第二，应从洁净度高到洁净度低的房间顺序进行，一直到直通室外的房间。 第三，测管口设置在室内不受气流干扰的地方。 第四，所测数据应精确到1.0Pa。 ② 静压差的测定步骤：
首先，是将洁净区内所有的门全处于关闭状态下。
第二，用微压差计测量洁净室之间，洁净室和走廊之间，走廊与外界之间的压差。 第三，记录在案
③ 静压差测定用的仪器：
静压差测定一般采用的仪器为YJB-150型补偿式微压计，倾斜式压力计，精密指针式压力计或灵敏度小于1.0Pa的其它压力计。 ④ 合格标准：
首先，不同级别的洁净室（区）与非洁净室洁净室（区）之间的静压差应不小于5Pa。 第二，洁净室（区）与室外的静压差应不小于10Pa。
第三，对于洁净度等级严于5级的单相流洁净室在开门时，门内0.6m处室内工作面的含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度限值。 5．温度和相对湿度的测定： ①温湿度的测定要求
首先，温湿度测定前，净化空调系统应连续运行48h以上。
第二，应根据温湿度的精度范围，选择有足够精度的测定仪表，并经过校验标定合格。 ②温湿度的测定方法：
第一，温湿度的测点应距离地面0.8m，距离外墙0.5m。
第二，应根据温湿度的精度范围的要求，测定宜连续运行8~48h，每次读数间隔不大于30min。 第三，对于没有恒温要求的房间，其温度只测房间中心一个点即可。
第四，对于有恒湿要求的房间或区域，测点应放在送，回风口处或具有代表性的点。 ③ 合格标准：
有90%以上的测点其温度的偏差值在室温要求的范围内，为符合设计要求，反之为不合格。 6．照度的测定： ① 照度的测定要求
室内照度的测定必须在室温稳定，光源光输出稳定后再进行测定。 ②照度的测定方法：
第一，照度的测点应距离地面0.85m，按间距1~2m布点，测点距离墙1m。 第二，记录实测值并计算总的平均照度。
第三，照度测定一般是不含局部照明以外的一般照明。 ③ 合格标准：
应符合设计要求，根据（洁净厂房设计规范）的要求，洁净室内一般照明的均匀度不应小于0.7。
7．噪声的测定： ① 噪声的测定方法：
当房间的面积不大于50m2时，仅测定房间中心一个点。当房间的面积较大时，每增加50m2增
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加一个测点。测点距离地面1.0m。当有条件时，宜测房间静态工况的噪声和本底噪声。 ② 合格标准：
应符合设计要求，根据（洁净厂房设计规范）的要求，洁净室空态情况下非单向流洁净室的噪声不应大于60dB(A)。单向流和混合流洁净室的噪声不应大于65 dB(A)。 8．自净时间的测定： ①自净时间的测定方法：
以大气尘为基准测定时，洁净房间必须停止运行一段时间，待空气中含尘浓度接近大气含尘浓度时，然后开机，直到含尘浓度达到最低稳定值为止，其所需要的时间为自净时间。 以人工尘（香烟，巴兰香等）为基准测定时，在洁净室中央距离地面1.8m的高度发烟1~2min 即停止，再稳定1~2min，然后开机，直到含尘浓度达到最低稳定值为止，其所需要的时间为自净时间。
9．安装后过滤器的检漏： ①检漏要求：
被检过滤器应检测过风量并在设计风量的80%~120%条件下运行。
被检过滤器上游的粒子浓度被检过滤应满足下列要求：对受控粒径≥0.5μm的浓度，应不小于3.5x10pc/L
对受控粒径≥0.5μm的浓度，应不小于3.5x10pc/L ②检漏方法：
用粒子计数器对安装的接缝和主断面进行扫描检漏。检漏点应距离被检表面20~30mm。扫描的速度5~20mm/s， 扫描检漏的部位为过滤器整个断面，封头胶，安装框架等处。扫描检漏用的粒子计数器的最小采样量应大于1L/min。 ③ 合格标准：
被检过滤器下游的粒子浓度换算成穿透率，高效过滤器不应大于出厂合格穿透率的两倍。 五，洁净室运行管理的一些问题： （一）过滤器的基本知识及其维护管理 1，过滤器的基本知识
过滤器是洁净室的主要净化设备，是空气净化的主要手段。因此，对于从事洁净室设计、建造和维护管理人员了解和掌握过滤器的基本知识是十分重要的。
a、过滤器的分类
按过滤器的性能（效率、阻力、容尘量）来划分，通常将其划分成粗效、中效、高中效、亚高效、高效（HEPA）和超高效（ULPA）六类过滤器。
我国国家标准《空气过滤器》GB/T 14295-93中将不同过滤器的效率和阻力规定如下：
表二十三 过滤器的效率和阻力（GB/T 14295-93）
性能指标 性能类别 粗效 ≥ 5.0μm 额定风量下的大气尘限径计数效率 （E %） 80 > E > 20 额定风量下的初阻力 （Pa） ≤ 50 4
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中效 高中效 亚高效 ≥ 1.0μm ≥ 1.0μm ≥ 0.5μm 70 > E > 20 90 > E > 70 99.9 > E > 95 ≤ 80 ≤ 100 ≤ 150 国家标准《高效空气过滤器》GB 13554-92中规定将高效过滤器按性能划分为A、B、C、D四类。D类又通称为超高效过滤器（或称为0.1μm高效过滤器或超低透过率过滤器）。
表二十四 过滤器的效率和阻力（GB 13554-92）
性能指标 性能类别 A B C D 额定风量下的钠焰效率 额定风量和20%额定风量下的钠焰效率 额定风量和20%额定风量下的钠焰效率 额定风量和20%额定风量下的≥0.1μm粒子效率 效 率 （E %） ≥ 99.9 ≥ 99.99 ≥ 99.999 ≥ 99.999 额定风量下的初阻力（Pa） ≤ 190 ≤ 220 ≤ 250 ≤ 280 国外将超高效过滤器（ULPA）的过滤效率指标规定为对于≥0.12μm粒子的过滤效率E≥99.9995%。
关于我国和欧美对过滤器的分类比较如下：
表二十五 过滤器的分类表
我国标准 GB/T 14295 美国 ASHRAE标准 欧洲新标准 欧洲老标准 C1 一般通风用 粗 效 C2 C3 C4 G1 G2 L5 L6 L7 L8 洁净室用 高中效 M13 M14 中效 M9 M10 M11 M12 亚高效 H15 H16 高 效 UH17 UH18 UH19 超高效 UH20 G3 G4 F5 F6 F7 F8 F9 H10 H11 H12 H13 EU12 EU13 H14 U15 U16 U17 EU1 EU2 EU3 EU4 EU5 EU6 EU7 EU8 EU9 EU10 EU11 EU14 效率E（%） 65 80 90 计重法 60 80 90 比色法 85 95 99.5 99.95 99.995 99.9995 99.99995 MPPS法（DOP法） b、过滤器的过滤机理
过滤机理主要有拦截（过筛）、惯性碰撞、布朗扩散和静电等。
① 拦截：即过筛。大于筛孔的粒子拦截下来被过滤掉，小于筛孔漏过去。 一般对大粒子有作用，效率很低，是粗效过滤器的过滤机理。
② 惯性碰撞：粒子尤其较大粒子随气流流动，作无规则运动。由于粒子的惯性或某种场力作用偏离气流方向，不随气流运动，而与障碍物碰撞、粘住而被过滤掉。粒子越大，惯性越大，效率越
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高。一般是粗效和中效过滤器的过滤机理。
③ 布朗扩散：气流中的微小粒子做无规则的布朗运动，与障碍物撞击被钩留粘住，而被过滤掉。粒子越小，布朗运动越强，与障碍物撞击机会越多，效率越高。这也被称作扩散机理。这是亚高效、高效和超高效过滤器的过滤机理。且纤维直径越接近粒子径效果越好。
c、过滤器的性能
过滤器性能一般包括过滤效率E；初阻力Hc；容尘量g。
① 过滤效率 E = 被过滤器过滤掉的（捕集的）粒子量/未过滤前空气中粒子总量×100% 一般而言：≤0.1μm粒子主要作布朗扩散运动，粒径越小，效率越高。
> 0.5μm粒子主要作惯性碰撞运动，粒径越大，效率越高。
0.1 > d >0.5μm之间的粒子其过滤效率有一个最低点，即最大穿透率的粒径。
② 初阻力Hc：气流绕纤维运动产生微小阻力，无数微小阻力之和即滤料对空气的阻力。过滤器的阻力与气流速度有关，速度越大，阻力越大。
过滤器的阻力分为初阻力（Hc）和终阻力（Hz）。 初阻力（Hc）是过滤器器开始使用时额定风量下的阻力。 终阻力（Hz）是过滤器更换时的阻力。一般Hz = 2×Hc。 ③ 容尘量g：过滤器到达终阻力时在滤料上所容纳的灰尘重量。 d、滤速
滤速是指空气垂直于滤料方向穿过滤料的速度。不是过滤器迎面风速。
滤速越大粒子惯性力越大，对粗、中效过滤器而言效率越高，但滤速越大，过滤器对空气的阻力也越大。所以一般粗效过滤器滤速为1~2 m/s，中效过滤器的滤速0.2~1 m/s。
滤速越大，不利于微小粒子的布朗运动，因此对高效、超高效过滤器的滤速一般控制在0.02 m/s左右。
e、过滤器滤料和结构形式
粗效过滤器的滤料一般为：玻璃纤维、化纤、无纺布等其结构型式多为板式、折叠式和袋式。 中效过滤器的滤料一般为玻璃纤维、化纤、无纺布等其结构型式多为袋式、楔形折叠式。 高效过滤器的滤料主要是超细玻璃纤维滤纸。结构型式均为折叠式。有有隔板和无隔板之分。 f、过滤器的使用和更换 ① 过滤器的使用
粗效、中效、高中效、亚高效、高效、超高效6种过滤器各有各的用途，必须正确使用，如果使用不当，不但不会起作用而且还会产生不良甚至相反的效果。因此，设计、建造和维护管理洁净室的人员要特别注意。
粗效过滤器是作为预过滤器使用，一般是设置在空调箱内，其作用是过滤大颗粒的粒子，以保
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护其后的空调设备（如表冷器和加热器等）和中效以及更高级过滤器。一般粗效过滤器不能作为终端过滤器。
中效过滤器一般设在空调箱的正压段，其作用是保护亚高效、高效过滤器等终端过滤器。它除去的是≥1.0μm的中小粒子。一般情况下，中效过滤器是中间过滤器，不能做预过滤器用，也不能做终端过滤器。
高效和超高效过滤器都做为净化系统的终端过滤器。一般放置在洁净室的吊顶上。高效过滤器（HEPA）是洁净室的必须的终端过滤器。而超高效过滤器是0.1μm，10级、1级或更高级别洁净室必须的终端过滤器。
② 过滤器的更换
过滤器经过一段时间的运行，当过滤器的阻力达到其终阻力Hz时，一般情况下就要更换了，否则其性能就会下降，达不到应起的作用，甚至会影响系统的正常运行。
对粗、中效过滤器而言，有一次性使用后废弃的也有可清洗后继续使用的，不过清洗后的粗、中效过滤器的阻力远比其初阻力大，效率也有所提高。
然而亚高效、高效和超高效过滤器都是一次性的，使用后就废弃的。 (二)、洁净室的发尘源和洁净室的清埽： 1、洁净室的发尘源
对于洁净室的尘源，除了来自室外大气的尘粒和进入洁净室的人和物携带的灰尘之外，洁净室内的发尘源主要来自于洁净室内操作人员，洁净室的围护和洁净室内生产工艺设备和生产过程的产尘。
① 洁净室内作业人员的产尘。作业人员的产尘与所穿的洁净工作服的材料、型式、着装情况和作业人员本身的动作有关。因此，洁净室内的作业人员必须穿规定的工作服而且动作也要受到一定的限制。通常情况下，一般电子装配工艺穿全身型洁净工作服轻微动作时，人员的产尘量为3.5 ~ 5.0×105个/人·分（≥0.5μm）。而人走动时的产尘量为轻微动作时产尘量的十倍以上。因此，人特别是人的行为是洁净室内的最主要的发尘源。
人穿无菌工作服在洁净室里边的产菌量；静止时10~300个/人?分；上肢动作时150~1000人?分；行走时900~2500个/人?分。
人体每日脱落的皮屑多达6~13g/人?日。一年平均每人产皮屑大约3.5kg/人?年。
化妆产生的粒子一次高达5100x10个/人?次。其中，口红中有微生物1100x10个/人?次。 ② 洁净室围护和室内表面的产尘。随着洁净室装修材料的发展，耐磨、抗静电、少产尘的材料出现，洁净室内建筑产尘量越来越小。一般认为洁净室单位建筑面积产尘为3 ~ 5.0×10 /m?分（≥0.5μm）。可见10平方米建筑产尘只相当一个作业人员的产尘量。
③ 生产设备和生产过程的产尘：这一产尘量与设备和生产过程本身有直接关系。不同设备、不
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