PE调整
调试之前厂方做好准备工作
由于厂家方面没有做好准备工作，可能以后会发生一些小故障。
1 硅烷流量计时常堵塞，主要是有由于厂家气体管道没有在通气之前做好清洗工作，一般在进入设备之前要用高压氮气吹扫24小时。再有硅烷在发生燃烧等情况后，管道要长时间清洗，否则会发生堵塞现象。主要是由于硅烷燃烧后在管道中产生的粉尘引起。 2 NH3流量计堵塞
主要是由于氨气容易液化引起，所以氨气一路的气压不要过大，要低于2.5公斤，而且要保证管道所处的环境不要过低。
外围动力准备就绪后，开始调试工艺具体步骤如下：
此工艺适用于PD305A小管PE 1． 工艺气体管道氦质谱检漏
采用氦质谱检漏对工艺气体管道进行检漏，要求所有工艺气体管道漏率≤1×10-12Pam3/s。
2． 工艺气体管道保压
将各管道充氮气达到2Kg/cm2，用记号笔在表指针位置划线做标记，关掉进气阀门，过24小时指针不动为保压合格。（一般情况氦质谱检漏合格保都能合格。） 3． 抽气管道真空检漏
采用氦质谱检漏对真空管道进行检漏，要求所有工艺气体真空管道漏率≤1×10-12Pam3/s，同时反应室极限真空能抽到22mtorr以下也可作为真空管道检漏合格的参考。
4． 反应室真空检漏
反应室极限真空能抽到22mtorr以下，且保压时漏率≤40mtorr/min
5． 反应室保压
将反应室抽到极限真空，关闭所有的阀门，测试每分钟压力上升多少mtorr，保压时漏率≤40mtorr/min保压合格。 6． 推舟位置确认
手动进出舟，保证电极和舟孔对位准确、接触良好。
7． 恒温区确认
确认该管设备恒温区合格。
8． 冷却水确认
确认冷却水压力和流量合格。
9． 工艺条件确认
确认所有工艺条件具备。
10． 送特气
打开流量计和阀门，用真空泵将管道抽空，送氮气再抽空，反复送氮气再抽空5次以上，关闭所有工艺气体阀门，保持反应室抽极限真空的状态，再缓慢打开VMB的特气阀门，再开主管路手动阀，再开相应管手动阀。 11． 电源试放电
手动将舟放到反应室内，将管内抽极限真空，通氨气，将压力设为1700mtorr，保持，进行试放电，正确电源面板参数设置正确，设置功率为3000W、脉冲为开3关30，
步号 步功能 系统1 检查2 进舟3 抽空4 恒压5 清洗6 抽空7 充氮8 抽空9 检漏10 抽空11 恒压预镀12 膜 13 镀膜14 抽空15 充氮16 抽空17 充氮18 充氮19 出舟
观察电源面板脉冲灯应该亮为正常。 12． PLC设置反馈功率参数设置
根据要求用触摸屏将PLC中的设置反馈功率参数设置正确。
13． 手动测试工艺
每步用手动方式模拟工艺的每一步。
14． 自动工艺测试
测试自动工艺是否正常。
15． 镀舟
镀膜时间应该为10次正常工艺的时间。
16． 四片工艺调试
将功率设为1800w，其余工艺参数不变，观察膜是否为蓝色。
17． 14片工艺调试
将功率设为1900w，其余工艺参数不变，观察膜是否均匀。 18． 整舟工艺调试
走标准工艺，观察均匀性，不断调整参数。
19． 工艺跟踪
时温度温度温度温度温度硅间 1 2 3 4 5
氮气 烷 氨气 压力 RF
功率 脉冲开10 10000
0 0 10000 0 240
10000
0 0 10000 0 240 0 0 0 0 0 20 0 0 5000 1700 0 150 0 0 5000 1700 3000 3 30
60 0 0 0 0 0 20 6000 0 0 0 0 30 0 0 0 0 0 30 0 0 0 10000 0 60 0 0 0 0 0 15 0
0 4800 1700 0
120 0 0 4800 1700 3000 3 30 900
0 530 4800 1700 3000 150 0 0 0 0 0 20 6000 0 0 0 0 20 0 0 0 0 0 20 6000 0 0 0 0 150 10000 0 0 10000 0 240 10000 0 0 10000 0
膜厚72纳米左右， 折射率 2.01~2.02 适量 增加硅烷会改变折射率 例如增加三十折射率会到达2.05以上
脉冲关
多晶标准工艺
步号
1 系统检查 2 3 4 步功能
时间
温度1
温度2
温度3
温度4
温度5
氮气
硅烷 0 0 0
氨气 压力
RF功率 0 0 0 0 脉冲
脉冲
进出
上下速度 0 0 0 0 0 0 平移速度
开 关 炉 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 10 450 450 450 450 450 10000 240 450 450 450 450 450 10000 210 440 440 440 440 440 20 440 440 440 440 440 0 0 0 10000 0 10000 0
0 1700 进舟 抽空 恒压 1 50 3000
0 5000 5 清洗 6 抽空 7 充氮 8 抽空 9 检漏 10 抽空 11 恒压 12 预镀膜 13 镀膜 14 抽空 15 充氮 16 抽空 17 充氮 18 充氮 19
出舟
120 440 60 440 20 440 30 440 30 440 60 440 15 440 180 440 740 440 150 440 20 440 20 440 20 440 100 440 240 450 440 440 440 440 440 440 440 440 440 440 440 440 440 440 440 440 440 440 440 440 440 440 440 440 440 440 440 440 450 450 440 440 440 440 440 440 440 440 440 440 440 440 440 440 440 440 440 440 440 440 440 440 440 440 440 440
440 440 450 450 0 0 0 0 6000 0 0 0 0 0 0 0
0 0 0 0 0 600 0 0 6000 0 0 0 6000
0 10000 0 10000
0
5000 1700 0 0 0 0 0 0 0 10000
0
0 5000 1700
5000 1700 5000
1700 0 0 0 0 0 0 0
0
0 10000 0 10000
4500 4 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0
0
4500 4 4500 4 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0
0
40
0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0
0 0 40 0 0 40 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0
0
0
1 50 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 3000
两步镀膜
step time 温度 氮气 硅烷 氨气 压力 RF功脉冲开 脉冲关
率
1 10 500 500 500 510 510 10000 2 320 500 500 500 510 510 10000
0
0 10000 0 3 200 500 500 500 510 510 0 0 0 0 0 4 10 500 500 500 510 510 12000
0 7000 1600 4200 5 180 445 470 477 478 471 0 0 7000 1600 4200 6 40 445 470 477 478 471 0 0 0 0 0 7 20 445 470 477 478 471 6000 0 0 0 0 8 30 445 470 477 478 471 0 0 0 0 0 9 20 445 470 477 478 471 0 0 0 10000 0 10 20 445 470 477 478 471 0 0 0 0 0 11 10 445 470 477 478 471 0 0 6000 1550 0 12 180 445 470 477 478 471 0 0 6000 1550 4200 13 10 445 470 477 478 471 0 1200 6000 1550 0 14 240 445 470 477 478 471 0 1200 6000 1550 4200 15 60 445 470 477 478 471 0 0 6000 1550 4200 16 600 445 470 477 478 471 0 800 6000 1550 4200 17 60 445 470 477 478 471 0 0 0 0 0 18 20 445 470 477 478 471 6000 0 0 0 0 19 20 445 470 477 478 471 0 0 0 0 0 20 10 445 470 477 478 471 10000 0
0 10000 0
21 110 445 470 477 478 471 10000 22
320
445
470
477
478
471
10000
10000
10000
各种条件对镀膜结果影响 1 温度对镀膜影响
温度对PE镀膜影响并不是很大，但在一定程度上能对片间膜厚有所改变 2 占空比对膜厚的影响
占空比越大对膜厚产生有促进作用，也就是说同样膜厚占空比大的话需要的时间越短，但是这并不是无限制的，否则对镀膜的工艺效果会有影响。我们一般常用的主要是3：30 4：40 5：50 3：33 4：44 5：40
但是占空比越小的话，远离电极的片子镀膜效果越差。 3 功率对镀膜的影响
（1） 功率越大，沉积速度越快 （2） 功率越大，折射率会略有下降
（3） 功率越大对电极部分的片子镀膜厚度增加，也就是电极部分和非电极部分的片子色差越大 4 压力对膜厚的影响
（1） 压力的变化和片子膜厚成正比关系，但是效果不是很明显，压力越低片子的均匀性会变好。但是
一般不能无限制的降低，一般降到1400mtorr，就不能用了，片子上中心部分膜厚会很小，色差
0
0 0 0 5 45 5 45 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 4 40 0 0 4 40 4 40 4 40 0 0 0 0 0 0 0 0
严重
（2） 一般中间薄四周厚，压力偏小了 （3） 中间厚四周薄压力偏大了 （4） 提高压力会提高片间的均匀性
一般国产的石墨舟使用100次~120次就要清洗了。
刚镀完的舟做出的片子都会出现中间厚四周薄的现象，但是这个影响不大，一般做个3舟左右，就会改变过来，解决的办法可以在镀舟时插上假片，就会解决。刚镀完的舟做片子一般都偏厚 ，第一舟减小30秒，二舟减少20秒，三舟减少10秒，以后就进入正常工艺即可。
注意：一般PE不用做过多调试，工艺一般都是通用的，如果发现异常情况，而且很不规律的话，即使查找设备上的问题。