77. ISO14644国际标准(中文版)(17)

2020-11-27 10:54

四舍五入为 382pc/m3 D.1.10

按公式(C.4)计算95%置信上限(UCL)(见C.3.4).单个平均值采样点数m=9,取自表C.1中的分布系数t=1.9。

2154

95%UCL(≥0.3µm)=6349+1.9

9

=7713.2

四舍五入为 7713pc/m3

(D.11)

382

95%UCL(≥0.5µm)=706+1.9 9

=947.9

四舍五入为 948pc/m3 D.1.11

(D.12)

按B.6.1对结果进行整理。在D.1.7中各单次采样量的粒子浓度低于规定的等级限值。在D.1.10中,计算出的95%置信上限值同样低于在D.1.3中规定的等级限值。 因此,该洁净室的悬浮粒子洁净度符合要求的级别。 D.2 实例2 D.2.1

本示例目的在于证实95%UCL的计算对结果的影响。

某一洁净室规定悬浮粒子洁净度为ISO 3级,动态,采样点数定为5个。由于采样点数多于1个,少于10个,应按附录C计算95%置信上限。 只考虑一种粒径(D≥0.1μm)。 D.2.2

ISO 3级,粒径≥0.1μm,从表1中取粒子浓度限值:

Cn(≥0.1μm)= 1000 pc/m3

D.2.3

在各采样点仅单次采样,按(B.5.1.1)记录各点的粒子浓度Xi pc/m3,并记录如下。 采样点 Xi≥0.1μm 1 926 2 958 3 937 4 963 5 214

D=0.1μm时各粒子浓度值小于D.2.2中确定的限值。这个结果满足了等级的第一部分(B.6.1),因此可以按附录C进行95%置信上限的计算。 D.2.4


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