TSMC工艺的_版图教程(5)

2019-03-16 16:00

——————其他快捷键—————————— E 看symol里面的电路 Ctrl+E 退出看内部电路

F 让原理图居中 P PIN管脚快捷键 W 连线

L 命名连线 C 复制

Q 器件属性 M 移动 U 撤销

其他相关设置:

设置回退次数 CIW窗口--options--user preference

多个器件属性一起修改,用shift选中以后然后选all selected(原先是only current)

二、版图设计

打开dualinv的schematic电路图,然后Tools--Design Synthesis--Layout XL

之后弹出以下对话框

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点击OK后弹出

点击OK就会自动弹出画layout的版面

此时键盘上按E键,出现设置窗口

这里修改分辨率,将X Snap Spacing 和Y Snap Spacing 修改为0.005,方便之后的画图。点击OK

在画layout版面的菜单中选择 Design--Gen From source

然后弹出以下窗

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点击OK即可,版面上就生成与原

schematic电路图相对于尺寸的MOS管,如下图

[注:可以不gen from source而直接在画版图的版面按快捷键I添加layout器件,再修改尺寸,这样也可以通过LVS(经过测试即使版图中MOS的编号和schematic中的不同,但是最终输出子电路中MOS管编号跟schematic是相同的)]

选择那四个绿色的方框和紫色的线,按delete

删除,删除后就剩下四个MOS管。

按shift+F 将MOS管转换为可视的layout结构,并用M快捷键来移动MOS管,此时整个版面上就剩下四个MOS管了,(Ctrl+F可以还原为Schematic结构)如下图

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工具栏左边的放大镜可以放大和缩小,或者使用快捷键Z(放大),shift+z缩小 (按了Z键要选某一个区域才能放大,不是直接放大与缩小)

接下来开始画图:

1、 画PMOS管和NMOS管相连的栅极(用LSW窗口中得POLY1

来画)

选中POLY1 drw 然后点版图,然后按R(画方框),Q属性可以看到是dg

(在空白处)按S键,鼠标移到矩形框的边,就能修改矩形框。

修改之后让矩形框与PMOS管 NMOS管的栅极对齐。(一定要对齐,不然DRC报错)

放大可以看到他们是否对齐,

这样的是对齐的。

画好POLY1以后如下图

这样就是没对齐。

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2、画金属走线

由于该电路简单,只需要一层金属即可,所以只需要LSW中的metal1

在LSW中选中METAL1 drw,然后点版图,然后按P(走线),然后按F3(设置线宽为0.5) ,Q属性可以看到是dg

画完后如下图(注意金属要整个覆盖住MOS管的D端,接触面积大才能保证电流)

3、画POLY1和metal1之间的连接

[不同材料之间相连要打孔。比如Metal1和poly1相连,就选M1_POLY1,Metal1和Metal2相连就选M2_M1,NMOS的衬底接触和体相连用M1_SUB,PMOS管的衬底接触和体相连用M1_NWELL]

LSW中选中poly1-drw,按P,按F3,设置为0.5宽度,画一段poly

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