第7章-光学薄膜性能监测技术(5)

青岛大学物理科学学院

第七章

光学薄膜性能监测技术

7.1 光谱分析测试系统的基本原理

分光光度计

是测量薄膜透射率常用的光谱分析仪器，特别是单色仪型分光光度计； 波段分类：紫外－可见光分光光度计、红外分光光度计； 测试原理：单色仪分光光度计和干涉型光谱测试系统；

单色仪型分光光度计原理

光源 照明光 学系统

单

色 仪 样品池

单 色 仪 传感器

处理 系统