上海天马微电子有限公司企业标准
TIANMA TFT工艺流程、材料、设备、生产常用中英文标准名称
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二．TFT材料中英文标准名称 类型 Type 玻璃 Glass Materials name Glass Color filter Bare glass LCD Panel AlNd/Al Target MoNb/Mo Target ITO Target Al Etchant ITO Etchant HNO3 CH3COOH Developer Stripper MEA Photo Resist Organic Photo Resist Thinner NMP HF Acetone IPA Ethanol Photo Mask APR Plate Rubbing Cloth Adhesive Tape Probe frame for array tester E/T Frame Cell ET Probe Unit Open/Short tester and prober Teflon Tape Silicon rubber Wiper Tape 材料名称 玻璃基板 彩色滤光膜 白玻璃基板 液晶面板 铝钕/铝靶材 钼铌/钼靶材 ITO靶材 Al蚀刻液 ITO蚀刻液 硝酸 乙酸 显影液 剥离液 单乙醇胺 光刻胶 有机膜用光刻胶 稀释剂 N-甲基-2-吡咯烷酮 氢氟酸 丙酮 异丙醇 酒精 光罩 APR版 摩擦绒布 双面胶布 阵列电测架 电测用探测架 屏电测用探测头 开路、短路电测用探测头 特氟龙带 硅胶皮 无尘卷布 靶材 Target 化学液体 Chemical 辅助器材 Sub material 上海天马微电子有限公司企业标准
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NF3 SiH4 SF6 NH3 Cl2 HCL CHF3 PH3 CF4 N2 O2 H2 Ar He 三氟化氮 硅烷 六氟化硫 氨气 氯气 氯化氢 三氟甲烷 磷烷 四氟甲烷 氮气 氧气 氢气 氩气 氦气 液晶材料 偏光片 散光膜 聚酰亚胺 边框胶 UV胶 各向异性导电膜 导电衬垫球 边框胶内衬垫球 盒内衬垫球(白） 盒内衬垫球(黑） 背光源 集成电路/驱动IC 印刷电路板 柔性印刷线路板 模块外框 触摸屏/触摸膜 阻容器件 助焊剂 焊锡/焊接剂 Q/S0001-2007 第12页共23页 高纯气体 High purity gas 液晶 LC 胶膜 Film 涂料 Dope LC Polarizer Diffuser PI Sealant UV glue ACF Conductive Spacer Spacer used in Sealant Spacer used in Cell（White） Spacer used in Cell（Black） Back Light Unit Integrated circuit/Driver IC PCB FPC Module Frame Touch Panel/Touch film RCL 树脂 Resin 元器件 Parts
焊接材料 Soldering material FLUX SOLDER CREAM 上海天马微电子有限公司企业标准
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Q/S0001-2007 第13页共23页
三．TFT设备中英文标准名称 English name 中文名称 PHOTO 曝光 PVD&WET 溅射&湿式 PECVD 化学气相沉Exposer 曝光机 Coater Developer 陈列黄光制程清洗机-涂布机-显影机 long size measuring and critical dimension 测长仪和线宽测量仪 measuring multiple equipment Titler& Edge Exposer 打标机和边缘曝光复合机 Edge Exposer 边缘曝光机 AFM 原子力显微镜 FIB 聚焦离子束系统 FE-SEM 场发射扫描电子显微镜 UV Meter UV照度计 EXCIMER UV 准分子紫外清洗机 Ionizer Bar 除静电棒 Fire Extinguisher 灭火器 Photo Ionizer 软X射线静电消除器 PVD 磁控溅射成膜机 (Multi-chamber type sputtering system) Particle counter 尘埃粒子测量仪 Ultrasonic Cleaner 超声波清洗机 Stripper 脱膜机 Contact Angle Analyzer 接触角测量仪 RS Meter(4point Probe) 四探针仪 Cassette Cleaner 工装篮清洗机 Initial Cleaner 预备清洗机 Pre CVD cleaner 成膜前清洗机 HF Cleaner before S/D S/D成膜前带HF清洗机 Liquid Particle Counter 液体内尘埃粒子测量仪 CCSS 中央化学品供应系统 Anneal Oven 退火炉 Hard Bake Oven 后烘炉 Film Tester 薄膜附着力测试仪 Etchant Concentration Management 刻蚀液浓度管理系统 System DMS 显影液浓度管理系统 DRS 显影液溶剂回收系统 RMS 剥离液浓度管理系统 Wet Etcher 湿刻机 4.5G-Macro Review System 4.5G宏观检查机 4.5G-Mic/Mac Review System 4.5G宏观、微观检查机 RGA(Residual Gas Analyzer) 残余气体分析仪 Hot N2 Transfer System 热N2供应系统 PECVD 等离子增强化学气相淀积设备 Special Gas Supply & Monitor System 特种气体供应和监视管理系统 上海天马微电子有限公司企业标准
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Gas Scrubber for PECVD Full Automatic Spectroscopic Ellipsometer for Flat Panel Display Clean Crane Spectroscope Reflectometer He Leak Detector Dry Pump for CVD Dry Pump for PVD EPD for Dry Etching Dry pump for Dry Etching Dry Etching/Ashing System Profiler System Chiller for Dry Etching Local Scrubber System for Dry Etching Rubbing Line Before PI cleaner Cassette BF PI Printer Pre-Cure Main-Cure Loader/Un loader APR cleaner Rubbing Inspection After Rubbing Cleaner ODF System Seal Dispenser Short Dispenser Seal De-bubbling machine UV cure Spacer Cure Oven Cooling /Rotation Unit Seal Cure Oven LC dispenser LC de-bubbling Vacuum Assembly Mis-align Checker Visual Inspection ODF Inline transfer and line control block Loader(3port) Un loader(3port) Cassette Buffer Turn Align Buffer Pairing/NG Buffer Spacer NG Buffer Turn Over Align PECVD用尾气处理装置 平板显示用全自动椭圆偏振光谱仪 洁净室起重机设备 平板显示用全自动分光反射光谱仪 氦气检漏仪 化学气相沉积设备用真空泵 物理气相沉积设备用真空泵 干刻终点侦测器 干刻机设备用真空泵 干刻灰化一体机 段差量测机 干刻机辅助设备冷却器 干刻用废气处理设备 摩擦线 PI前清洗机 工装篮缓冲器 PI涂布机 预固化炉 主固化炉 上下料机 APR板清洗机 摩擦检查机 摩擦后清洗机 ODF相关设备 边框胶涂布机 导电胶涂布机 边框胶脱泡机 紫外线固化机 衬垫球固化炉 冷却/旋转装置 边框胶固化炉 液晶滴下机 液晶脱泡机 真空贴合系统 对位检查机 目视检查机 ODF联线传输和软件控制系统 上料机 下料机 卡匣缓冲器 旋转对位缓冲器 配对/不良制品缓冲器 衬垫球散布不良制品缓冲器 翻转对位器 Q/S0001-2007 第14页共23页 Temperature Recorder 温度记录仪 积 DRY 干刻 CELL 制盒 上海天马微电子有限公司企业标准
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UV Mask stock Buffer after UV cure Cooling Buffer Spacer US Cleaner Spacer Remover(USC) US Cleaner after sealant dispensing US Cleaner after short dispensing Master PLC CIM PC Seal Inspection Cell Gap Inspection Dry Spacer Spray & Spacer count Auto Clave Edge Grinder LCD Panel cleaning and Polarizer attach system Panel Cleaner Polarizer Attach Machine LCD Panel Polarizer Rework Machine Cell Cassette(3\Single head scriber LCD glass in-line Scriber Multi head Scriber COG bonding machine COG Semi-automatic Bonding Machine Aging test system Signal generator for LCD Inspection Auto Optical Inspection Air Particle Counter Backlight tester Projector Microscope Ionizer blower Surface resistance test kit（点检） Charged Plate Monitor Static electricity voltage testing ADI-AOI AEI-AOI CF-AOI Array Tester Open/Short tester and prober ARRAY O/S probe TEG Prober UV Mask 存储柜 紫外线固化后缓冲器 冷却缓冲器 衬垫球超声波清洗机 衬垫球聚团去除装置（超声波清洗机） 边框胶涂布后超声波清洗机 点胶后超声波清洗机 主PLC CIM PC 边框涂布检查机 盒厚检查机 干式散布机 衬垫球计数器 偏光片贴附后加压消泡机 液晶面板磨边机 液晶面板清洗和偏光板贴附机系统 面板清洗机（用于液晶面板清洗和偏光板贴附机系统） 偏光板贴附机（用于液晶面板清洗和偏光板贴附机系统） 液晶面板偏光片返工机 3\卡匣 单刀头切割机 液晶面板在线切割机 多刀头切割机 自动COG邦定机 半自动COG邦定机 老化测试系统 LCD检查用信号发生器 自动光学检测仪 空气尘埃粒子测量仪 背光源色度亮度测量仪 投影仪 显微镜 离子风扇 表面电阻测量仪 平面带电测试仪 静电电压测量仪 显影后检测 刻蚀后检测 彩色滤光片检测 阵列电测机 开路/短路检测和探针系统 开路/短路探针系统 TEG探针系统 Q/S0001-2007 第15页共23页 MODULE 模块 TEST 测试