单端式传感器的灵敏度:
?L/L03.4?10?31?1?1K0???200.47m或K??200m(忽略高此项)0?3??0.1?10?0差动结构传感器的灵敏度:
?L/L06.8?10?32?1?1K0???400.94m或K??400m(忽略高此项)0?3??0.1?10?0因此差动结构比单端结构传感器灵敏度提高一倍
新7-4 用石英晶体加速度计及电荷放大器测量机器的振动,已知加速度计的灵敏度为5pC/g,电荷放大器的灵敏度为50mV/pC,当机器达到最大加速度值时相应的输出电压为2V,试求该机器的振动加速度(用重力加速度的相对值表示)。
解:系统灵敏度等于加速度计灵敏度和电荷放大器灵敏度乘积 Sn?5pCg?50mVpC?250mVg
由输出电压幅值与被测加速度关系式Sn?V0a得2?103mva?V0Sn??8g 250mvg
新7-5 石英晶体压电式传感器的面积为1cm2 厚度为1mm,固定在两金属板之间,用来测量通过晶体两面力的变化。材料弹性模量为9×1010Pa,电荷灵敏度为2pC/N,相对介电常数为5.1,材料相对两面间的电阻为1014Ω。压电传感器后接放大电路,放大电路的输入电容为20pF,输入电阻为100MΩ(与极板并联)。若所加力F=0.01sin(103t)N,求: (1)两极板间的电压峰峰值;(2)晶体厚度的最大变化(应力=应变弹性模量,σ=εE)。 7?5(a)由题意知S?1cm2d?1mmqr?5.1?0?8.85?10?12Fm??s ?传感器电容量Ca?r0?4.5135?10?12Fd 又?所加外力幅值Fm?0.01NSq?2pC/Nqm?Sq?Fm?0.02pC ?无负载时电荷量幅值
输出电压幅值Vm?qmCa?4.43mv输出电压峰峰值Vp?p?2Vm?8.86mvw?H(w?)2Ri?100?Ra?104?Ci?20pF当接入负载时,实际输出电压与理想输出电压之比的相对幅频特性为A(?)?由题意w?1?103rad/s???RC?2.45135?10?3?A(w)?0.926?有负载时,两板间电压峰峰值为:Vp'?p?A(w)?Vp?p?0.926?8.86?8.20mv
7?5(b)当所受外力为最大压力时,厚度减小量最大; 当所受外力为最大拉力时厚度量增加量最大。由题意d?1mms?1cm2??d?2Fm?dE?S?2.22?10?12mE?9?1010Pa新8-4 已知某霍尔元件的尺寸为,长L=10mm,宽b=3.5mm,厚d=1mm。沿长度L方向通以电流I=1.0A,在垂直与
b?d两个方向上加均匀磁场B=0.3T,输出霍尔电势UH?6.55mV。求该霍尔元件的灵敏度系数KH和载流子浓度n。
8?4已知某霍尔元件的尺寸为长L?10mm,宽b?3.5mm,厚d?1mm。沿长度L方向通以电流I?1.0A,在垂直与b?d两个方向上加均匀磁场B?0.3T,输出霍尔电势UH?6.55mV。求该霍尔元件的灵敏度H 系数K和载流子浓度n。?KHIB可得 解:(1)由UH?3U6.55?10
灵敏度系数KH?H??21.83V/AT?3 IB1.0?10?0.3(2)已知电子电荷量为e??1.6?10?19CIB由UH??可得nedIB1.0?10?3?0.3载流子浓度n????edUH?1.6?10?19?10?3?6.55?10?3?2.86?1020C/m3