第三章 操作
日期
如下所示的日期屏幕可对日期参数，即月、日、年作设置。屏幕上第一行显示了当前日期。
日期屏幕的显示方法：
? 从主菜单中选仪器控制(Instrument Control)。 ? 从仪器控制菜单中选日期(Date)。
日期屏幕的用法：
? 按?和?键左、右移动下划线光标 ___ 到所需改变的月、日或年上。
? 按?和?键增加或减少下划线上的值。
? 按?和?键左、右移动下划线光标 ___ 到另一组所需改变的值上，并再次用?和?键增加或减少下划线上的值。 ? 按ENTER键确认更改。
? 按MENU键返回仪器控制菜单。 ? 按RUN键返回运行屏幕。
DATE 11/04/97 SET TO 11/04/97 ? ? INC/DEC ? ? CURSOR
日期屏幕
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第三章 操作
诊断
如下所示的诊断菜单上可显示程序号、电压、温度和选择开关的状态。
诊断菜单的显示方法：
? 从主菜单中选诊断(Diagnostics)。
诊断菜单的使用方法：
? 按?和?键上、下移动光标。 ? 按ENTER键确认选择。 ? 按MENU键返回主菜单。 ? 按RUN键返回运行屏幕。
DIAGNOSTICS： >PROGRAM NUMBERS VOLTAGES TEMPERATURES OPTION SWITCHES
诊断屏幕
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第三章 操作
程序号
程序号屏幕，如下图所示，显示仪器所装程序的版本号。
程序号屏幕的显示方法：
? 在主菜单中选诊断( Diagnostics )。
? 在诊断菜单中选程序号( Program Number )。
程序号屏幕的用法：
? 这只是一幅显示程序号的屏幕。 ? 按MENU键返回诊断菜单。 ? 按RUN键返回运行屏幕。
INSTRUMENT PROGRAM： 146 C000100P COMMUNICATIONS： 146 C000100L
程序号屏幕
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第三章 操作
电压
电压屏幕如下图所示，显示直流电源的电压。使用此屏幕可对电源板的输出电压低或电压波动等故障做快速检查，而无需用电压表进行测量。
电压屏的显示方法：
? 从主菜单中选诊断(Diagnostics)。 ? 在诊断菜单中选电压(Voltages)。
电压屏的用法：
? 这只是一幅显示电压值的屏幕。 ? 按MENU键返回诊断菜单。 ? 按RUN键返回运行屏。
+5 SUPPLY 4.9V +15 SUPPLY 14.9V -15 SUPPLY -14.5V BATTERY 3.0V
电压屏幕
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第三章 操作
温度
温度屏幕如下图所示，显示机内温度、O3灯温度和渗透炉温。
温度屏幕的显示方法：
? 从主菜单中选诊断( Diagnostics )。 ? 从诊断菜单中选温度( Temperatures )。
温度屏幕的用法：
? 这只是一幅信息显示屏幕。 ? 按MENU键返回诊断菜单。 ? 按RUN键返回运行屏幕。
TEMPERATURES： INTERNAL 28.1?C O3 LAMP 71.2?C PERM GAS 45.00?C
温度屏幕
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