CT扩散炉说明书 1．简介
高温扩散氧化系统的计算机控制系统为标准工业PC系统，主要由以下几个主要部分组成：工控机、显示器、触摸屏、多种高性能控制板卡。计算机控制系统的示意图如下：
计算机控制系统的监控程序的操作系统平台为WINDOWS 2000（中文版）。监控程序的执行文件名为Ksl.exe，监控程序所在目录的其他文件均为监控程序运行所需的相关文件，请勿随意删除。在监控程序所在的目录下还有如下三个子目录：EditData、ProductID、RunData。EditData目录下的文件为监控程序的工艺文件；ProductID和RunData目录下的文件分别为工艺自动运行的信息文件和历史数据记录文件，请定期删除不需要的信息文件和历史数据记录文件。
所有控制板卡均内置在工控机内部，所有与外部的连接端口均在工控机背面，应保持连接端口的正确连接，进行工控机和外部系统连接时请参考附录1。作为专用设备控制系统,要求计算机不能用于其他计算机应用工作。 2．监控程序的操作 2.1 程序启动
在扩散炉的层电源启动的情况下，启动工业控制计算机电源开关，计算机启动进入WINDOWS 2000操作系统，驱动触摸屏。在系统未完全启动完毕的情况下，请勿触摸屏幕，以避免触摸屏驱动程序报错。系统自动启动执行文件，自动装载所需数据文件及驱动文件，并显示登录界面。 2.2 登录
在登录界面中，有0-9及A-Z字符键允许作为密码字符，箭头为退格键，ENTER为回车键。本监控程序的初始密码为“AAAAA”。如果要修改密码，则先输入原来的密码，再在相应的输入框中输入新的密码，然后按“确定”按钮即可。输入请牢记修改后的密码，以避免无法进入程序进行工作。
● 本窗口为登录窗。
2.3 手动操作
正确输入密码登录成功后，进入手动操作屏。 2.3.1 温度设置
在手动操作屏的中上部有三个模拟温度控制器的图形。根据温度控制器图形上的“RKC”、“REX-F400”、“RKC”字符，可以知道分别对应本层扩散/氧化炉的三个控制温度的温控仪。温控仪的型号分别为“CD401”，“F400”。温度控制器图形中，三个绿色的“850”分别表示左、中、右三个温区的控温热偶的测量值。三个红色的“850”分别表示左、中、右三个温区的温度控制器的温度设定值。通过这三个温度控制器的复杂控制，能实现恒温区所要求的控制精度。在手动操作屏中，三点的SV值可以单独设置，主要为提供维护与测试所用。在下面将提到的自动运行屏中，SV值由自动程序自动设置，不能够手动修改。
温度设定值可在手动操作屏中进行手动修改。修改方法：点击温度控制器图形上的SET方形按钮，桔红色的“850”将变色，通过“+1”等按钮进行修改数值，最后再次点击SET方形按钮，本端点SV温度设定值将得到修改（要求在通讯正常情况下）。
本窗口为手动操作屏（实时温度曲线）。
2.3.2 手动状态实时温度曲线和流量曲线显示
在手动操作屏的中下部，有一个记录并描述温度的曲线图。提供记录的温度范围为0～1300℃，曲线走势从左往右，记录的时间轴能实现自动调整。从图上可以看到，记录从11点13分45秒开始（这即是启动进入程序的时间），到12点13分45秒，为1个小时时间长度。当记录到12点13分45秒的时候，程序自动将时间区域长度翻倍，如此类推。实时温度曲线在程序运行期间将一直记录，在两种情况下将自动停止：
a) 点击“恒温区”按钮，程序进入恒温区调整屏；
b) 进入工艺自动运行屏（此时将启动自动运行状态下的温度曲线记录）。
温度曲线是由计算机读回的扩散氧化炉的控制热偶的测量值进行绘制的，左端温度记录曲线显示为白色线条，中点温度记录曲线显示为洋红色线条，右端温度记录曲线显示为绿色线条。
本屏顶部有实时时间显示。建议隔一个月左右将所有的计算机时钟参照一个标准时钟作一次调整，因为计算机的实时时钟作为长时间计时是不太准确的。
本操作界面还有流量曲线显示，操作同温度曲线显示，通过手动操作屏的“温度曲线/流量曲线”进行温度曲线显示和流量曲线显示的转换。
2.3.3 气体流量、阀门及开关量控制
在手动操作屏右侧，有“气体流量控制”和“阀门及开关量控制”两个区域，在这两个区域可对电磁阀状态、气体流量大小以及其它一些开关量状态进行设置。设置键为右侧下面的“+1”等按钮。在设置各路气体的流量时，相应气路的电磁阀或气动阀将自动打开（后阀除外）。在“气体流量设置”区域的右侧有一个测量值区域，显示气路中的实际流量。流量的设定值和显示值的单位均为mL/Min。
在手动操作屏、自动运行屏和恒温区调整屏的转换中，气体流量、阀门及开关量的设置状态将得到保持。 2.3.4 推舟控制
“推舟控制”区域的右侧为推舟控制的测量值区域。在测量值区域，有舟前进、舟后退状态显示，当舟前进时，舟前进显示为“TRUE”；当舟后退时，舟后退显示为“TRUE”。在测量值区域，还有前限位、后限位状态显示，当舟到达前限位时，前限位状态显示位“TRUE”；当舟到达后限位时，后限位装态显示“TRUE”。
在手动操作屏中进行推舟控制只需设置舟速度并选择前进或后退即可实现推舟的自动运行。操作过程如下：
a) 点击设置值区域中的“舟速度”按钮，使其选中为有效，然后通过软键盘设置推舟速度。推舟速度设置范围
为0～500，单位为mm/Min。速度设置为零时表示舟为停止状态，数值越大速度越快，但高速状态不利于舟的运行平稳，建议将舟速设置在200到300之间。
b) 点击设置值区域中的“舟前进”或“舟后退”按钮，使其选中为有效，此时已红色突出显示。 c) 通过b)的速度设置，已经启动舟的运行。
d) 在舟的运行移动中，如果需要手动停止推舟的运行，可以通过点击设置区域的“舟停止”按钮，也可以将舟
速设置为零，推舟将立即停止运行。
e) 在推舟的运行期间,如果计算机判断到推舟的限位检测开关被压住，推舟将立即停止运行。
2.3.5 手动操作屏报警显示 单击手动操作屏的“报警窗口”按钮，将在屏幕中的温控仪图形显示区域显示系统的报警状态，如手动操作屏（实时流量记录曲线）图中显示。
手动操作屏（实时流量记录曲线）。
图中共有两项报警，一项是“控制热偶短路或温控仪温度显示异常报警”，另一项是“扩散小N2检测值与设定值偏差大于20%”。图中这里项前面的灯均为绿色表示未出现报警状态，如果出现相应的报警，则相应的项的灯变为红色。如果出现扩散小N2检测值与设定值偏差大于20%”的报警，则系统自动关闭扩散小N2，且系统自动将该报警显示出来。如果出现“控制热偶短路或温控仪温度显示异常报警”，系统也自动显示报警窗口，只需单击“报警窗口”按钮就可解除该报警状态。 2.4 工艺编辑
点击手动操作屏左侧的“数据编辑”按钮， 程序进入集成工艺编辑屏。据体操作如下：
打开工艺：从手动操作界面进入编辑界面后，若想打开其它已经编辑的工艺，只需在“打开工艺号”下拉框中选择所
需工艺号即可。打开其它工艺时，当前编辑的工艺不保存。
编辑工艺：编辑工艺数据时，先用鼠标点击想要编辑数据的位置，此时该位置的按钮被按下，然后用鼠标点击程序自
带软键盘上相应的按钮，即可编辑数据。本程序的工艺最多为30步，每次显示15步，可以按“下一页”和“上一页”按钮进行工艺的前15步和后15步的切换。编辑时最好从第一步开始，首先编辑每步的工艺时间，只有工艺步的时间不为零，才可编辑该步的其它工艺数据。如果工艺步的时间为零，则该步及以下步均不执行。设置推舟状态时，0表示停止，1表示前进，2表示后退。
工艺编辑屏
工艺保存：编辑完工艺以后，用户应仔细检查各步工艺的合理性；然后在“编辑工艺号”下拉框中选择希望保存的工
艺号，最后点击“存盘退出”按钮，则该条工艺编辑完毕。如果不想保存，则点击“不存盘退出”按钮，程序回到手动操作界面。在编辑工艺的过程中也可点击“存盘”按钮来保存工艺。
在工艺编辑中，可实现对恒温及升降温斜率的设置。具体设置方法如下介绍。一般建议如下例设置工艺升温过程：第一步为初始设置步，温度设置40度，时间为1分钟。即设备在常温停留1分钟。第二步升温，温度设置1000度，时间设置160分钟，升温斜率6度/分钟。以下各步的工艺参数根据需要进行设置。
另外，该界面还设有“插入步”和“删除步”按钮，方便工艺编辑。点击“插入步”按钮后界面将出现一个“插入步号”的下拉框以及“确定”、“取消”按钮，选择好要插入的步号后点击“确定”按钮即实现了插入操作，可连续插入，点击“取消”则回到正常编辑状态。点击“删除步”按钮后界面将出现一个“删除步号”的下拉框以及“确定”、“取消”按钮，选择好要删除的步号后点击“确定”按钮即实现了删除操作，可连续删除，点击“取消”则回到正常编辑状态。 2.5 工艺曲线历史记录
点击手动操作屏的“历史记录”按钮，进入打开历史记录屏：