上海天马微电子有限公司企业标准
TIANMA TFT工艺流程、材料、设备、生产常用中英文标准名称
TEG Tester Probe Unit for TEG Array repair Array Probe frame Visual test probe unit ET Probe unit Microscope Microscope and laser system Barcode Reader Fixed 2D Code Reader Portable 2D Code Reader PI+Macro inspection system Cell Gap Measure System Laser Trimmer Cell Laser Repair Oscilloscope Manual probe Precision Parameter Analyzer Product Optical Quality Measurement System Optical Parameters Measurement System Circuit drawing//Orcad P-spice Analog Simulation PCB Artwork 3D Mechanical Design Tool 2D structure Design Tool Pattern Generator Resistance Attenuator illuminance Colorimeter Spectrophotometer Color Analyzer R,L,C Measurement ESD Gun(EMI/EMS)table UV TEST chamber Seal dispenser three axis Measurement Stage Pre-tilt angle & cell gap measurement system LC resistivity meter Oscilloscope(Analog) Thermo-hygrostat Thermal Shock Chamber ESD Gun(EMI/EMS) Liquid crystal injection machine Plasma cleaning machine Simulation software of LCD Optical parameters TEG测试系统 TEG测试用探针系统 激光修补系统 阵列电测架 目测用探针系统 2英寸电测用探针系统 显微镜（Panel） 带激光的显微镜 条形码阅读器 2维读码器系统(固定类型) 2维读码器系统(可移动类型) PI+Macro检测系统 盒厚测量系统 激光切线系统 液晶盒激光修补系统 示波器 手动探针系统 TFT参数分析仪 产品光学质量检测系统 光学特性量测设备 电路图编辑器 P-spice电路仿真器 PCB线路图编辑器 3D机械设计工具 2D结构设计工具 测试图形发生器 电阻衰减器 亮度色度计 亮度色度光谱仪 色彩分析仪 R,L,C测试仪 静电枪台 紫外线测试箱 边框胶涂布机 三轴量测平台 倾斜角盒厚量测仪 液晶电阻率测量仪 模拟示波器 恒温恒湿柜 冷热冲击舱 静电枪 灌晶机 等离子清洗机 LCD光学特性模拟软件 Q/S0001-2007 第16页共23页 R&D 研发 上海天马微电子有限公司企业标准
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Layout editor for mask CIM System -.Manufacturing Execution System(MES) -.Preventive Maintenance System(PMS) -.Statistical Process Control(SPC) -.Equipment Automation Program(EAP) -.Report System -.Engineering Data Analysis(EDA) -.Finished Goods Management System(FGMS) -.Engineering Data Base(EDB) Operator Interface Client(OIC) FAB Monitoring Client(FMC) Dispatcher(DSP) Fault Detection and Classification(FDC) Alarm Management System(AMS) Real Time Analysis/Monitoring System(RTAMS) System Management System(SMS) Unpacking line -.Un packer -.Glass conveyor -.Initial Cleaner -.Un loader Cassette Manual Guide Vehicle (MGV) Array Cassette ODF Cassette Automated Material Handling System(AMHS) -.Clean Stocker(STK) -.Overhead Handling System (OHS) -.Material Control System (MCS) Clean Robot Loader/Un loader Sorter MES DB Server MES APP Server EDA/EDB Server FDC Server PMS Server YMS Server File Server Centralized Backup/Recovery Server Development Server Testing Server Storage/Disk Array SAN Switch/Storage Link Tape Library Switch Router 版图设计软件 计算机集成制造系统 -.制造执行系统 -.机台预防保养系统 -.统计制程管制 -.设备自动化 -.报表系统 -.工程数据分析 -.产成品管理系统 -.工程数据库 操作者界面 工厂监控系统 任务分配系统 缺陷检查和分类系统 机台报警系统 缺陷管理的实时监控/分析系统 系统管理系统 拆包线 -.拆包机 -.玻璃传送带 -.预清洗 -.下料机 工装篮人工引导车 Array工装篮 ODF工装篮 自动物料搬运系统 -.洁净堆料机（STK） -.天车搬送系统（OHS） -.物料控制系统（MCS） 洁净机械手 上下料机 分片机 MES 数据服务器 MES 应用服务器 EDA/EDB 服务器 FDC服务器 PMS服务器 YMS服务器 文件服务器 中央备份服务器 开发服务器 测试服务器 磁盘阵列 SAN交换机 磁带库 网络交换机 网络路由器 Q/S0001-2007 第17页共23页 CIM 集成控制 AMHS 物料搬运 CIM Server 集成控制系统服务器 上海天马微电子有限公司企业标准
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Firewall Message Bus TIBCO Rendezvous Data Protector Exhaust Fan(FRP) UPW system Auto control system CDA system Bulk gas supply system Exhaust Fan Fan Filter Unit Gas and liquid leak detection system Diesel oil generator VOC scrubber Plant Vacuum pump cleaning vacuum pump waste water monitor system vesda system chiller cooling tower HVAC PUMP heat energy supply system LPG system PCW system 35KV transformer Telephone system CATV system broadcasting system fire alarm system WWT 35KV switch device Mv switchgears, cast coil transformers, unit substations, power scada Security & CCTV system Fire fighting system Single head scriber Contact Angle Eyewash Wet station 网路防火墙 信息总线 TIBCO消息集聚器 数据保护者 排气风机（玻璃钢离心式） 纯水超纯水设备 自动控制系统 压缩空气系统 大宗气体供应系统 排气风机 送风过滤系统 气体和液体测漏系统 柴油发电机系统 有机物蒸气洗净机 工厂真空系统 清洁真空系统 废水检测系统 空气烟感探测分析系统 冷水机组 冷却塔 空调水泵 集中供热系统 LPG站系统 PCW系统 35KV变压器 电话系统 有线电视系统 广播系统 火警系统 废水处理系统 35KV开关装置 中压变配电系统 安保和闭路电视系统 消防系统 单刀头切割机 接触角测量仪 洗眼台 带通风橱的中央实验台 Q/S0001-2007 第18页共23页 Facility 工程 Analysis room 分析室
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Q/S0001-2007 第19页共23页
四．TFT生产常用中英文名称 English name LCD (Liquid Crystal Display) Glass, substrate or glass substrate TFT(Thin Film Transistor) Panel Array Cell Module Monitor Pixel Computer Notebook－PC RGB (Red, Green, Blue) PM (Preventive Maintenance) Quality Standard Material Yield 玻璃基版 薄膜晶体管 面板 阵列 液晶盒 模块 监视器 像素 电脑 笔记本电脑（简称为NB） 指红绿蓝三基色 预防保养 品质 标准 (指作业标准或质量指针) 材料 良率 中文名称 液晶显示器 General 一般专有名词 CIM 计算机集成制造（指以计算机系(Computer Integration Manufacturing) 统整合制造流程） FA (Factory Automation) Exit Precaution Warning Emergency Alarm Clean room 工厂自动化 出口 注意 警告 紧急 警报 洁净室 HEPA (High Efficient Particulate Air) 高效能粒子空气过滤网 filter Contamination 污染 Clean Room 洁净室 Temperature (TEMP) Humidity Pressure UPW (Ultra-Pure Water) DIW (De-Ionized Water) IPA (Isopropyl Alcohol) 温度 湿度 压力 超纯水 去离子水 异丙醇 上海天马微电子有限公司企业标准
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Sticky mat Cleanliness ESD (Electro-static Discharge) Laminar flow Turbulent flow Alcohol Acetone Particle Dust Gowning room Raised floor (grating floor) Air shower Prohibit Clean suit (bunny suit, dust-free garment) Glove Hairnet Hood Mask Vehicle Robot AGV (Automatic Guided Vehicle) MGV (Manual Guided Vehicle) Clean lifter OHS (Overhead Handling System) Stocker (clean depot) 粘尘垫 洁净度 静电放电 层流（流体力学名词） 扰流（流体力学名词） 酒精 丙酮 微粒子 灰尘 换衣间 高架地板 风淋室 禁止 无尘服 手套 网帽 头罩 口罩 搬运车 机械手 自动搬运车 人工搬运车 净化电梯 天车搬送系统 工装篮存放架 电池 作业区 作业区和作业区之间 作业区之内 减震缓冲器 充电器 控制器 传送带 吊车（在Stocker内） 风扇过滤器 Q/S0001-2007 第20页共23页 Clean shoes (dust-free shoes, boots) 无尘鞋 LIM (Linear Induction Motor) Carrier 线性感应马达传送载具 Factory Automation Battery 工厂自动化 Bay Inter-bay Intra-bay Bumper Charger Controller Conveyor Crane FFU (Fan Filter Unit)