光罩缺陷检测、 封装检测、 表面分析仪器、 粗糙度仪、扫描电子显微镜、薄膜厚度测量系统；显微镜：光学显微镜、电子显微镜、探针显微镜、电子能谱仪；检漏仪器、静电负离子空气净化机；气体分析及检测、分析和测量★软件建模、设计工具、仿真软件、CAD & CAE分析软件。 ★ MEMS 代工服务
仿真设计、原型测试、产品开发、量产；其他代工服务：图案形成、薄膜形成、雷射、离子脉冲加工、喷镀。 ★ 材料
压电薄膜材料(ZnO, AIN, PZT)、 抗压材料、 附着材料、保护材料；碳纳米管、蓝宝石、聚合物、陶瓷；LTCC 基板Glass substrate、SiC；磁性材料、铁电性材料。
★ 传感器与MEMS器件
光学MEMS (反射, 光量开关, 扫描等)；射频MEMS (开关，振荡器，过
滤)；MEMS物理传感器 (加速传感器，速率传感器，压力传感器，气体传感器，温度传感器)；微型压力传感器、微喷墨打印头、数字微镜显示器、微机械压力传感器；微射流（微流引导，微感应器等）；MEMS执行器（灯，泵）；MEMS电能（燃料电池，微发电机等）；生物/化学MEMS（DNA/RNA技术，化学检测等）；高复合型MEMS (CMOS/MEMS, LSI/MEMS 一体化)。
通过计算机控制显微镜检查掩膜
在黄色的房间里检查掩膜
在洁净室的化学站
干式电容器
电子束沉积系统
卡尔苏斯光刻系统
低压化学气相淀积系统
衬底基板检测显微镜
Parylene labcoator
光电导测试
等离子蚀刻系统
等离子溅射系统
热蒸发系统
热氧化炉