青岛大学物理科学学院
第七章
光学薄膜性能监测技术
第7章 光学薄膜性能监测技术
对高性能的光学薄膜器件的制备，性能测试是十分重要的； 随着光学制备技术的发展，复杂结构薄膜器件的制备成为可 能；只要能测出来的特性就一定能制备出来； 光学薄膜测试技术主要包括：
光学特性：光谱反射、透射以及器件的光学损耗(吸收和散射）； 薄膜光学参数测试：n和d； 非光学性能监测：附着力、附着能、应力和耐环境条件实验能力；
光学薄膜应用范围广泛，器件的光学特性以及几何结构形 状各异，所以薄膜器件的监测技术也必须适应器件特点； 薄膜性能提高，要求测试新的特性参数、更高江都测试技 术不管出现。