■Q □E □S 文件名称 修订日期 2012-12-20 2014-09-17 文件编号：EM-EOP-109 校订版别：B PECVD工段捷佳伟创设备操作规范 页次/总页次： 1 / 13 版本 A B 新版制定 修订 5.4.2；5.4.3 修订说明 修订部门 设备部 编 制 审 核 批 准
GM-012B ■Q □E □S 文件名称 1. 目的 文件编号：EM-EOP-109 校订版别：B PECVD工段捷佳伟创设备操作规范 页次/总页次： 2 / 13 制定捷佳伟创管式PECVD设备规范，以提供捷佳伟创管式PECVD设备装机及使用操作，保养的规范依据。 2. 范围 电池生产车间的设备工程师/设备助理工程师/设备技术员于设备装机及平时操作机台时使用。 3. 定义 无 4. 职责 设备负责本规范的制定及修改，设备人员依据本规范进行相应的设备调整、操作及保养工作。 5. 作业内容 5.1 设备规格 5.1.1 主体部分 5.1.1.1 材质：不锈钢支架、特种钢底座、有机玻璃安全防护门及防漏电油漆金属保护盖板 5.1.1.2 设备所需电力 电力需求 机台 电压 item1 380V 赫兹 50HZ 相 3F/PE 额定电流 60A 设备功率 135KVA 5.1.1.3 设备所需气体要求 设备所需气体 气体名称 CDA N2 NH3 SIH4 压力(bar) 6 3 2.5-3 2-2.5 5.1.1.4 设备所需抽风要求
管径（mm） 6 8 4 4 GM-012B ■Q □E □S 文件名称 文件编号：EM-EOP-109 校订版别：B PECVD工段捷佳伟创设备操作规范 页次/总页次： 3 / 13 抽风需求 printer Pump 抽力 250mc/h 400mc/h 管径 100mm 60mm 5.1.1.5 设备尺寸 设备尺寸（长*宽*高）mm 上料箱 捷佳伟创 （毒气外排柜） 炉管箱 气柜箱 Adixen pump 5.1.1.6设备所需冷却水要求 设备所需冷却水 进水压力 进出水压差 温度 5.1.2 设备示意图
24000*15750*32700 3400*15150*30400 20000*14400*33000 13000*14300*31000 9000*4000*8000 Pump（真空泵） 大于0.5M Pa 大于0.35M Pa 18～23℃ GM-012B ■Q □E □S 文件名称 文件编号：EM-EOP-109 校订版别：B PECVD工段捷佳伟创设备操作规范 页次/总页次： 4 / 13 5.1.2.1 控制及操作元件 5.1.2.2 装料台 5.1.2.3 带TGA毒性气体抽排装置的抽排系统 5.1.2.4 最多五层的水平式炉体 5.1.2.5 气柜 5.1.2.6 射频电源 5.1.2.7 真空泵 5.2 设备组成及功能 5.2.1装料台：用来将硅片装到工艺舟中去，工艺舟移入水平式炉体中进行工艺加工，工艺过程结束后硅片被卸下。 5.2.2带软着陆系统的装卸机：当管门打开后，装卸机将桨移入水平式炉体的工艺炉管中。 给工艺舟放上硅片，随后装卸机退回。管门气动关闭。选取的工艺程序启动并开始加工。加工完毕后，管门打开，桨移入工艺炉管中取出带加工好的硅片的工艺舟。 5.2.3推车：在工艺中用一部推车来手动将工艺舟移入设备中进行加工，以及在加工 结束后将工艺推车及工艺舟移出设备，推车锁定在设备中用作加工后冷却工艺舟的存放处。 5.2.4工控机：控制实现装卸舟功能等 5.2.5工艺舟：用来在热化学工艺过程中作为硅片的机械承载器，工艺舟用石墨制作。 5.2.6水平式炉体：包括热电偶、加热电偶、炉体 5.2.7加热柜：划分为不同的加热区，各加热区的温度可通过控制器分别设定。每个加热区均配备1个外部热电偶，与温度测量器连接，外部热电偶安装在一个陶瓷管中。该陶瓷管通过一个陶瓷管罩插入到加热箱中。成型热电偶(选项)位于
GM-012B ■Q □E □S 文件名称 文件编号：EM-EOP-109 校订版别：B PECVD工段捷佳伟创设备操作规范 页次/总页次： 5 / 13 工艺炉管中，用一个石英管罩保护。它们用来测量工艺炉管内每个加热区的内部温度。成型热电偶安装在一个陶瓷管中。在每个加热区，陶瓷管带有一个钻孔，成型热电偶通过它来测量温度。加热箱的运行可采用内部和/或外部温度控制。 5.2.8工艺炉管：水平式炉体的每一层均有一个带一个工艺炉管的加热箱，热化学加工在此工艺炉发生，工艺炉管用石英制作。 5.2.9炉管密封门：炉管密封门用来关闭毒性气体抽排装置(TGA)中的工艺炉管。系统中采用真空炉管密封门。工艺炉管的背面是根据具体工艺对炉管的要求而制作的。在 PECVD工艺中，工艺炉管被一个后法兰关闭。 5.2.10功率电子器件：安装在水平式炉体第一层的下面。一个空气冷却循环用来消散变压器产生的废热，一个用作层热交换器的空气-水热交换器安装在水平式炉体的顶层上。以减小加热箱的热量，避免加热箱的温度过高。冷却器安装在最上面的层的上方。主风扇安装在冷却器的背面，以便将加热箱上方的热空气向上拉。 5.2.11气柜：用户公司内部的供应系统获得气体，并将气体分配给扩散系统中的各个层面 5.2.12毒性气体抽排装置（TGA）：用来吸取装卸过程中或出现故障时排放出来的气体。炉管密封门区域的气体抽排系统由分开通风的不锈钢室组成。可用一个滑动控制器来为每个腔室设定排放量。 5.2.13射频电源 5.2.13.1射频电源开关 5.2.13.2主电源接线盒
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