用。在西安用C/C复合材料制作的12＂坩埚(Φ306mm)及加热器,装在加有横向磁场的TDR-62上，使用情况很好。
2.国外的发展现状
1993年东芝陶瓷申请的美国专利介绍用二维C纤维织物绕制作成Si单晶生长炉坩埚坯体，浸渍树脂后碳化制成坩埚。随后，在1997年美国Walsh等用三维C/C复合材料制造了Si单晶生长炉用坩埚埚帮、埚托、发热体、隔热屏及支撑块等；Metter等人制备的高纯C/C复合材料，制造的硅单晶生长炉的热场零部件，通过一系列的高温处理，金属杂质含量控制到很低的程度。1999年，Kawashima等采用C/C复合材料在硅单晶生长炉的底部设置一个容积等于坩埚的容积的环槽，在硅单晶生长炉出现意外漏硅时，可以防止其他热场零件受到损伤。
东洋炭素、SGL Carbon Composites，Inc. 等国外厂商在其产品介绍中,也提到C/C复合材料制造单硅晶生长炉的坩埚、发热体等产品。其中提到的个别产品已经投入使用，大多数则仍处于研究阶段。
二、产品目标市场分析 1、目标市场确定
超高纯及晶体结构完整的硅晶圆是半导体工业中制作芯片的基础材料。集成电路的出现及发展，使人类步入了微电子时代。随着微电子元件尺寸小型化、管芯面积大型化与LSI集成度的日益提高，硅单晶生长技术装备面临新的挑战。
为改变我国集成电路用关键基础材料技术水平低、品种不配套、产业化规模小、关键基础材料依赖进口的局面，国家科技部设立了微电子配套材料专项，选择12英寸硅单晶抛光制备技术研究作为首次研究任务，并要求12英寸硅单晶抛光片形成小批量生产能力，达到0.13~0.10μm集成电路技术要求。实施该项目第一个要解决的是12英寸硅单晶生长技术与装备的问题，大尺寸的热场系统的关键元件的设计制造技术，也迫切需要解决。
2、.项目的市场优势
由于国外公司在控制了该类产品的市场，产品价格较高。所以，与国外对手相比较，本项目的产品有较大的价格优势。
3、总体营销思路
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根据产品的目标市场定位、产品定位及竞争力的研究结论，在市场营销战略上，应注意两个方面：
一是建立完善的销售及售后服务网络，由销售工程师针对客户的使用和信息进行调研，以满足向高附加值产品发展的要求。
二是在产品质量无较大差距的情况下，价格就成为高度敏感的因素，为提高产品竞争力，要发挥低成本策略的作用，充分利用自身优势，发展稳定而灵活的销售机制。本项目的产品价格的制定，原则上以国外同等质量的相同产品的价格为基础，较之低5~20%。
第三章 建设规模与产品方案 一、 建设规模
确定项目建设规模遵循的基本原则： ●合理经济规模； ●市场容量；
●企业本身的资金、资源、原材料以及外部协作条件等
通过对项目规模建设影响的因素进行了综合考虑，确定了项目的建设规模。 本项目建设占地30亩。项目用地位于XXXXX镇XXXXX工业集中区。该地域建设条件较好，基础设施完善。
项目建设分列如下：
序号 1 2 3 4 项目名称 车间 仓库 办公楼 其他辅助设施 结构 钢结构 钢结构 砖混结构 砖混结构 面积（平方米） 10000 6000 900 300 二、产品方案 1、产品方案构成
项目建成以后，以生产、加工热场系统的保温隔热材料及坩埚为主，生产部分的大型发热体。针对这些产品的高纯度要求，对进入生产线的原材料的纯度、生产线的洁净度，进行严格控制，保证产品的纯度和质量；材料的生产制
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造工艺、产品的机械加工、产品的转运、包装等过程要进行严格控制，在材料及产品的成型过程中，合理安排提纯工艺处理，保证产品的高质量，提高产品的纯度。
2、产品方案的目标
项目建成以后，主要是以硅单晶生长炉的坩埚、保温筒和固化保温毡为主要产品，重点针对国内当前面大量广的16in热场系统。等到该产品市场较为巩固以后，再开发其他系统的热场零件。
热诚与科研院所、企业合作，研究硅单晶生长炉对热场零部件的使用要求，研究C/C复合材料制造的热场零件的特性，掌握C/C复合材料在单晶生长炉上的特殊性和规律性，满足硅单晶生长炉具的其他性能要求。
自主开发，突破关键技术，实现C/C复合材料制造硅单晶生长炉热场零部件的国产化。及早研制出完全能满足IC级单晶Si生长炉拉制Ф300mm晶棒的坩埚（坩埚直径在600mm左右）；
a) 研制出拉制Ф300mm硅晶棒的单晶棒的单晶生长炉用发热体(发热体的直径在Ф800mm左右);
b) 通过物理机械性能检测, 材料的抗拉强度达到普通高强石墨的3倍以上;金属杂质含量控制在100PPm以内；
c) 实现C/C复合材料单晶硅生长炉热场的工业化生产;密切与用户合作,调整制造热场材料的设计和拉晶的工艺参数,将产品做到令用户十分满意。
第四章 场址选择
1、地点与地理位置
交通区位优势非常明显。生产用原料及辅助材料以及生产的深加工系列产品，可通过公路、铁路等方式运输，交通运输条件十分便利。
第五章 技术方案、设备方案
一 、 技术方案
1. 生产方法（包括原料路线）
材料的制备主要采用化学气相沉积和化学气相渗（CVD和CVI），及液相渗（浸渍）增密的方法。
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2. 工艺流程
图1 炭/炭复合材料的制造工艺流程
炭纤维 ↓
增强坯体（1维，2维，3维，N维纤维坯体） ↓ ↓ ↓ 热固树脂 热塑性沥青 碳氢气体 ↓ ↓ ↓
固相热解炭1000~1500℃ 液相热解炭带压力/不带压力 气相热解炭800~1200℃ ↓ ↓ ↓ 浸 渍 浸 渍 切削加工 ↓
炭化1000~1500℃ ↓
热处理1500~2200℃ 热处理2200~2750℃ 热处理2000~2500℃ ↓ ↓ ↓
炭/炭复合材料
3. 推荐方案的主要工艺（生产装置）流程图、物料平衡图，物料消耗定额表 推荐方案的主要工艺流程如图1。
每公斤复合材料消耗的各类材料(Kg)及电能如下： 炭/炭复合材料(致密) 炭/炭复合材料(低密)
炭纤维 0.3 0.9 碳源气体 7 2 惰性气体 水 14 4 1000 200 石墨 电(度) 1000 300 8
炭/石墨制品 2 4 100 0.96 20
二 、 主要设备方案
该项目的设备有材料的生产设备和加工设备。材料的生产设备有坯体制备设备，材料浸渍固化设备，炭化炉，石墨化炉，化学气相沉积炉等；考虑设备要适应、涵盖主要产品的制造要求，这些设备的恒温区尺寸直径达到1.3m，高度要求达到1m。
加工设备则有大型车床，中型车床，锯床，刨床等。
第六章 主要原材料、燃料供应
一、 主要原材料供应
1、主要原材料品种、质量与年需要量
该项目的原材料主要是炭纤维及炭纤维织物制品：炭布、炭纤维毡体。碳纤维坯体的需求大约20吨；石墨380吨；碳源气体150吨，惰性气体250吨。 2、主要辅助材料品种、质量与年需要量
辅助材料有树脂、炭源气体、氮气等原材料、辅助材料来源与运输方式炭纤维及其制品是委托其它单位加工。国内制造这种坯体或织物的厂家基本能满足供应。同时，公司将努力与厂家建立良好关系，寻求多处材料供应商，保证原材料的供应。
二、能源供应
该产品生产过程主要消耗电能。目前的容量为630KVA. 年耗电量为36万度。液化石油气或天然气年耗量约150吨。
第七章 总体布置、运输与公用辅助工程
一 、 总体布置
总平面布置的原则和功能划分
●满足城市总体规划的要求，严格执行国家有关的政策、法规和法律，提高
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