第二篇 Silvaco软件使用指南
Figure 25: 漫下扩散(Ramp down Diffusion).
最终写到deck的语句如下：
要为抽取所做扩散层的薄片电阻及结深，选择Commands.. Extract，如图27填充表单，来进行电阻抽取。
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Figure 27: 抽取薄片电阻.
图28为结深表单。
Figure 28: 抽取结深.
运行的deck应如图29.
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Figure 29: 为扩散二极管运行deck. 运行deck,输出应如图30。
Figure 30: 运行deck的扩散输出.
2.2 进行mesh的实验
可以在网格上设定较少的点，但这将牺牲精度。改变Y的spacing为2, 之后运行 deck. 如图31所示。注意结深及薄片电阻值在数目上有很大的不同。所以我们最好使用最小数量的格点来重新定义网格，直到我们接近使用0.2的Y间距时所获的值。
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Figure 31: 不严格的mesh.
根据Table 1改变间距。Table 1显示在扩散层RS和Xj连续运行的错误。因为这仍然是1-D仿真，当mesh重新定义时，你可能不会注意到仿真时间的改变。我们可以看到一个网格间距0.25或者0.5 均可接受.
Table 1: Refining Mesh.
2.3 绘制杂质掺杂轮廓曲线
要保证在运行deck时没有文本亮显。点击Tools.. Plot 则如下显示
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Figure 32:掺杂轮廓.
2.4 查看抽取结果
可以通过运行的终端，并输入more r*来查看所有的抽取结果。可如图33所示。