Editorial Manager(tm) for Microsystem Technologies
Manuscript Draft
Manuscript Number: MST28
Title: Surface micromachined high-performance RF MEMS inductors
Article Type: Original Research
Section/Category:
Keywords: inductor, quality factor, surface micromachining, RF MEMS
Corresponding Author: fang dm, Ph.D
Corresponding Author's Institution: Shanghai Jiao Tong University
First Author: fang dm, Ph.D
Order of Authors: fang dm, Ph.D
Manuscript Region of Origin:
Abstract: High-performance three-dimensional (3-D) microinductors with air-core and polyimide-core were fabricated by using simple MEMS technology. Both inductors have electroplated copper coils to minimize resistance to obtain high quality factor. The measurement results show that both inductors have high Qfactors over wide range of operating frequency. The maximum Q-factor of the polyimide-core is 36.5 and the inductance is 1.42nH at 4.5 GHz, while the maximum Q-factor of the air-core inductor is 22.9 and the inductance is 1.17nH at 5.5 GHz. The series resistance /parasitic capacitance of the olyimide-core inductor and air-core inductor is 1.05Ohm/1.07pF and 1.82Ohm /0.57pF respectively at the peak-Q frequency.
需要提醒的是：当WORD转化成PDF文档后一定要打开看看，因为在转化过程中或许会出现一些问题，而且还要检查你的稿件PDF内容是否需要修改，如果需要修改稿
件内容，那就删掉PDF文件，修改后再重新上传；如果转化过程中出现问题，比如在WORD中图或表不分页，但在转化成PDF中却分页，对于这个情况，可以在WORD文件中重新排版，或者不通过投稿系统，通过软件自己将WORD转化成PDF看看。目的就是尽量避免图或表分页。其实，重要的还是稿件内容不要有明显的失误，对于图或表分页的情况，编辑并不重视的，因为他（她）知道会转化过程出现这个问题，而且他（她）有你的WORD稿件。还有，如果进行了误操作，将同一稿件投稿了两次怎办？那就EMAIL给编辑，说明情况，请他（她）撤销一个吧。在点击“提交”按钮时，系统会弹出提示，问你是否确认投稿，如果确认并“提交”，稿件就投稿成功。接下来就是编辑处理你的稿件了。如果是EMAIL投稿，一定在EMAIL中要编辑给你回复，看他（她）是否收到了你稿件的EMAIL“附件”，防止“附件”没收到。
下面是我EMAIL投稿时给编辑的信件模板：
Dear Mr./Ms./Dr. Editor’s Name,
Sorry for disturbing you. I just sent you my manuscript as an attached file. The title of my manuscript is “…”. Please give a reply to me as soon as possible if you receive the manuscript. Thanks a lot.
Best Wishes or Best Regards,
Sincerely yours,
Your Name
Dear Mr./Ms./Dr. Editor’s Name:
I am a student in the Research Institute of Micro/Nanometer Science & Technology, Shanghai JiaoTong University in China, we have fabricated a high-Q air-core solenoid inductor using MEMS technology and the performance of the inductors is discussed in the paper. I just submitted the paper named “Title” to you! If there were any questions, please contact me.
Awaiting your reply.Thanks!
My E-mail address: sjtupaper2006@yahoo.com.cn
Sincerely Yours
dmfang
编辑处理稿件（with editor）：这个状态一般出现在两个星期之类，时间比较短，主要看编辑的处理情况，如果在投稿的时候没有要求选择编辑，稿件就先到主编那，主编会分派给别的编辑。不过有的期刊也许没有这个状态，直接到“审稿（under review）”状态。如果期刊有“编辑处理稿件（with editor）”状态，如果在投稿四个星期后还没出现这个“with editor”状态，最好和主编联系。
审稿（under review）：这个状态是一个漫长的过程，主要看审稿人。如果被邀请的审稿人不想审，就会decline，编辑会重新邀请别的审稿人。这个过程各个期刊的时间长短会不一样，一般LETTER的期刊会比较快。初投稿的人都希望一投稿就马上有回复，或者没到时间就写信去催，这是很不礼貌的。一般来说，正规杂志不用催，到了承诺的时间就会给你回信。因此,不要一投稿就希望马上有回复,除非你是大牛。
修改（revise）：这个过程是值得稍稍高兴并庆祝的，REVISE就说明问题不大，因为有修改就很可能被录用。一般情况下，期刊会限定你在多长时间内将修改稿上传，修改总的原则是按照审稿意见逐条回答。建议采用不亢不卑和自信的语气，编辑不希望你这个人太弱，当然也不希望遇到一个没礼貌的家伙。编辑的工作说来都是公式化的东西，其时间有限，一眼看下去还没有看到想看的解释，心情肯定不爽。所以建议一两句必要的客套话后，直接进入主题，采用Q：A：式的方法，条理清晰。修改稿的文件名可以在原来文件名后加(revised paper)。修改稿一般是针对审稿人的提问或者建议再修改的，所以除了一个修改稿，还要单独一个文件针对审稿意见的，可以取名“Reply to the referee”，要对审稿人的提问和建议的地方进行逐条答复或说明。给出的答复或说明要有针对性，要合情合理，如果需要，可以给出相关文献以证明你的论点，文献可以列在后面。
最后将修改稿文件和“Reply to the referee”的文件上传至期刊投稿系统。为稳妥起见，最好在上传后过段时间看投稿系统是否有更新，包括修改稿和REPLY。如果一天后还没有更新，再上传一次，还不行的话，就和联系你的编辑联系。如果是EMAIL投稿，在将修改稿以附件发给编辑后，在EMAIL中要说明你已发送附件形式的修改稿和“Reply to the referee”，请编辑在收到附件后给个回复。
下面是某水友写的针对修改稿意见，回复给编辑的EMAIL模板：
Dear Mr./Ms./Dr. Editor’s Name，
We are pleased to answer the questions (or make the amendment) of the reviewers’ and the manuscript (Manuscript number…, Title...) has also been extensively revised according to the comments and was resubmitted online.
Revision #1:
Revision #2:
Revision #3:
Best Wishes or Best Regards,
Sincerely yours,
Your Name
有一种修改是比较大的修改，编辑通常会要求你修改后重新网上投稿，这个不必惊慌，你修改后的稿件还是原来的审稿人给你审稿，时间上耽误不多的，只要你按照审稿要求仔细修改，一般会没大问题，稿件会被接收的。在修回时，最头痛的是如何满足个别审稿人的“不可实现”的要求，建议主要是引用理论和文献加以解释，做到精练有逻辑有说服力。有的稿件需要多次修改多次审稿，这一定需要耐性，发篇PAPER不是容易的事。
结果（accept or reject）：这个状态出来了有人欢喜有人忧啊，被录用还好，没有录用就要胸闷一阵吧，毕竟一篇文章从投稿到结果出来要很长时间，有的要半年以上。一般
拒稿会有理由的，要及时调整心态，将被拒的稿件好好修改，改投另外的期刊。拒稿原因比较多，大致有以下情况：书面表达、实验数据、没有创新、理论欠缺、文章图表、文章字数或页数、投错期刊、期刊影响因子大，要求高、文章组织得不好等。有的LETTER如果审稿人没有在规定时间内给编辑审稿意见，编辑就直接拒稿了。
§1. 5 Copyright问题
有的期刊初次投稿时就要copyright，有的不需要，IEE ELECTRONICS LETTERS就不需要。如果要求，最好传真，如果你要扫描，看期刊容许不容许，或者你发EMAIL问编辑行不行。一般期刊会有两个copyright版本，一个是给本国作者填写的，一个是“国外”作者填写的，在填copyright时，要分清你要填写哪个copyright。如果稿件全部作者中，有期刊所在国的合作作者，在填copyright时，合作作者一般还需要填写copyright的另外一栏“授权证明”，这个“授权证明”可以是国家科学技术或学术管辖部门，也可以是其单位领导或授权人士的证明。在填copyright时，有时会碰到“Print Name”这一栏，“Print Name”可以有两种方式：一是手写，姓名的字母全部工整大写，比如FANG XIANG GAN，另外就是将姓名的字母大写用电脑输入，打印剪裁后粘贴到copyright中。自然手写是最方便的了，但手写一定要工整，不能潦草。在填copyright时，更多地还会遇到作者签名的问题，一般期刊copyright的作者签名会有两种选择，一种是全部作者签名，一种是第一作者签名（第一作者代表全体作者签名）。如果copyright只有全部作者签名，最好请其它作者签名，以免搞出版权纠纷或者争议。值得提醒的是，有的期刊在copyright中会说明其收费情况。IEEE Electron Device Letters就在copyright中说明稿件如果出版，每页需要支付110美元。
§1. 6 Cover Letter问题
Cover Letter包括稿件编号、稿件题目、稿件类型、关键词、作者姓名、单位地址和摘要，当然Cover Letter还应该从内容和意义上向编辑做一个整体的交待。
下面是我写的Cover letter的模板：
Cover letter
Authors: dmfang, …