卡尔蔡司ZEISS SUPRA 55场发射扫描电镜安全操作使用规程模版
扫描电子显微镜操作规程
一、开机说明
冷启动步骤
1、 启动UPS
打开墙上空气开关，确认UPS后面电池开关打开，按前面面板上On键至两个绿灯亮。
2、 启动循环水冷机。
按On键，确认水泵1和制冷指示灯亮。
检查出水口压力在2～3bar。出水口压力可由压力表下方阀门调节。
若有报警，检查水位，按Res键。
3、 启动空气压缩机。
确认空气压缩机上启动阀门上开关为“I”状态。检查输出气压为5～6bar。
4、 确认主机后两个电源开关状态为On。
此时，主机前面板上红灯亮。
5、 按下黄键。
说明：前级真空泵进入工作状态，分子泵、潘宁计和离子泵自动顺序启动。
6、 按下绿键。
按下绿键后，电脑会自动启动，输入计算机密码：
7、 启动SmartSEM软件。
用户名： 密码：
8、 检查真空值，等待真空就绪。
注意：当System Vacuum<2×10-5mBar时，会自动打开CIV阀门(column isolation valve)，并启动离子泵。
当Gun Vacuum=<5×10-9mBar时，可启动灯丝。若长期停机，需做烘烤。
9、 开启灯丝。
10、开TV，检查样品台。
11、装样品。
12、加高压(EHT)。
13、观察样品。