FG-001超精密机床
OAGM 2500大型超精密机床
AHNIO型高效专用车削、磨削超精密机床
二、超精密机床的主轴部件
主轴部件是保证超精密机床加工精度的核心。超精密加工对主轴的要求是极高的回转精度，转动平稳，无振动。
液体静压轴承主轴
空气静压轴承主轴
⑴ 双半球空气轴承主轴
⑵ 径向—推力空气静压轴承主轴
⑶ 球形—径向空气轴承主轴
⑷ 立式空气轴承主轴
主轴的驱动方式
⑴ 柔性联轴器驱动 ⑵ 内装式同轴电动机驱动
超精密机床主轴和轴承的材料
应考虑以下主要因素：① 耐磨损；② 不易生锈腐蚀；③ 热膨胀系数小；④ 材料的稳定性好。
制造空气主轴和轴承的材料主要有：
① 经表面氮化和低温稳定处理的38CrMoAl氮化钢；
② 不锈钢；
③ 多孔石墨和轴承钢。
另外还有铟钢、花岗岩、微晶玻璃和陶瓷等。
三、精密导轨部件
超精密机床的总体布局
T形布局
十字形布局
R-θ 布局
立式结构布局
常用的导轨部件 ⑴ 液体静压导轨