过程参数检测概述
浙江大学信息学院控制系 过程参数的一般检测原理 压电效应
—过程控制基础及应用—
当某些材料受压发生机械形变时，在两个相对的面上会产生异号电荷。这
种在没有外电场存在，由于形变引起的电现象称为压电效应。可见，利用压电效应可进行力、压力的测量。
应变效应和压阻效应利用金属导体和半导体材料制成的电阻体，其阻值R可以表示成
l R A
当电阻体材料的电阻率、长度或者截面积发生变化，可引起电阻体电阻值发生变化 电阻体的电阻值变化归结为两个因素： 一是由尺寸变化引起的(如 l、A),称为应变效应； 二是由电阻率变化引起的，称为压阻效应。 对于金属材料，以前者为主；对于半导体材料，以后者为主。 利用材料的应变效应和压阻效应制成的敏感元件可用于压力等参数的测量。 15