Y09-310型激光粒子计数器操作/维护规程 /EP12-2012 附：ISO规定的洁净度等级以及传统分级
ISO等级序数N ISO1级 ISO2级 ISO3级 ISO4级 ISO5级 ISO6级 ISO7级 ISO8级 ISO9级
最高浓度极限（颗粒数/m3） 0.1μm 10 100 1000 10000 100000 1000000 0.2μm 2 24 237 2370 23700 237000 0.3μm 10 102 1020 10200 102000 0.5μm 4 35 352 3520 35200 352000 3520000 35200000 1. 0μm 8 83 832 8320 83200 832000 8320000 5.0μm 29 293 2930 29300 293000 近似对应FS－209Ｅ 1级 10级 100级 1000级 10000级 100000级
版本：第A版 第0次修订 第 1 页 共 15 页 发布/修订：2012年11月01日 实施：2012年11月10日