第二篇 Silvaco软件使用指南
现在我们处在修改输入设计的位置是在此点之后。下面的两条语句指明在Vt调整来注入的前后存贮两个Standard Structure files：
? struct outf=gateoxide.str ? struct outf=vtimplant.str
可以通过在正确的行上直接输入到文本编辑窗中:
现在这次模拟可以继续直到在poly沉积前的这行。这样将模型两个附加的行，从而在牺牲的氧化带之后启动。为了这样做，选择next 按钮几次直到下面一行：
struct outf=vtimplant.str
被执行。
在此处，两个Standard Structure files被存到你当前的工作目录，名字如下：
? gateoxide.str ? vtimplant.str 1.6.2 文件交叠
两个 structure files存贮后，它们可以被加载到Tonyplot中并被交叠以进行比较。 Tonyplot 允许达128 图加载到一个进程。这些图中的任何一个均可轻易的交叠。若加载文件到Tonyplot,从`File'中下拉菜单中选择`Load Structure ...' 项。这将创建一个可能被加载的文件菜单:
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如果一直跟着练习，两个文件(gateoxide.str and vtimplant.str) 应该存在你的当前目录中，且显示可能被加载进Tonyplot 中文件中。显示在Tonyplot屏中的每一个图均可选择。如果一个图被选定，将会被一个的白色框围绕，如下图所示：
图的选定及取消可通过点击鼠标的中间键来控制。在此阶段，你会试图选定及取消图，作为一个简单的练习。现在交叠两个图:
? 选定两个图。
? 然后选择Tonyplot的`View'菜单下的`Make overlay'项.
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在此之后，第三个交叠的图会出现。
1.7 运行MOS工艺程序的第二部分
在观察完栅氧化步骤后,就可以仿真到输入文件的最后一部分。工艺模拟的后半部分将花费更多的CPU时间，在多晶硅刻蚀后结构变为非平面时。在工艺流程中Athena 会自动的转换到2-D 模拟方式。这一次不再用 `next' 按钮，我们用stop功能来使模拟到兴趣点。 1.7.1 `Stop At' 功能
stop定义了命令流中的一个位置，此处模拟器会停止。如果run 按钮或cont 按钮被选定，模拟器将执行下去到stop点并等待。在Deckbuild 文本编辑区，选定/亮显几个你想中断的行的字符，在此处的输入行中aluminum 选定了。
从模拟器面板中选择`stop'按钮会在这行设定一个停止。`stop:' 行将在面板上显示也会更新来表明相应的行号。一个停止点可通过`clear'按钮清除。
既然一个stop点已经设定了，选择`cont'按钮。当模拟器运行时你应查看一下Athena执行的命令及产生的信息。
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这将使得Deckbuild发送给Athena 命令行来预设stop点,之后在此步骤前暂停模拟。按 next 按钮几次以确保模拟器在定义了stop点后会直接包括金属刻蚀步骤。在poly 刻蚀点,结构为非平面。注意模拟现在要做更多的工作，工艺显著地变慢。这里的命令对工艺工程师而言更直接和直觉，下面的几行做一些解释: depo poly thick=0.2 divi=10
这个命令定义了沉积多晶硅为0.2um厚，且在此厚度中包括10个格点层。
etch poly left p1.x=0.35
这个命令定义多晶硅在X方向上的位置，从这里被向左去除。这个命令还定义了晶体管一半的长度，将反映右侧的轴来制备整个器件。
method fermi compress
这个命令打开了基本物理模型，用于氧化及扩散步骤。所有下面的步骤会使用这些模型。(这些模型对在任何情况下对Athena 都是缺省的，且仅在本例中用于解释。请见Athena 参考手册)
在next命令后，仿真到达所定义的点，并且Deckbuild 窗看上去如下：
1.7.2 使用Tonyplot用于2-D结构
从Deckbuild启动Tonyplot使用当前结构。同一维结构时一样，如取消任何一个选定的文本，并且用Tools中的Plot项。一旦Tonyplot被激活，将缺省地显示2-D的工艺模拟材料结构。
Tonyplot在二维结构中有观察杂质浓度的方法：
? 杂质或溶剂的二维轮廓线。这是在Tonyplot 被激活时从一个二维结构中缺省产生的。更详细的资料可参见contour plots.
? 杂质或溶剂的一维的轮廓在结构中沿一条线。可见cutline plots.
这个练习中，净掺杂图将首先被定义，之后在轮廓线上的一些轮廓线会被研究。 1.7.3 使用Tonyplot来制备一轮廓图
要创建一轮廓图，从Tonyplot`Plot'下拉菜单中选择`Display'项。这个行为将激活2-D 显示控制弹出窗，如下所示：
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在这个弹出窗中在按Apply前选择下列图标:
确定绘图范围。为缺省使能。
用以不同着色绘制材料，这是缺省的。
显示净掺杂的轮廓。
绘制器件的结.
再次在图标上点击鼠标左键。在`Define'菜单中选择`Contours'菜单，如下所示:
这将激活轮廓控制弹出窗，如下所示：