卡尔蔡司ZEISS SUPRA 55场发射扫描电镜安全操作使用规程模版
注意：舱门上O圈有时会脱落，关门时勿夹到异物。
8、 抽真空。
点击Pump，等待真空就绪(留意Vacuum面板上真空状态)。
等待过程中，可先移动样品台初步定位样品。
9、 换样完成。
加高压，观察样品
三、成像初步
1、 定位样品。
打开TV，移动样品台。升至工作距离约在5~10mm处，平移对准样品。可打开stage navigation帮助定位。
2、 开高压。
根据检测要求和样品特性，设定加速电压；
3、 观察样品，定位观察区。
全屏快速扫描（点击工具栏上 ）；
选择Inlens或SE2探头；
缩小放大倍数至最小；
聚焦并调整亮度和对比度（Tab键可设置粗调Coarse或细调Fine）；
读取WD数值；
必要时升降样品台，WD常用5～10mm；
移动样品台X、Y，或使用Centre Point(Ctrl+Tab键)定位；
聚焦、放大至～5kX、再聚焦、定位；
4、 必要时，调光阑对中。
选区快速扫描， Aperture面板上，选上Wobble，调Aperture X和Y，消除图像水平晃动。完成后取消Wobble。
5、 消像散。
选区扫描，依次调Stigmation X、Y和聚焦，直到图像最清晰。
6、 成像。
进一步放大至～50kX、并进一步聚焦和消像散；