六、计量标准的量值溯源和传递框图 标准名称：立式接触干涉仪 准确度等级：±（0.03+1.5NiΔλ/λ）μm 溯源单位：绍兴市质量技术监督检测研究院 直接测量 计量标准名称：检定测微比较仪标准器组 准确度等级：（-0.1~+0.1）mm 不确定度：U95=0.17μm，K95=2 直接测量 计量器具名称：最大允许误差 扭簧比较仪： ±0.0003mm ±0.0005mm 机械比较仪：±(0.5~2)分度 5
七、计量标准的重复性试验 计量标准名称 被测对象名称器号或设备号 主标准名称器号或设备号 检定测微比较仪量具标准器组 扭簧比较仪 设备编号：ZXZ/S1-91-43 主标准名称：量块 设备编号：ZXZ/G01-03 环境条件 标准装置的不确定度 21℃ 60%RH U95=0.17μm K95=2 在上述环境条件下，用量块对被测对象扭簧比较仪（-0.03~+0.03）简述考核方法 mm，在受检点0.01mm上，重复测量扭簧比较仪10次，测量数据见下表。 测量点 序号 Xi（mm） 0.01002 0.01000 0.01000 0.01000 0.01001 0.01001 0.01001 0.01000 0.01000 0.01000 0.010005 0.007μm (Xi?X)mm +0.000015 -0.000005 -0.000005 -0.000005 +0.000005 +0.000005 +0.000005 -0.000005 -0.000005 -0.000005 (Xi?X)2mm 225×10-10 25×10-10 25×10-10 25×10-10 25×10-10 25×10-10 25×10-10 25×10-10 25×10-10 25×10-10 X1 X2 X3 X4 X5 X6 X7 X8 X9 X10 X S X??Xi/n S?i?1n?(Xi?X)i?1n2/n?1 重复性考核评价及结论：测量重复性S=0.007μm＜测量结果的合成标准不确定 度U=0.086μm，结论：本装置的测量重复性考核满足要求。 考核人：陈火军
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八、计量标准的稳定性考核 计量标准名称 被测对象名称器号或设备号 主标准名称器号或设备号 检定测微比较仪量具标准器组 扭簧比较仪 设备编号：ZXZ/S1-91-43 主标准名称：量块 设备编号：ZXZ/G01-03 环境条件 标准装置的 不确定度 21℃ 60%RH U95=0.17μm K95=2 在上述环境条件下，用量块对被测对象扭簧比较仪（-0.03~+0.03）简述考核方法 mm，在受检点0.01mm上，重复测量扭簧比较仪10次，测量数据见下表。 考核数据 单位：mm 测量点 考核年限 2010.7.5 序号 2011.7.5 0.01000 0.01000 0.01001 0.01001 0.01001 0.01001 0.01000 0.01001 0.01000 0.01000 0.010005 X??Xi/n i?1n X1 X2 0.01000 0.01001 0.01001 0.01000 0.01000 0.01001 0.01000 0.01000 0.01001 0.01000 0.010004 X3 X4 X5 X6 X7 X8 X9 X10 X 稳定性考核评价及结论：稳定性X2011?X2010?0.001μm＜扩展不确定度0.17μm，结论：本装置的稳定性考核满足要求。 考核人：陈火军 7
九、检定或校准结果的测量不确定度评定 1、概述 1.1、测量方法：依据JJG118—2010《扭簧比较仪》，JJG39—2004《机械比较仪》国家 检定规程； 1.2、环境条件：温度（20±5）℃； 1.3、测量标准：量块，测量范围（-0.1~0.1）mm，MPE为0.11μm； 1.4、被测对象：分度值为0.001mm校准，范围为（-0.1~+0.1）mm的比较仪，MPE± （0.5~2）分度； 1.5、被测过程： 测量时，把比较仪夹到校验台上，当检定正向分度示值误差时，以尺寸最小的 一 块量块对准零位，以递增的方式依次放入其他尺寸量块，在比较仪读数，由正 行程中最大误差和最小误差值为比较仪的示值误差。 1.6、评定结果使用： 在符合上述条件的测量结果，一般可直接使用本不确定度的评定结果。 2、数学模型 e=Δmax—Δmin 式中：e—比较仪的示值误差；Δmax—比较仪正行程上最大误差：Δmin—比 较仪正行程上最小误差。 Δmax=la—ls；Δmin=la—ls， 式中：la—比较仪的示值；ls—量块示值。 3、输入量的标准不确定度U（Δmax）的评定 3.1、输入量Δmax的标准不确定度U（Δmax）的评定 输入量Δmax的不确定度来源，主要是比较仪示值引起的标准不确定度分项U（La）和量块的标准不确定度分项U（Ls）。 3.1.1、比较仪示值引起的不确定度分项U（La）的评定 比较仪示值引起的不确定度分项U（La)的来源主要是测量重复性，可以通过连续测量得到测量列（采用A类方法进行评定). 选取比较仪示值0.01mm为校准点，把千分表装夹在千分表检定仪上，转动千分表 8
检定仪规定分度后，在千分表上读取该点示值作为一次测量过程，然后取下千分表，再重新进行装夹测量。连续测量10次得到测量列：0.01002，0.01000，0.01000，0.01001，0.01001，0.01000，0.01000，0.01000，0.01001。单位（mm） La?0.010005mm，单次标准差S?2(Lai?La)/n?1=0.007μm。 ?i?1n选取3只比较仪，分别对0.1示值进行校准，各在重复条件下连续测量10次，共得3组测量列，每组测量列分别按上述方法计算得到单次实验标准差。 3组实验标准差计算结果 示值（mm） 实验标准差S（μm） 0.1（1） 0.007 2Si??0.007μm。 i?1m0.1（2） 0.006 0.1（3） 0.008 1合并样本标准差：SP?M所以U（La）=SP≈0.007μm，故自由度V（La）=3×（10—1）=27 3.1.2、微动测量台架引起的标准不确定度分项U（Ls）的评定 量块引起的不确定度分项U（Ls），由量块示值误差引起的不确定度分项U（Ls1）和测力变化引起的不确定度分项U（Ls2）组成。 3.1.2.1、量块引起的不确定度分项U（Ls1）评定采用B类方法进行评定。 根据校准量块对产生的不确定度，对1mm的量块Veff=50，W99=0.11μm，在0.2mm范围内不大于0.11/2=0.055mm，认为其服从均匀分布，故含因子R为3。 U（Ls1）=0.0553=0.0317，估计?U(Ls1)=0.10，则自由度V（Ls1）=50。 U(Ls1)3.1.2.2、测力变化引起的示值标准不确定度U（Ls2）的评定，采用B类评定方法进行评定，比较仪和量块的接触为球面对平面接触，测力引起的变形量为??K3P3/d，式中：K—系数，量块为硬度合金，比较仪的侧头材料为钢时，K?1.5?9.8?(2/3)μm（mm）1/3?N?(2/3)，P—测力值：P=1.5N，d—侧头直径：d=2.5mm，得：???(2K/3)?d?(1/3)P?(1/3)?P，式中：??—侧头测力变化引起的变形量；?P—侧头测力变化允许值，???(2K/3)?d?(1/3)P?(1/3)?P，??=0.08μm。
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