试样清洗 安 装 加载 （纳米划痕仪） 进行不同荷载、不同材料、 不同膜厚的多组实验 测试极限破坏力 数据处理 获得薄膜-基体结合强度
3．组织方式
以项目负责人为组织者和协调人，项目承担单位与项目合作单位经过充分协商和论证之后，将课题各个环节的任务分配给项目组成员，任务共担经费共享，加强项目研制过程中的交流与沟通。 4．课题分解
根据本项目的研究内容和技术路线，兼顾项目组织实施和管理的方便性，本项目总体设计、机械加工工艺、原材料采购、组织生产销售由项目承担单位负责实施。单片机软件、无线远程实时监控管理系统由项目合作单位负责实施。市场与用户调研与服务、实验测试、调试等由项目申报单位与合作单位共同完成。
六、计划进度安排
2009年7月至2010年3月 2010年4月至2011年5月 购买材料，准备样品，薄膜制备。研究各种因素对薄膜性能的影响。 市场调研，分析研究现状，研究同类薄膜国内外研究现状和发展趋势，决定产品技术方案及技术路线，总体设计。 2011年6月至2011年10月 2011年11月至2011年12月 薄膜性能测试，申报专利，撰写相关论文。 准备验收（鉴定）材料，组织验收（鉴定）。
七、现有工作基础和条件
1. 已取得的前期研究成果和研究基础
项目负责人长期从事薄膜的制备和计算机仿真研究，博士期间的研究课题为不同材料薄膜界面热力特征的研究，学术论文被IEEE Transactions on Advanced Packaging，Current Nanoscience, Journal of thermophysics and heat transfer等微器件类和微纳米技术类国际著名学术刊物录用。近年来在微纳米领域总共发表SCI收录论文16篇。2008年9月至2009年11月，项目负责人赴荷兰Delft工业大学微系统系担任研究员，与荷兰飞利浦公司，德国Infineon公司等合作对金属薄膜与聚合物的材料界面结合性能进行研究，在新材料薄膜及其与基体结合强度研究领域积累了有价值的经验。
项目合作单位是区高新企业，长期生产智能磁电流量计等系列高精度流量计产品，产品通过多项质量认证，取得计量产品生产许可证。项目承担单位完成的相关科研项目：（1）省级科研项目“LFH插入式电磁流量计”, 起止时间2004-2005年，经费合计10万元；（2）市级科研项目“LCH型智能磁电流量计”, 起止时间2003-2005年，经费合计10万元；（3）市级科研项目“LDH插入式电磁流量计”, 起止时间2004-2006年，经费合计10万元。 2. 现有的仪器设备和场所
项目负责人所在单位温州大学MEMS可靠性实验室和纳米材料研究中心具有下列主要设备：超洁净室和各种MEMS加工检测设备所构成的微加工平台：纳米压/划痕仪，非平衡磁控溅射系统，光刻机、键合炉、NanoSEM超高分辨率扫描
电子显微镜、Nanoscope Ⅲ SPM、EG&G273A恒电位仪、Q1000DSC低温热分析系统，Emitech K-1050X射频等离子刻蚀机、EmitekK975X高真空镀膜机、Easy Drop接触角测定仪、LabRAM激光拉曼光谱仪、BEDE高分辨率X-射线衍射仪、EA-1112元素分析仪，AVANCE-300核磁共振波谱仪，UV-2501PC紫外-可见分光光度计， SMART APEX CCD 单晶X-射线衍射仪以及DECAX-30000LCQ DECAXP PLUS液相色谱/质谱联用仪等。可以确保研究的顺利进行。以上情况表明，本项目研究的实验条件良好。
项目合作单位为区高新企业，拥有高精密度流体标准装置及仪表装配生产线和加工设备，是专业从事油田流量仪器仪表、自动化控制装备和钻采工具生产的企业。企业已严格按照ISO9001-2000标准建立起质量管理体系（认证编号：117 07 QU 0175-06 R0S）,取得中华人民共和国制造计量器具许可证。
八、经费预算
项目经费 （万元） 项目总经费 100 设备费 经费开支预 算 （万元） 20 租赁费 自筹部分 60 能源材料费 25 验收费 银行贷款部分 设计试验费 20 人员费 15 信息费 5 管理费 5 申请补助部分 40 会议调研费 5 其他费用 5 附：参考文献
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