77. ISO14644国际标准(中文版)(9)

2020-11-27 10:54

(标准部分)

采用离散粒子计数和光散射仪器确定微粒洁净度的等级

B.1 原理

使用离散粒子计数和光散射仪器确定在指定的采样点上大于或等于规定粒径的悬浮粒子的浓度。 B.2 仪器要求 B.2.1 粒子计数仪

离散粒子计数器(DPC)是一种光散射装置,具有显示或记录空气中离散粒子的数目和粒径的能力和粒径鉴别能力,可检测到被测级别之适当粒径范围内的总粒子浓度,以及适当的采样系统。 B.2.2 仪器标定

仪器应该有有效的标定证书;标定的频率和方法应按现行公认的规定执行。 B.3 预测试条件 B.3.1 测试准备

测试前,应按照技术性能要求认证洁净室或洁净区作为一个运行的整体,是完整的、功能是正常的。

预测试工作一般包括: a) 空气流量或流速测试; b) 空气压差测试; c) 围护结构泄漏测试; d) 装好的过滤器泄漏测试。 B.3.2 预测试设备配置

按照制造厂的说明书进行设备配置和仪器的预测试标定。 B.4 采样

B.4.1 确定采样点位置 B.4.1.1

按公式(B.1)求出最少的采样点数目:

NL=A

式中,

(B.1)

NL —最少采样点数(四舍五入为整数)。 A —洁净室或洁净区的面积,以㎡计。

注 在水平单向层流时,面积A可以看作是与气流方向呈垂直流动的空气的截面积。 B.4.1.2

要保证采样点均匀分布于整个洁净室或洁净区内,并位于工作活动的高度。


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