美国ASTM D5127电子及半导体工业用纯水水质要求 项目 线宽(μm) 电阻率 热源(EU/ml) TOC(μg／L) 溶解氧DO(μg／L) 蒸发残渣(μg／L) 微粒(μm)(SEM检测) 0.1—0.2 0.2—0.5 0.5—1.0 10 微粒(μm)(在线检测) 0.05—0.1 0.1—0.2 0.2—0.3 0.3—0.5 ＞0.5 细菌 100ml Sample 1L Sample 硅(μm) 总硅 溶解硅 离子(μg／L) NH4 Br Cl F N03 N02 P04 S04 Al Ba B Ca Cr Cu Fe Pb Li Mg Mn K K TypeE-1 1.0-0.5 18.2 0.03 5 1 1 1000 500 50 - 500 300 50 20 4 1 1 3 1 0.1 0.1 0.l 0.1 0.1 0.l 0.1 0.1 0.05 0.05 0.05 0.05 0.05 0.05 0.05 0.05 0.05 0.05 0.05 0.05 0.05 TypeE-1．1 0.5-0.25 18.2 0.03 2 1 0.5 1000 500 50 - 500 300 50 20 4 1 1 0.5 0.1 0.1 0.05 TypeE-1.2 0.25-0.18 18.2 0.03 1 1 0.1 200 l00 1 - 100 50 20 10 1 1 0.1 0.5 0.05 0.05 0.02 TyPeE-2 5-1 17.5 0.25 50 - - 3000 10 10 - - 1 - 1 - 1 1 - - - - - 1 - - - - - 1 2 TyPeE-3 >5 12 - 300 - - 10000 10000 50 - TyPeE-4 - 0.5 - 1000 - - 100000 100000 1000 - 10 - 5 - 5 5 - - - - - 2 - - - - - 2 5 1000 - 500 - 500 500 - - - - - 500 - - - - - 500 500 0.05 0.02 0.05 0.03 0.05 0.02 0.05 0.02 0.05 0.02 0.05 0.02 0.02 0.02 0.02 0.02 0.02 0.02 0.02 0.02 0.02 0.02 0.02 0.02 0.02 0.005 0.001 0.005 0.002 0.002 0.002 0.002 0.005 0.003 0.002 0.002 0.002 0.005 Na Sr zi
0.05 0.05 0.05 0.02 0.02 0.02 0.005 0.00l 0.002 1 - 1 5 - 5 1000 - 500