二.超纯水加压泵浦(A、B)操作开关： 1.自动时：
A.受DI水储槽LL位停机。液位须上升至L位时始恢复运作。 B.A、B泵浦交替(由24H TIMER控制)。
泵浦遇过载或切换开关切至于”OFF”时，自动转由另一台
未过载之泵浦运作。
2.手动时：
A.泵浦过载时停机。
B.A、B泵浦(一次只能一台运转)。 3.停止时：停止该泵浦。 三.TOC UV(A、B)操作开关： 1.自动时：开始运转。 2.停止时：停止运转。 四.254NM UV(A、B)操作开关： 1.自动时：开始运转。 2.停止时：停止运转。
五.超纯水储槽低位时，超纯水低位灯亮、警示灯运作，超纯水循环
泵浦停止运转，液位恢复，超纯水低位灯熄灭，泵浦恢复运作。 六.TOC UV紫外线杀菌器作用为降低水中之TOC＜150ppb，其运转时
数超过8000hr时更换。
七.于树脂(Polisher)后有装置0.1μ*30”(绝对)滤蕊一组，作用为
阻隔水中之颗粒，其更换时为△P＞0.7KG时更换。
八.水质显示分别装置于Polisher之后水质纯度，以利知道更换饱和
之树脂时间。
九.254NM UV紫外线杀菌器作用为降低＜50 cfu/ml之落菌数，其运
转时数超过8000hr时更换。