第三章 操作
气体稀释运行屏幕
GAS B
ZERO AIR 1.03 slm GAS C ← GAS A 30.2 sccm OUTPUT PPM 0.410 SPAN 2? ← SPAN1 10:32 LOCAL SPAN 3? SPAN 4? SPAN 5? MAN ? ZERO ?
气体稀释运行屏幕
以上是气体稀释运行屏幕,第一行显示了零气流量。146C可选用三种外接标准气。第二行显示了当前是气体A、B、C中的哪一种及其流量。第三行显示了输出气体的浓度。第四行显示所选择的气体浓度。选定的浓度之后不带问号。(上例中,SPAN1即是所选定的浓度。)流量的设置如下:
? SPAN1—SPAN5是以前设置好的气体稀释浓度。气体A、B、C均可设
成五种不同的浓度。仪器可以根据所设定的标气浓度,按照一定的配气规则设定钢瓶气和稀释气流量。 ? MAN也是一组已设置好的气体参数。在这个状态下所有的流量参数可
手动设置。
? ZERO表示仪器只输出零气。仪器关闭了标气A、B、C的进气电磁阀,
零气流量也已设定。
使用气体稀释运行屏幕:
? 从流量方式菜单选择气体A、B或C。
? 按RUN键可循环选择标气、手动或零气设置。 ? 按ENTER键确定选择。
必须注意的是在运行屏幕上不能改变标气、手动或零气稀释比。这些变
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第三章 操作
化可在流量控制菜单的适当屏幕上设置。
气体稀释也可以和渗透炉相结合。为同时使用渗透炉和气体稀释系统,渗透炉必须运行气体A、B或C屏幕。当两种方式被共同使用时,会显示如下运行屏幕:
GAS B
ZERO AIR 1.03 slm GAS C ← GAS A 30.2 sccm OVEN SPAN 2? ← SPAN1 10:32 LOCAL SPAN 3? SPAN 4? SPAN 5? MAN ? ZERO ?
气体稀释/渗透炉运行屏幕
气体稀释/渗透炉运行屏幕和气体稀释运行屏幕的区别在于第三行。“OVEN”这个词表示渗透炉处于工作状态。渗透炉的输出取决于总流量、渗透率以及所安装的渗透管的渗透系数。这个屏幕的使用方法和气体稀释屏幕是一样的。
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第三章 操作
渗透炉运行屏幕
ZERO AIR 5.65 slm OUTPUT PPM 0.432
PERM 2? ← OVEN PERM 3? PERM 4? PERM 5? MAN ? ZERO ?
PERM1 10:32 LOCAL 渗透炉运行屏幕
单独使用渗透炉时显示如上运行屏幕。第一行显示了零气流量。第二行显示了仪器的输出浓度。第三行表示渗透炉正处于工作状态。第四行显示选择了哪个预设置的浓度。所选定的的浓度之后不带问号(如上图的PERM1即是所选定的浓度)。流量特征如下:
? PERM1-PERM5是以前设置好的气体稀释浓度。气体A、B、C均可设成
五种不同的浓度。仪器可以根据所设定的标气浓度,按照一定的配气规则设定稀释气流量。
? MAN也是一组已设置好的气体参数。在这个状态下所有的流量参数可
手动设置。
? ZERO表示仪器只输出零气。仪器关闭了标气A、B、C的进气电磁阀,
零气流量也已设定。
运用渗透炉运行屏幕时:
? 从流量方式菜单选择渗透炉。
? 按RUN键循环选择渗透炉输出浓度、手动和零气设置。 ? 按ENTER键确定选择。
? 必须注意的是自动设置或手动设置时渗透率的变化不能在运行屏幕
上设置,但可从流量控制菜单的适当屏幕上设置。
? 气体稀释可和渗透炉方式结合起来,前面的气体稀释运行屏幕描述
了这两种方式同时使用的情况。
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第三章 操作
传递标准运行屏幕
ZERO AIR 1.03 slm TRANSFER STANDARD
O3 LEVEL 84.0 →?
LEVEL 2 ←
LEVEL 3 LEVEL 4 LEVEL 5 ↑↓ ZERO
% LEVEL 1 10:32 LOCAL 传递标准运行屏幕
如上图所示,传递标准方式下,第一行显示的是零气流量。第二行表示校准器正处于传递标准方式下。第三行显示O3的输出幅度。注意此幅度与输出的ppb浓度没有直接联系。屏幕上的百分数之后的问号表示当前并不处于此幅度上。第四行显示了流量特征,如下:
? LEVEL1—LEVEL5是设定好的O3浓度,这些浓度在O3发生器控制屏
幕设定。
? ↑↓可以用来在传递标准屏幕中直接设定O3浓度
? ZERO表示仪器只输出零气。仪器关闭了标气A、B、C的进气电磁阀,
零气流量也已设定。
使用传递标准运行屏幕时:
? 从流量方式菜单上选择传递标准方式。
? 按RUN键循环选择输出幅度、↑↓ 和零气设置。 ? 按ENTER键确定选择。
? 如果是在↑↓设置下,按↑键和↑键增加或减少O3浓度。按ENTER
键确认其浓度。完成这些步骤后,百分数后的问号即消失。
? 必须注意的是从LEVEL1到LEVEL5的O3的百分比变化不能在运行屏
幕上设置。这些变化应在O3控制菜单的适当屏幕上设置。
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第三章 操作
气相滴定运行屏幕
ZERO AIR 1.03 slm
GPT GAS A 30.2 sccm ?? LEVEL 2 ? O3 LEVEL 75.2 LEVEL 3 LEVEL 4 LEVEL 5 ? ? ZERO
% 气相滴定运行屏幕
如上所示,GPT方式下屏幕的第一行显示了零气流量。第二行显示了仪器正处于GPT方式及哪种标气(A、B或C)正在被O3滴定。第二行同时显示了气体流量。第三行显示了输出的O3幅度。注意此幅度与输出浓度没有直接联系。以上屏幕上百分数之后的问号表示当前并不处于此幅度上。第四行显示了流量特征,如下:
? LEVEL1—LEVEL5是设定好的O3浓度,这些浓度在O3发生器控制屏
幕上设定。
? ↑↓用来在传递标准屏幕上直接设定O3浓度。
? ZERO表示仪器只有零气通过O3发生器,但O3灯是关闭的。零气的
流量是预先设置好的。。
使用气相滴定运行屏幕时:
? 从流量方式菜单上选择气相滴定方式。
? 按RUN键循环选择输出幅度、↑↓ 和零气设置。 ? 按ENTER键确定选择。
? 如果是在↑↓设置下,按↑键和↓键增加或减少O3浓度。按ENTER
键确认其浓度。此过程后,百分数后的问号会消失。
? 必须注意的是从LEVEL1到LEVEL5的O3的百分比变化不能在运行屏
幕上设定。这些变化应在O3控制菜单的适当屏幕上设定。
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