超纯纯水系统培训资料(2)

2019-01-19 18:27

三.RO主机操作程序说明: ? 正常供水: 1. 阀门:

A. 常开阀均保持OPEN状态。

B. SV5-1、SV5-2调整至所需水量及第一段压力。

即若压力调至13kg,纯水量及排放量即到达标准,则此阀

即不在调整。

C. OPEN :SV7、SV9、SV11、SV14 CLOSE:SV8、SV13、SV16

各单项操作开关切置于AUTO 、或ON位置。

压力设定15-18.5Kg(依水温、纯水流量、纯水纯度设定)。 2. 操作开关:

软水加压泵浦(A组、B组) 切置于自动 热交换器电动阀 切置于自动 PH调整加药机 切置于自动 RO主机高压泵浦(A组、B组) 切置于自动 RO主机冲洗系统 切置于自动 纯水三通阀 切置于自动 RO-CIP 泵浦 切置于停止 3. 将控制电源NFB?ON。

A.压力设定:15-18.5Kg。 B.PASS-1/RO系统:

产水能力:17.6T/HR(293.3LPM)。(以温度25℃计算) 排放流量:9.4T/HR(156.6LPM)。 C.PASS-2/RO系统:

产水能力:15T/HR(250LPM)。(以温度25℃计算) 排放流量:2.6T/HR(43.3LPM)。

D.若流放量过大,可由RO泵浦出口限流阀,控制RO泵浦

整体出水量,再调整调压阀使各流量于设计值。

? 药洗膜体:

1. 控制电源NFB切置于OFF。 2. 阀门 :

OPEN :SV6、SV7、SV9

CLOSE:SV8、SV10、SV11

3. 将 40 Kg药剂(食品级柠檬酸)投入加 800 Kg水稀释溶解在PE药桶。 (约15-20天药洗一次) 4. 操作开关:

软水加压泵浦(A组、B组) 切置于停止 热交换器电动阀 切置于停止 PH调整加药机 切置于停止 RO主机高压泵浦(A组、B组) 切置于停止 RO主机冲洗系统 切置于手动 纯水三通阀 切置于停止 RO-CIP 泵浦 切置于启动 5. 将控制电源NFB切置于ON。

6. 目视冲洗电磁阀是否有药液入药桶,此行程循环20分钟,药洗行程完成。 ? 水洗膜体:

1. 控制电源NFB切置于OFF。 2. 阀门 :

OPEN :SV8、SV10

CLOSE:SV6、SV7、SV9、SV11 3. 操作开关:

软水加压泵浦(A组、B组) 切置于自动 热交换器电动阀 切置于自动 PH调整加药机 切置于停止 RO主机高压泵浦(A组、B组) 切置于手动 RO主机冲洗系统 切置于手动 纯水三通阀 切置于停止 RO-CIP 泵浦 切置于停止

4. 控制电源NFB切置于ON。

5. 此时以清水冲洗膜内残留药液(此行程约15分钟),则水洗膜体行程完毕。

第三部分 EDI系统

一.EDI如何运作:

EDI使用树脂及电流去除水中的离子,多重的离子交换材料组合在长方形的膜组。其膜组内区分为产水区、浓缩水区及电极水区,各区域由具有选择性之离子交换膜隔离。如同传统的离子交换方式,去离子的运作是在含有树脂之产水区夹层内完成的,而水无法通过离子交换膜只有离子可以通过离子交换膜。 有树脂的夹层我们称为 --- 产水区。 没有树脂的夹层我们称为 --- 浓缩水区。 电极板两侧之夹层我们称为 --- 电极水区。

ANODE Ultrapure Concentrae Product Recycle Anion Membrane Cation Membrane Ultrapure Product Concentrae Anion Membrane CATHODE Clˉ Na+ Na+ Clˉ OHˉ H+ Na+ Clˉ OHˉ Cation Resin Anion Resin Na+ Clˉ Na+ Clˉ Electrolyte Compartment (E Chamber) Feed Diluting Compartment (D Chamber) Concentrating Compartment (C Chamber) Feed Diluting Compartment (D Chamber) Concentrating Compartment (C Chamber) Electrolyte Compartment (E Chamber) MULTIPLE CELLS

EDI及混床主要不同是在于再生方式。 EDI再生是使用直流电流通过树脂区,因为每一颗树脂是跟邻近的树脂相接的,因此离子可朝电极方向由一颗树脂往下一颗树脂移动。直流电压将带动阳离子朝阴极电极板移动而阴离子朝阳极电极板移动。当离子达到选择性之离子交换膜时将通过离子交换膜而进入浓缩水区,但无法继续通往电极因为离子被带同样电荷离子交换膜挡住而无法通过。 二.EDI运转: ? 开机程序警告:

EDI系统运转时电流及电压值非常高,为了您的安全,操作时务

必特别小心。 ? 开机之前检查项目: 1. 常开阀:OPEN。 常闭阀:CLOSE。 调整阀:OPEN。

CIP阀门:OPEN-V14、V17、V19。 CLOSE-V13、V15、V16、V18。 另外:V2-1、V2-2开1/4。

2. 马达运转方向测试,确认马达运转方向正确。 3. 整流器关闭。 ? 步骤:

1. EDI系统切置于OFF。

2. EDI进水泵浦切换开关切置于手动。

3. 保持低进水压(低于40psi)确保水源慢慢充满各管路。 4. 当产水流量计无气泡时,手动运转浓缩水循环马达(A组或B组),进水压力PGI(40-60psi)。 5. 使浓缩水(进水、排水)流量计皆无气泡。

6. 将EDI进水泵浦出水阀(V2-1、V2-2)全开及调整产水流量调整阀(V14)使产水流量约2840L/H)。

7. 慢慢调整浓缩水进水阀(V25),使缩水进水压(PG2)低于EDI进水压(PG1)10psi。

8. 假如浓缩水进水阀已经全开,而且压差还是大于10 psi则调整EDI进水阀(V25)以便降低原水进水压,当然EDI产水流量调整阀(V14)也要跟着修正至正确流量。

9. 慢慢开启浓缩水旁通(V27)阀直到浓缩水排放压(PG4)低于EDI产水排放压(PG3)10 psi。

10.调整浓缩水排放阀(V26)使流量约1020L/H。 11.调整电极水排放阀(V28)流量约285L/H。

第四部分 超纯水系统

一.系统使用核子级精致塔交换树脂作为处理方式,确保制程用水水

质达12MΩ/CM以上,当树脂饱和后,切换至BY PASS阀继续供水,原使用之树脂塔则需更换树脂。

二.超纯水加压泵浦(A、B)操作开关: 1.自动时:

A.受DI水储槽LL位停机。液位须上升至L位时始恢复运作。 B.A、B泵浦交替(由24H TIMER控制)。

泵浦遇过载或切换开关切至于”OFF”时,自动转由另一台

未过载之泵浦运作。

2.手动时:

A.泵浦过载时停机。

B.A、B泵浦(一次只能一台运转)。 3.停止时:停止该泵浦。 三.TOC UV(A、B)操作开关: 1.自动时:开始运转。 2.停止时:停止运转。 四.254NM UV(A、B)操作开关: 1.自动时:开始运转。 2.停止时:停止运转。

五.超纯水储槽低位时,超纯水低位灯亮、警示灯运作,超纯水循环

泵浦停止运转,液位恢复,超纯水低位灯熄灭,泵浦恢复运作。 六.TOC UV紫外线杀菌器作用为降低水中之TOC<150ppb,其运转时

数超过8000hr时更换。

七.于树脂(Polisher)后有装置0.1μ*30”(绝对)滤蕊一组,作用为

阻隔水中之颗粒,其更换时为△P>0.7KG时更换。

八.水质显示分别装置于Polisher之后水质纯度,以利知道更换饱和

之树脂时间。

九.254NM UV紫外线杀菌器作用为降低<50 cfu/ml之落菌数,其运

转时数超过8000hr时更换。


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