如果要反读CIF格式掩模数据文件进行检查，或者读入采用其他手段生成的CIF格式掩模数据文件，需要修改或转换成GDS格式掩模数据文件，要按如下步骤读入：
a) 打开 File/Import Mask Data 进入 “Import Mask Data”对话框。
（不能用 File/Open ，File/Open 只能读取TDB 格式掩模数据文件，不能 CIF和 GDS格式掩模数据文件。）
b） 在 “Import file type” 下拉菜单中选择 “CIF” 格式。 c） 在 “Use Setup file”中选择“Layout1”的设计环境。 （如果按默认的〈empty〉，读入的图形背景将是黑色的。）
d） 打开浏览器 “Browse” 寻找需要读入的CIF格式掩模数据文件。 e） 按 “Import” 钮，读入的CIF格式掩模数据文件。
f） 如果出现图形层名错误信息，则需要按照错误信息修改层名，
打开 Setup/Layers 进入 “Setup Layers” 界面，修改“ CIF name”中的层名，使它和与准备读入的CIF格式掩模数据文件相同。再重新读入。也可以首先用书写版等文本文件读出器打开CIF格式掩模数据文件，修改层名，让它与当前LEDIT 设计环境匹配。
g） 如果读入的是采用其他手段生成的CIF格式掩模数据文件，可能图形倍率不对，注意应该修改输出倍率关系。
h） 建议读入CIF格式掩模数据文件前，确认设计格栅单位，建议格栅单位采用1/1000微米，否则读入的图形容易变形或被四舍五入，影响图形精度。 i）填充色修改方法
读入的CIF格式掩模数据图形可能出现层颜色不合适的现象，可以通过层参数设置的方法改变填充色。
打开 Setup/Layer，进入“Rendering”层填充色表现参数设置界面。 在 填充色“Fill”模块中“Patter”下拉图案条中选择网点图案，同时在“Color” 下拉彩色条中选择彩色。
在 边框“Outline” 模块中“Patter”下拉图案条中选择网点图案，同时在“Color” 下拉彩色条中选择彩色，在“Style” 中选择边框粗细的像素。 4.3.10.5 输出GDS 格式制版掩模数据文件
因为GDS 格式图形层名必须是数字形式,如 1；2；3； . . . 46；47等，而通常图形层名是按照集成电路工艺层和CIF格式方式命名。所以输出GDS 格式制版掩模数据文件前需要进行图形层名重新设置。
a) 打开 Setup/Layer，进入“General”层参数设置界面。
b) 在 “Layers：” 层名清单中，按工艺前后顺序选择层名，例如选择
“Poly” 层，按 “Rename”钮， 出现 “Rename Layer New name”填充框中把 “Poly”改成数字 “1”，在“Import/Export”中 “GDSII” 填充框中把 “46”也改成数字 “1”。再选择“Active” 层，按 “Rename”钮， 出现 “Rename Layer New name”填充框中把 “Active”改成数字 “2”，在“Import/Export”中 “GDSII” 填充框中把 “43”也改成数字 “2”。依次把所有已经编辑的掩模图形层重新按照工艺顺序命名成1；2；3；4；5层。
c） 保留“顶层单元”，删除其他过渡单元。
由于邻近效应校正软件要求只有顶层单元图形数据处理比较方便，（如果还有其他过渡单元图形，容易产生图形叠加现象）。所以提供邻近效应校正软件处理的数据要删除所有其他过渡单元。
打开 Cell/Delete 进入 “Select Cell to Delete” 逐个删除过渡单元。最后留下顶层单元图形。
（也可以在输出GDSII掩模数据文件对话框中选中“Selected cell and its hierarchy”，并在“Cell：”中选择顶层单元。）
d） 在图形层选择工具条中选择需要输出的层名，用鼠标左键点模式栏(Mode Bar)的掩模图形层选择工具条(Layer Area)中选择所要输出的层位置，点鼠标右键打开图形层操作菜单，用鼠标左键选择“Hide All” ，此时除指定层外，其它层图形全部都被封闭。
e) 打开 File/Export Mask Data 进入 “Export Mask Data”输出掩模数据对话框。
j）在 “Export file type” 下拉菜单中选择 “GDSII” 格式。
k）选中Export cell模块中的“Selected cell and its hierarchy”，并在“Cell：”中选择顶层单元。
i） 确认 “To file：” 填充框中的文件名是所需要的制版文件名称，可以改名。
j） 按 “Export” 钮，输出单掩模图形层的顶层单元GDS格式掩模数据文件。
输出的GDS格式掩模数据文件。通常电子束曝光系统所用的JEOL51格式数据文件是采用GDS格式掩模数据文件转换生成的。
k） 输出的GDS格式掩模数据文件前必须记录如下重要参数，数据格式转换时需要输入这些参数。
文件库名 (File Name ; Library Name)
顶层单元名 ( Top Structure ; Cell Name)
图形左上角坐标 ( Upper Left X,Y ) 图形右下角坐标 ( Lower Risht X,Y ) 图形层号 (Layers No )
4.3.10.6 输入GDSII 格式制版掩模数据文件
需要检查、修改或转换成CIF格式掩模数据文件，要按如下步骤读入： b) 打开 File/Import Mask Data 进入 “Import Mask Data”对话框。
（不能用 File/Open ，File/Open 只能读取TDB 格式掩模数据文件，不能 CIF和 GDS格式掩模数据文件。）
b） 在 “Import file type” 下拉菜单中选择 “GDSII” 格式。 c） 在 “Use Setup file”中选择“Layout1”的设计环境。
（如果按默认的〈empty〉，读入的图形背景将是黑色的。） d） 打开浏览器 “Browse” 寻找需要读入的GDS格式掩模数据文件。 e） 按 “Import” 钮，读入的GDS格式掩模数据文件