以苏州纳米所为例的相关设备.
序号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 部门 仪器名称 自动台阶测量仪 三维形貌测量仪 溅射台 仪器型号 Dektak 150 NT1100 LAB 18 等离子体增强化学气相沉积机 Plasmalab System 100 电子束蒸发（金属） 6英寸双面对准光刻机 晶片键合机 喷胶机 旋转涂布机 显影机 国产紫外光刻机 倒装焊机 6英寸分步重复光刻机 回流焊预处理机 RIE等离子刻蚀机 激光解理机 纳米加工平台 等离子去胶机 引线焊接机 扫描电子显微镜 高精密单面抛光机 高精密单面研磨机 半自动晶片减薄机 电子束曝光机 金相显微镜 超景深三维显微镜 ei-5z MA6/BA6 CB6L OPTIcoat ST20i OPTIcoat ST22+ OPTIspin ST22 FC150 NSR 1755i7B SRO-702-R 903e AccuScribe Titan M4L West Bond 747677E JSM-6390 AP-380F AL-380F HRG-150 JBX-5500ZA DM4000M VHX-600E Plasmalab System ICP等离子体刻蚀机（III-V） 100 ICP180 ICP等离子体刻蚀机（深硅） STS MPX HRM System 光学镀膜机（介质） 光学膜厚仪 OTFC-900CBI ST2000-DLXn 紫外/可见/近红外分光光度计 Lambda 750 蓝宝石裂片机 OBM-90TP 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50 51 52 53 54 55 56 57 58 59 60 61 62 63 64 65 66 测试分析平台 Loomis划片机 蓝宝石划片机 芯片特性测试仪 超声扫描显微镜 X射线芯片检测设备 热蒸发 小电子束蒸发 国产溅射台 氧化扩散炉 快速退火炉 管式退火炉 显微镜 清洗设备 键合测试仪 离子束刻蚀机 X光双晶衍射仪 X射线衍射仪 原子力显微镜 原子力显微镜 激光纳米粒度测量仪 金相显微镜 研究系统显微镜 纳米压痕测试仪 激光共聚焦显微镜 LSD-100 OSM-80TP-Y WPS-1900 D9500C XTV 160 定制 EBE-09 定制 HDC8000A RTP-500 Axiotech 100 DAGE SERIES 4000 PXY IBE-A150 D8 Discover D8 ADVANCE Multimode Dimension3100 NANOPHOX DM4000M BX51 G200 A1 200KV场发射透射电子显微镜 Tecani G2 F20 S-TWIN 热场发射扫描电子显微镜 钨灯丝扫描电子显微镜 冷场发射扫描电子显微镜 离子减薄仪 等离子清洗机 凹坑仪/超声波切片机 阴极荧光光谱分析仪 全自动溅射镀膜仪 精密切片机 研磨抛光机 Quanta 400 FEG Inspect S S-4800 691.CS 950.M 656/601 MonoCL3+ K550X TechCut 4 MetPrep 67 68 69 70 71 72 73 74 75 4K低温光致发光测试仪 半导体参数测量仪 高精度探针台 光谱型椭圆偏振测量仪 激光共焦拉曼光谱仪 红外光谱仪 PI-PLE-2355/2558+ PIXIS-256E 4200-SCS/F SUSS PM8 M-2000DI LABRAM HR Nicolet 6700 太阳电池综合光电测试系统 11044-2 LED光谱测量仪 偏振态测试仪 CA-10021-000