申请(专利权)人：清华大学;
中国电子科技集团公司第十三研究所
发 明 (设计)人：尤政;杨拥军;汤学华;何洪涛;王晓路;吝海峰 （7）专利名称： 一种微机电系统磁场传感器及测量方法 申请号：200810022319.9 申请(专利权)人： 东南大学
发 明 (设计)人：陈 洁;黄庆安;秦 明;赵桂林
（8）专利名称： 以MEMS技术制造的半导体材料的集成三轴磁力计 申请号：201010592331.0
申请(专利权)人： 意法半导体股份有限公司
发 明 (设计)人： L·巴尔多;F·普罗科皮奥;S·泽尔比尼 （9）专利名称： 微机电系统磁场传感器及磁场测量方法 申请号：200710022805.6 申请(专利权)人： 东南大学
发 明 (设计)人： 陈 洁;黄庆安;秦 明;张中平
（10）专利名称： 微机电系统的微型化磁通门传感器
申请号：200910046099.8 申请(专利权)人：上海交通大学
发 明 (设计)人： 周 勇;雷 冲;周志敏;丁 文
（11）专利名称： 谐振式微机电系统磁场传感器及测量方法 申请号：200910029903.1 申请(专利权)人： 东南大学
发 明 (设计)人： 陈 洁;黄庆安;秦 明;李成章 （12）专利名称： 共振磁强计设备
申请号：200480034653.6
申请(专利权)人： 秦内蒂克有限公司
发 明 (设计)人： D·O·金;K·M·布伦森
8、参考论文：
[1]姜智鹏 , 赵伟 , 屈凯峰, 等. 磁场测量技术的发展及其应用. 电测与仪表, 2008,(45)：1-5，10；
[2]潘启军,马伟明,赵治华,康军. 磁场测量方法的发展及应用. 电工技术学报, 2005,(20):7-13；
[3]金惕若. 空间磁场的测量. 《测控技术》, 2000,(19)：32-35； [4] 董浩斌,张昌达. 量子磁力仪再评说. 工程地球物理学报, 2010,(7)：460-470；
[5]胡苗苗，刘海顺，李端明，王怀军. 磁场测量方法及其应用. 现代物理知识, (20)：36-38；
[6] 张昌达，董浩斌. 量子磁力仪评说. 工程地球物理学报, 2004,(1)：499-507；
[7] 陈海英. 精密磁强计的发展现状及应用. 现代仪器, 2002,6：5-7； [8] 张志杰, 贺天民, 孙昕, 杜晓波. 用于近代物理实验教学的振动样品磁强计. 物理实验, 2007,(27)：37-39；
[9] 胡穆之，尤政，杨建中，张弛. MEMS水平谐振式磁强计的建模与仿真. 系统仿真学报, 2009,(21)：2787-2790；
[10] 刘玉菲，赵本刚，吴亚明，王跃林. 新型高灵敏度低功耗的磁场传感器设计与模拟. 传感技术学报, 2006,(19)：2068-2071；
[11] 任大海, 阎梅芝, 尤政. 扭摆型谐振式磁强计及其激振与测控系统设计. 纳米技术与精密工程, 2007,(5)：190-196；
[12] 汤学华，何洪涛，罗 蓉，李 倩，郭荣辉，吝海峰. 水平式隧穿磁强计表头的制作. 压电与声光, 2006,(28)：48-50；
[13] 杨建中，尤政，刘刚，康春磊. 微型磁通门式磁敏感器(MEMSMag). 功能材料与器件学报, 2008,(14)：313-318；
[14] 朱俊华,周兆英,叶雄英,张大成,郝一龙,李婷. 微型隧道效应磁强计的设计和加工工艺研究. 微细加工技术。 2001,(1)：53-56；
[15] 任大海，阖梅芝，尤政. 谐振式MEMS磁强计原理与研究进展. 传感器与微系统2007,(26)：10-12，16；
[16] 汤学华, 尤政, 杨建中. 谐振式隧穿磁强计的理论研究.微纳电子技术,.2003,(7/8)：407-409；
[17] 张海昌 ，汤学华,胡晓莉. 新型隧穿磁强计结构 多梳齿结构. 机械工程师, 2009,(11)：13-15；
[18] 朱俊华，丁衡高，叶雄英. 一种微型隧道效应磁强计的设计. 仪器与仪表, 2000,(11)：16-17，34；
[19] 全玮, 汤学华. 一种新型水平式MEMS 隧穿磁强计仿真. 上海电机学院学报, 2008,(11)：95-98；
[20]汤学华,尤政，杨拥军. 水平式隧穿磁强计的建模与仿真. 压电与声光, 2005,(27)：566-568；
[21] 阎梅芝，董哲、任大海、尤政. 扭摆型隧穿磁强计的设计方法研究. 仪器仪表学报, 2006,(27)：1154-1158；