5. 管路施工，水平垂直误差应小于5%，如有不符，即需重新施作。
6. 附表则为管路支撑及标示间距表。 SIZE NO 1 <1/2＂ 2 15A-50A 3 >50A
三、材料类
1、ＦＩＴＴＩＮＧ类施工损耗要≤2﹪。
2、要按规定使用，不能乱用现场有疑问要与监工联系。 3、组要用各组自己领的料，不得乱用别组的料。 4、组要用各组自己领的料，不得乱用别组的料。 5、场所用ＳＵＰＰＯＲＴ现只有两种规格３００ＭＭ 和６００ＭＭ。
四、配管及焊接
1．现场焊接的焊工要经过认证，有焊工证的才可进行
焊接动作。
2.弯管要用５倍或１０倍弯管器，如现场有特殊情况.
（不要随意施工）。
3.盘面要按图架,管路到３Ｆ上洞要按图上的上洞点上
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DISTANCE 2M 3M 4M 洞（不要随意施工）。 4.切管时不可进刀过快。
5.切管，倒角，修端面应让被修端向下。
6.弯管的质量必须平顺，无划伤，压扁，严重变形等 情况。
7.禁止在焊道处作弯管动作。
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现场测试部分
测试流程
气体管路的QC指的是要确保管路的外观及管内的各项测试都合乎客户要求的标准并确保我们的产品的质量达到一定的水平。
一、 测试前的确认与检查： 1. 图面确认
当管路施工完成时，QA、QC人员要确认图面是否有依照工程图施工，以及施工气体管路种类和数量是否正确，及take off使用是否正确。若不正确，应立即要求下包厂商修改。 2. 外观的确认
阀件使用是否正确，管子尺寸是否正确，管路路径是否整齐美观，Gas名称标示是否有贴错气体名称，及是否依规定贴置，如有问体,立即要求下包商马上修改。 3. 焊道确认
QA/QC人员检查焊道之凹凸，或是否过于宽窄时，其判断的标准为,焊道的凹凸以1/4〞管子为例，在管壁厚度10％以内，3/8〞以上至3/4〞之管子是15％，15A以上管子为20％
QA/QC人员发现焊道质量有问题时，应立即要求下包商修改，待质量确认没问题,才可做测试。
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二、 测试流程
(一) 保压测试
侦测管路是否有漏气现象，值得注意的是氦测漏采用真空测试法，管路所承受的压力只有负大气压且时间短，衔接点或焊道有瑕疵极可能通过测漏，但在高压长时间考验下自然不可能维持原状而不被冲破，所以气密试验是绝 相当可靠的。
记录器之压力范围（如0~10Kg/cm2，或0~15Kg/cm2）应与记录纸之压力范围完全相符。
Helium Leak
测试时，务必遵行以 HLD为中心「由近而远，由上而下」的原则进行测漏，且VCR接头必须用一手手指压住测漏孔，喷枪则 贴紧另一测漏孔进行喷He之动作。若为焊道或Swagelok接头则应以手紧握住测试处与喷枪， 若可能最好使用无尘手套或PVC袋包裹住待测处与喷枪，以免He飘散而达不到测漏之效果与反应真实漏率。泄漏率的定义为在一已知分压下(pressure differential, mbar/atm)气体的流量
-9-9
1*10atm.cc/sec=1*10mbar l/sec 10-6 1cc/2 weeks 10-9 1cc/30 years 10-11 1cc/3000 years
氦气泄漏率1*10-9 mbar l.cc/sec大约等于 3*10-10 mbar l /sec 空气的泄漏率。
在做He Leak Test时务必每一个焊道均做喷氦气测试，并予以记录。
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(二) H2O含量测试：1)使用超纯度氮气作为purge gas。
2) H2O测试分析前，PN2管可
先加热器或加热带加热，以事先除去管壁吸附之水份。 (三) O2含量测试：
须使用超纯度氮气作为purge气体。
(四) Particle测试：
Particle Test方法在于气体管路使用N2吹净后,以管路的末端做为取样点，再和仪器取样气体入口端衔接，开始作测试，当N2气体流经仪器内部检测Particle 的雷射光轮感应器，并经电子式算出的量，每10分钟为一个Cycle （周期）即10分钟正好流过1立方尺的气体，仪器会自动打印出粒径的Particle ，每种共有几颗？除业主有特别规定外，一般测试流程为3个Cycle ，3 Cycle完成后，会再打印出一张总平均数之值。
TSMC测试标准与参照表格 GAS Bulk Gases Special Gas
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项目 Pressure test Helium leak test Particle test Pressure test Helium leak test Particle test O2 test H2O test 标准 8kg/cm2、4 H ，压降≦2% 1*10 9 mbar l/sec 0.1um 1 pcs/scft 8kg/cm2、4 H ，压降≦2% 1*10 9 mbar l/sec 0.1um 1 pcs/scft < 10 ppb < 10 ppb 气体种类 UCA.UN2.CDA.GN2. PN2 GN2.PN2 GN2.PN2 所有Special Gas 所有Special Gas 所有Special Gas 腐蚀/易燃/爆，毒性气体 腐蚀/易燃/爆，毒性气体