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机电1331、1332班 第20周 星期 三 第3节 2015年 1月 14日讲 授 课 题 7.3微机械及其微细加工技术 装 了解微机械及其微细加工技术的基本概况； 教 学 目 的 了解各种微细加工技术的特点和应用； 了解典型微电子机械系统装置 重 点 难 点 能够了解目前国内外先进的微机械及其微细加工技术 订 教 学 方 法 讲授法 教 具 使 用 投影仪 教 学 提 纲 作业布置 （1）微机械及其微细加工技术简介； （2）各种微细加工技术的特点和应用； （3）集成机构和硅微加速度计 线 36
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