Retainer)和SWG(Swaglok)。前者泄漏率低,约为10-9Acc/sec,且耐压高,常用于制程的危险气体;后者的泄漏率高,约为10-6Acc/sec,且耐压低,常用于不危险的一般气体。目前已有很多厂商发展出泄漏率更低的接头方式,约可达到10-14Acc/sec以上,基本上,其安全性已足够取代焊接的方式,但在台湾海尚未被广泛接受,使用者少;未来若能大量采用,定可大大的缩减施工的时程与成本。
结论
特气供应系统一直是半导体厂务各系统中最重要的一环,其设计上的优劣将直接影响到整厂的安全性与制程的稳定性,可是却少有专文对其整体架构设计的合理性与需求进行基础的探讨。通常在进行建厂的厂务设计时,工程师最易使用的方式即是依循前人的设计值接进行规划,常忽略重新检示原始设计的理念,导致旧设计无法与新型的设备做紧密的搭配,致使系统的规划不符合实际的需求或浪费相关的资源。个人建议当工程顾问公司提出规划时,业主需依据制程上的需求或实务上的状况,与设计顾问公司进行广泛和深入的讨论,以厘清业主的实际需要,使设计合理化,达到真正的经费与安全的最佳平衡。实际的工程上,并不存在所谓完美的设计,任何道德工程系统皆有其设计的盲点,风险无可避免,端看如何防范可能的危险发生,使发生的机率降至最低。